HVA 真空閥門(mén)應(yīng)用于E-Beam鍍膜機(jī)

時(shí)間：2024-01-11

某 Sputtering + E-Beam PVD 鍍膜機(jī)系統(tǒng)采用 HVA 真空閥門(mén) 11000, HVA 真空閥門(mén)安裝在分子泵口便于泵的檢修,同時(shí)外系統(tǒng)停機(jī)時(shí)不破壞系統(tǒng)真空, 只要對(duì)泵內(nèi)部進(jìn)行破真空即可.

HVA 不銹鋼真空閘閥 11000 系列標(biāo)準(zhǔn)技術(shù)規(guī)格:

閥門(mén)材質(zhì):
- 閥門(mén)主體	304 不銹鋼
- 焊接波紋管軸封	AM - 350
閥門(mén)密封方式
- 高真空	氟橡膠
- 高真空	銅墊圈 / 氟橡膠
真空:
- 壓力范圍	高真空 1x10-9 mbar, 高真空 1x10-10 mbar
- 漏率	< 2x10-9 mbar l/S
- 差壓關(guān)閉	1 bar ( 任意位置 )
- 開(kāi)啟前大壓力	≤ 30 mbar
烘烤溫度（不含電磁閥）:
- 彈性體密封閥蓋	150°C
- 金屬密封閥蓋	-開(kāi)啟溫度：200°C -關(guān)閉值：150°C
- 驅(qū)動(dòng)方式	手動(dòng) 60 °c, 氣動(dòng) 60 °c
機(jī)制
手動(dòng)：	手搖曲柄
電磁閥供電電壓	120 VAC 50 /60 Hz
電磁閥可選電壓	24, 200, 240 VAC 50/60 Hz 或 12, 24 VDC
電磁閥位置指示器,大	115 VAC 或 28 VDC, 20 mA
氣動(dòng)送風(fēng)：	80 psig
使用壽命: 100,000 啟閉次數(shù) (具體視實(shí)際使用情況決定)
公稱(chēng)通徑: DN 16 - 800 mm

E-Beam 鍍膜機(jī)設(shè)備組成: 系統(tǒng)主要由蒸發(fā)室, 電子, 進(jìn)樣室 (可選) , 旋轉(zhuǎn)基片加熱臺(tái), 工作氣路, 抽氣系統(tǒng), 真空測(cè)量, 電控系統(tǒng)及安裝機(jī)臺(tái)等部分組成.

基片在做實(shí)驗(yàn)般需要做鍍前預(yù)處理, 鍍前預(yù)處理的目的是為了得到干凈新鮮的金屬表面, 為后獲得高質(zhì)量鍍層作準(zhǔn)備, 要進(jìn)行脫脂, 去銹蝕, 去灰塵等工作, 也有客戶(hù)在 LOADLOCK 腔進(jìn)行射頻反應(yīng)清洗, 通過(guò)使用上海伯東 KRI 離子源將基片的表層打掉, 得到光滑和均勻的表面.

若您需要進(jìn)一步的了解詳細(xì)產(chǎn)品信息或討論 , 請(qǐng)參考以下聯(lián)絡(luò)方式 :

上海伯東 : 羅女士

詞條
詞條說(shuō)明
上海伯東 HVA 真空插板閥應(yīng)用于半導(dǎo)體管道中
因產(chǎn)品配置不同，價(jià)格貨期需要電議，圖片僅供參考，一切以實(shí)際成交合同為準(zhǔn)。美國(guó) HVA?真空插板閥在半導(dǎo)體管道中的應(yīng)用半導(dǎo)體后端工藝制程中需要使用到例如 Ar, O2 或是其他特殊氣體, 氣體管路系統(tǒng) ( 真空管路 ) 的作用是把各種氣體在滿(mǎn)足工藝制程要求的純度, 壓力和流量的前提下安全穩(wěn)定的供應(yīng)到工藝設(shè)備內(nèi). 上海伯東美國(guó) HVA?插板閥廣泛用于高真空或**高真空的氣體輸送環(huán)節(jié),
HVA 真空閥門(mén)應(yīng)用于亞洲*大的粒子系統(tǒng)
因產(chǎn)品配置不同，價(jià)格貨期需要電議，圖片僅供參考，一切以實(shí)際成交合同為準(zhǔn)。美國(guó) HVA 真空閥門(mén)應(yīng)用于亞洲大的粒子系統(tǒng)上海伯東代理的美國(guó) HVA 真空閥門(mén)應(yīng)用于中國(guó)研制的亞洲大的粒子系統(tǒng) ( 100MV ),當(dāng)前世界上大的粒子系統(tǒng)為美國(guó)費(fèi)密?chē)?guó)立實(shí)驗(yàn)室的一臺(tái)質(zhì)子同步 ( 200MV )上海伯東是美國(guó) HVA 真空閥門(mén)在中國(guó)境內(nèi)的代理商, 負(fù)責(zé)HVA valve 真空閥門(mén)在中國(guó)地區(qū)的銷(xiāo)售和相關(guān)
KRi 離子源 e-beam 電子束蒸發(fā)系統(tǒng)輔助鍍膜應(yīng)用
上海伯東美國(guó)?KRi 考夫曼離子源?e-beam 電子束蒸發(fā)系統(tǒng)輔助鍍膜應(yīng)用上海伯東美國(guó)?KRi 考夫曼離子源?KDC 系列, 通過(guò)加熱燈絲產(chǎn)生電子, 是典型的考夫曼型離子源, 離子源增強(qiáng)設(shè)計(jì)輸出低電流高能量寬束型離子束, 通過(guò)同時(shí)的或連續(xù)的離子轟擊表面使原子(分子)沉積在襯底上形成薄膜, 實(shí)現(xiàn)輔助鍍膜 IBAD.?e-beam?電子束蒸
上海伯東 Pfeiffer 普發(fā)分子泵維修保養(yǎng)服務(wù)
上海伯東是德國(guó)普發(fā) Pfeiffer 授權(quán)銷(xiāo)售維修中心, 自 2002年以來(lái), 已累計(jì)為過(guò) 100, 000+ 家企業(yè)提供維修保養(yǎng)服務(wù), 客戶(hù)遍布工業(yè), 科研, 鍍膜和半導(dǎo)體行業(yè), 維修中心使用 100 ％ Pfeiffer 原廠(chǎng)部件和原裝進(jìn)口檢測(cè)設(shè)備對(duì)維修產(chǎn)品做全方面的性能測(cè)試, 上海伯東擁有完全的拆解, 維修能力, 提供快速, 高質(zhì)量的維修保養(yǎng)服務(wù).?伯東公司在上海,?臺(tái)