太陽能擴(kuò)散爐

時(shí)間：2014-10-22作者：青島福潤德微電子設(shè)備有限公司瀏覽：54

太陽能電池?cái)U(kuò)散工藝及其設(shè)備

太陽能電池?cái)U(kuò)散工藝及其設(shè)備     技術(shù)方案是：一種太陽能電池?cái)U(kuò)散工藝，在太陽能電池?cái)U(kuò)散工藝中通控制抽氣排風(fēng)壓力，使抽氣排風(fēng)壓力這個(gè)參數(shù)保持穩(wěn)定，抽氣排風(fēng)壓力這個(gè)參數(shù)保持穩(wěn)定，抽氣排風(fēng)壓力的穩(wěn)定導(dǎo)致辭磷在硅片中的注入濃度穩(wěn)定，使加工后得到的硅片的方塊電池保持穩(wěn)定，在后道的燒結(jié)中可以匹配出高效的太陽能電池。抽氣排風(fēng)壓力通過在機(jī)臺(tái)排風(fēng)端加裝的排風(fēng)壓力控制閥和排風(fēng)壓力控制器進(jìn)行控制。     一種太陽能電池?cái)U(kuò)散設(shè)備，包括擴(kuò)散爐和機(jī)臺(tái)排風(fēng)端，擴(kuò)散爐內(nèi)產(chǎn)生的廢氣通過管道從機(jī)臺(tái)排風(fēng)端排出，機(jī)臺(tái)排風(fēng)端安裝風(fēng)壓力控制閥和相應(yīng)的排風(fēng)壓力控制器。 進(jìn)入擴(kuò)散爐的氣體和化學(xué)品由氣體流量控制器控制，因此是穩(wěn)定的。但是排風(fēng)是由廠務(wù)直接控制的，抽氣排風(fēng)壓力就是廠務(wù)排風(fēng)的壓強(qiáng)，由于廠務(wù)排風(fēng)連接多個(gè)機(jī)臺(tái)，所以排風(fēng)壓力是是穩(wěn)定的。一般控制的壓強(qiáng)范圍是1.5-5mbar。通過實(shí)驗(yàn)發(fā)現(xiàn)抽氣排風(fēng)壓力對硅片的方塊電池同樣具有較大影響。     由于抽氣排風(fēng)壓力波動(dòng)導(dǎo)致磷在硅片中的注入的濃度發(fā)生變化，因?yàn)榉綁K電阻跟磷的攙雜濃度有關(guān)。方塊電阻就會(huì)在49.5-54ohm的區(qū)間里相應(yīng)變化。     效果是：抽氣排風(fēng)壓力穩(wěn)定后，磷在硅片中的注入濃度穩(wěn)定后，方塊電阻也隨之穩(wěn)定，可以提升較終太陽能電池的效率5%。


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  詞條說明

• LPCVD設(shè)備

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• led**爐

  ■ LED**爐特點(diǎn)?? ◆ 關(guān)鍵件全部采用進(jìn)口件，具有高可靠性 ◆ 具有可編程的升、降溫功能???????? ◆ 具有斷電報(bào)警、**溫報(bào)警、極限**溫報(bào)警等多種安全保護(hù)功能。 ◆ 具有高抗干擾能力 ◆ 具有多種工藝管路，可供用戶隨意靈活配置?? ?★?賽瑞達(dá)可

• 擴(kuò)散爐

  擴(kuò)散爐由控制系統(tǒng)、進(jìn)出舟系統(tǒng)、爐體加熱系統(tǒng)和氣體控制系統(tǒng)等組成。 控制系統(tǒng) 控制部分包括：溫控器、功率部件、**溫保護(hù)部件、系統(tǒng)控制。 系統(tǒng)控制部分有四個(gè)獨(dú)立的計(jì)算機(jī)控制單元，分別控制每層爐管的推舟、爐溫及氣路部分，是擴(kuò)散/氧化系統(tǒng)的控制中心。 擴(kuò)散爐網(wǎng)絡(luò)控制 輔助控制系統(tǒng)，包括推舟控制裝置、保護(hù)電路、電路轉(zhuǎn)接控制、三相電源指示燈、照明、凈化及抽風(fēng)開關(guān)等。 較**的擴(kuò)散爐控制系統(tǒng)均已較新或升級到微

• 鏈帶式焊接爐

  鏈帶式焊接爐技術(shù)方案 鏈帶式焊接爐主要應(yīng)用于半導(dǎo)體器件，金屬陶瓷，可控硅器件，玻璃封裝器件以及各種厚膜電路等焊接和燒結(jié)的連續(xù)工作的隧道式結(jié)構(gòu)熱處理爐。 一、主要技術(shù)指標(biāo) 1、設(shè)計(jì)溫度：≤700℃ 2、工作溫度：300℃~600℃ 3、爐內(nèi)控溫：±5℃ 4、儀表控制精度：±1℃ 5、設(shè)備總長度：約10600mm；進(jìn)出口臺(tái)面各為：800mm。 6、加熱區(qū)長度：≤3000mm（6段加熱） 7、冷卻區(qū)長