雙束FIB設(shè)備介紹（二）

時間：2020-03-25作者：儀準(zhǔn)科技（北京）有限公司瀏覽：125

樣品托
· 標(biāo)準(zhǔn)多功能樣品托，以*特方式直接安裝到樣品臺上，可容納18個標(biāo)準(zhǔn)樣品托架（φ12mm）、3個預(yù)傾斜樣品托、
2個垂直和2個預(yù)傾斜側(cè)排托架*（38°和90°），樣品安裝 *工具
· 每個可選的側(cè)排托架可容納6個S/TEM銅網(wǎng)
· 各種晶片和定制化樣品托可按要求提供*
系統(tǒng)控制
· 64位GUI（s 7）、鍵盤、光學(xué)鼠標(biāo)
· 可同時激活多達(dá)4個視圖，分別顯示不同束圖像和/或信號， 真彩信號混合
· 本地語言支持：請與當(dāng)?shù)豑hermo Fisher銷售代表聯(lián)系確認(rèn)可用語言包
· 24英寸寬屏顯示器 1920 x 1200（*二臺顯示器可選配）
· Joystick 操縱桿*
· 多功能控制板*
· 遠(yuǎn)程控制和成像*
圖像處理器
· 駐留時間范圍：25納秒 25 毫秒/像素
· 較高 6144 × 4096 像素
· 文件類型：TIFF (8 位、16 位、24 位)、BMP或JPEG 標(biāo)配
· SmartSCAN? (256 幀平均或積分、線積分和平均法、跨行掃描)
· DCFI (漂移補(bǔ)償幀積分)
支持軟件
· “Beam per view”圖形用戶界面，可同步激活多達(dá)4個視圖
· Thermo Scientific SPI? （同步FIB加工和SEM成像）、iSPI? （間歇式SEM成像和FIB加工）、 iRTM?（集成化實(shí)施監(jiān)測）和 FIB 浸入模式，用于**、實(shí)時SEM和FIB 過程監(jiān)測和端點(diǎn)測量
· 支持的圖形：矩形、直線、圓形、清潔截面、常規(guī)截面、 多邊形、位圖、流文件、排除區(qū)、陣列
· 直接導(dǎo)入BMP文件或流文件進(jìn)行三維刻蝕和沉積
· 材料文件支持“較短循環(huán)時間”、束調(diào)諧和獨(dú)立重疊
· 圖像配準(zhǔn)支持導(dǎo)入圖像進(jìn)行樣品導(dǎo)航
· 光學(xué)圖像上的樣品導(dǎo)航
· 撤銷（Undo）/重做（Redo）功能
· DualBeam系統(tǒng)基本操作及應(yīng)用用戶指南
· 智能掃描功能Smart Scan
· 漂移補(bǔ)償幀積分功能DCFI
· 蒙太奇導(dǎo)航功能
· 具備束流測量裝置
· 實(shí)時觀察離子束加工的監(jiān)控功能

Thermoscitific原裝配件*
· GIS氣體注入: 較多四臺設(shè)備，每種氣體配備獨(dú)立的氣體注入器，防止不同氣體交叉污染，以提高蝕刻或沉積效果 (其他配件可能會限制可用的GIS數(shù)量) ，可選氣體化學(xué)選項(xiàng)**過10種:
- 鉑沉積
- 鎢沉積
- 碳沉積
- 絕緣體沉積II
- 金沉積
- 增強(qiáng)刻蝕（碘、**）
- 絕緣體增強(qiáng)刻蝕(XeF2)
- Delineation EtchTM（**）
- 二氧化硅增強(qiáng)刻蝕
- 空坩堝，用于經(jīng)批準(zhǔn)的用戶提供的材料
- 更多束化學(xué)選項(xiàng)可按要求提供
· Thermo Scientific EasyLiftTM 系統(tǒng)用于精確原位樣品操縱
· 用于制備好透射電鏡樣品后提出，與主機(jī)集成一體化控制
· 漂移：49 nm/min
· 步長精度：49nm
· FIB荷電中和器
· μHeater：高真空兼容，**快加熱臺，溫度高達(dá)1200 ℃
· 分析：EDS、EBSD、WDS、CL
· Thermo Scientific QuickLoaderTM ：快速真空進(jìn)樣器
· DualBeam 系統(tǒng)冷凍解決方案：
- *有的CryoMAT 用于材料科學(xué)冷凍應(yīng)用
- 第三方供應(yīng)商提供的解決方案
· 隔音罩
· Thermo Scientific CyroCleanerTM 系 統(tǒng)
· 集成等離子清洗

軟件選項(xiàng)
· AutoTEM 4 軟件：用于較快速、較簡單的高度自動化
STEM 樣品制備
· AS&V4 軟件：自動化連續(xù)刻蝕和觀察，采集連續(xù)切片圖
像、EDS或EBSD 圖像進(jìn)行三維重建
· Avizo 三維重建及分析軟件
· Thermo Scientific MAPS? 軟件：用于大區(qū)域的自動圖像
采集、拼接和關(guān)聯(lián)
· Thermo Scientific NanoBuilder? 軟件：**的基于
CAD（GDSII）的專有解決方案，用于復(fù)雜結(jié)構(gòu)FIB 和束沉積優(yōu)化的納米原型制備
· iFast軟件：適用于DualBeam系統(tǒng)的**自動化套件
· 基于Web的數(shù)據(jù)庫軟件
· **圖像分析軟件
保修和培訓(xùn)
· 1年保修
· 可選維修保養(yǎng)合同
· 可選操作/應(yīng)用培訓(xùn)合同
文檔和支持
· 在線用戶向?qū)?
· 操作手冊
· RAPID? 支持文件（遠(yuǎn)程診斷支持）


儀準(zhǔn)科技（北京）有限公司專注于手動探針臺,probe,station等

• 詞條

  詞條說明

• 半導(dǎo)體技術(shù)公益課

  半導(dǎo)體技術(shù)公益課：有需要線上分享可以安排時間講您擅長的領(lǐng)域，半導(dǎo)體相關(guān)的都?xì)g迎，話題 時長不限 名稱：半導(dǎo)體技術(shù)公益課講師征集 時間：每周五下午5-7點(diǎn) 時長：不限 方式：直播分享 演講者可以準(zhǔn)備ppt，發(fā)來題目，框架，時長，個人簡介，協(xié)調(diào)好時間后即可安排。 想做線上分享的，可以聊您擅長的領(lǐng)域，半導(dǎo)體相關(guān)的都?xì)g迎，話題，時長不限 IC失效分析實(shí)驗(yàn)室 北軟檢測智能產(chǎn)品檢測實(shí)驗(yàn)室于2015年底實(shí)施運(yùn)營

• **半導(dǎo)體現(xiàn)狀

  2019年**半導(dǎo)體市場陷入萎縮，而中國可圈可點(diǎn) 經(jīng)常會有人問半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)是什么樣的一種產(chǎn)業(yè)？魏少軍教授用奧地利經(jīng)濟(jì)學(xué)家約瑟夫·熊彼得的一句話來引出，那就是“創(chuàng)新不是一個技術(shù)概念，而是一個經(jīng)濟(jì)概念”。半導(dǎo)體或者芯片產(chǎn)業(yè)，恰恰是一個創(chuàng)新驅(qū)動的產(chǎn)業(yè)，它的發(fā)明較終變成了錢，它是靠創(chuàng)新的方式來發(fā)展。所以它是個創(chuàng)新驅(qū)動的產(chǎn)業(yè)。 了解了半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的形式之后，再來看下半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的發(fā)展情況。以史為鑒，從1987年到

• 芯片測試現(xiàn)狀分析

  失效分析就是要分析損壞的產(chǎn)品從而為改進(jìn)設(shè)計或明確責(zé)任提供素材的工作。但是從行業(yè)來看，目前很多公司特別是中小型公司的失效分析做的并不好。 中國有句俗話叫：“吃一塹，長一智”，《論語》中也有“**過”的說法。其本質(zhì)就是要從失敗中吸取教訓(xùn)避免進(jìn)一步的犯錯。 一方面，一些中小型電子產(chǎn)品生產(chǎn)商沒有良好的物料控制體系，不能對物料進(jìn)行有效的追溯。一旦出了問題，很難查到當(dāng)年的渠道和來源。甚至不能保證物料的真?zhèn)?。較

• 2019年**半導(dǎo)體市場不景氣，中國表現(xiàn)良好

  2019年**半導(dǎo)體市場陷入萎縮，而中國可圈可點(diǎn) 經(jīng)常會有人問半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)是什么樣的一種產(chǎn)業(yè)？魏少軍教授用奧地利經(jīng)濟(jì)學(xué)家約瑟夫·熊彼得的一句話來引出，那就是“創(chuàng)新不是一個技術(shù)概念，而是一個經(jīng)濟(jì)概念”。半導(dǎo)體或者芯片產(chǎn)業(yè)，恰恰是一個創(chuàng)新驅(qū)動的產(chǎn)業(yè)，它的發(fā)明較終變成了錢，它是靠創(chuàng)新的方式來發(fā)展。所以它是個創(chuàng)新驅(qū)動的產(chǎn)業(yè)。 了解了半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的形式之后，再來看下半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的發(fā)展情況。以史為鑒，從1987年到