HVA 真空閥門用在氣體管路系統(tǒng)

    某半導體工廠在生產(chǎn)線上氣體輸送環(huán)節(jié)的氣體管路系統(tǒng)采用伯東 HVA 不銹鋼真空閘閥 11000 ,作為真空隔離密封.

     

     

    HVA 不銹鋼真空閘閥 11000 系列標準技術(shù)規(guī)格: 

     閥門材質(zhì):

     - 閥門主體

     304 不銹鋼

     - 焊接波紋管軸封

     AM - 350

     閥門密封方式

     - 高真空

     氟橡膠

     - 高真空

     銅墊圈 / 氟橡膠

     真空:

     - 壓力范圍

     高真空 1x10-9 mbar, 高真空 1x10-10 mbar

     - 漏率

     < 2x10-9  mbar l/S

     - 差壓關(guān)閉

     1 bar ( 任意位置 )

     - 開啟前大壓力

     ≤ 30 mbar

     烘烤溫度(不含電磁閥):

     - 彈性體密封閥蓋

     150°C

     - 金屬密封閥蓋

    -開啟溫度:200°C

    -關(guān)閉值:150°C

     - 驅(qū)動方式

     手動 60 °c, 氣動 60 °c

    機制

    手動:

    手搖曲柄

    電磁閥供電電壓

     120 VAC 50 /60 Hz

    電磁閥可選電壓

     24, 200, 240 VAC 50/60 Hz
     或 12, 24 VDC

     電磁閥位置指示器,大

     115 VAC
     或 28 VDC, 20 mA

    氣動送風:

    80 psig

     使用壽命: 100,000 啟閉次數(shù) (具體視實際使用情況決定)

     公稱通徑: DN 16 - 800 mm

      

    HVA 是真空技術(shù)者的真空閥門(插板閥), 是高真空閥門的主要制造商和供應商.

     

    在設(shè)計真空系統(tǒng)時, 可以輕松集成 HVA 閥門. HVA 閘閥從5/8英寸(16毫米)到32英寸(800毫米), 而矩形/狹縫閥的大距離為80英寸(2m), 可以滿足您的真空閥門(插板閥)要求. 無論您是升級現(xiàn)有的真空系統(tǒng)還是 OEM 設(shè)計新的系統(tǒng), HVA 都可以提供經(jīng)濟的替代閥門解決方案.

     

    HVA 真空閥門(插板閥)的閥體和所有主要內(nèi)部組件都是內(nèi)部釬焊的真空爐, 了虛擬泄漏的可能性, 閥體變形小化.

     

    40多年來, HVA 一直在建造業(yè)內(nèi)質(zhì)量, 設(shè)計的真空閥門(插板閥). HVA 代表著質(zhì)量, 工程, 定制務.

     

    若您需要進一步的了解詳細產(chǎn)品信息或討論 , 請參考以下聯(lián)絡(luò)方式 :

    上海伯東 : 羅女士 


    伯東企業(yè)(上海)有限公司專注于pfeiffer,氦質(zhì)譜檢漏儀,inTEST等

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    詞條說明

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