HVA 真空閥門應(yīng)用于E-Beam 鍍膜機

    某品牌 Sputtering + E-Beam PVD 鍍膜機系統(tǒng)采用 HVA 真空閥門 11000, HVA 真空閥門安裝在分子泵口便于泵的檢修,同時外系統(tǒng)停機時不破壞系統(tǒng)真空只要對泵內(nèi)部進行破真空即可.


    E-Beam 鍍膜機設(shè)備組成系統(tǒng)主要由蒸發(fā)室電子進樣室 (可選) , 旋轉(zhuǎn)基片加熱臺工作氣路抽氣系統(tǒng)真空測量電控系統(tǒng)及安裝機臺等部分組成.

     

    基片在做實驗**般需要做鍍前預(yù)處理鍍前預(yù)處理的目的是為了得到干凈新鮮的金屬表面為后獲得高質(zhì)量鍍層作準備要進行脫脂去銹蝕去灰塵等工作也有客戶在 LOADLOCK 腔進行射頻反應(yīng)清洗通過使用上海伯東 KRI 離子源將基片的表層打掉得到光滑和均勻的表面.

     

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    氦質(zhì)譜檢漏儀中壓開關(guān)柜檢漏應(yīng)用于電力行業(yè)的中壓開關(guān)柜, 廣泛使用在發(fā)電廠, 變電站, 地區(qū)電網(wǎng)和輸電站中. 另外也適用于船舶, 高鐵等. 中壓開關(guān)柜是一種金屬封閉開關(guān)設(shè)備, 它對中壓開關(guān)以外的其他設(shè)備, 起到很好的絕緣性能, 避免電弧燒穿電力設(shè)備, **電力使用上的安全, 中壓開關(guān)柜內(nèi)部通過吸和開關(guān)控制電路.開關(guān)吸合器需要檢漏中壓開關(guān)柜內(nèi)部通過吸和開關(guān)控制電路, 吸合器內(nèi)部真空環(huán)境, 如果有漏,

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  • KRi 大面積射頻離子源應(yīng)用于 12英寸,8英寸 IBE 離子束蝕刻系統(tǒng)

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