【層壓機(jī)真空泵】低溫真空泵的工作原理和工作過程

時間：2021-04-01作者：上海福豫機(jī)械設(shè)備有限公司瀏覽：800

低溫真空泵的工作原理和工作過程




CRYO Pump（低溫真空泵）為高真空pump，應(yīng)該和低真空pump配合使用，工作前真空度應(yīng)該達(dá)到10-2mbar ，否則無法工作。

當(dāng)吸附氣體飽和后，要做regeneration（再生） ，即將高溫N2通入使凝結(jié)的氣體釋放而排出pump。

入口處擋片吸附水泡，里面的特殊氣體吸附（成液態(tài)狀）。CRYO pump（低溫真空泵） 需要接一個compressor(壓縮機(jī)）通壓縮的盒。

Compressor 將he氣壓縮至約230psi ，并將因氣體壓縮而產(chǎn)生的高溫由 cooling water 冷卻，冷卻后的高壓he由管路送至PUMP ，在cylinder中膨脹，氣體膨脹時會降溫，因此叢周圍吸收大量熱量，使80°Karray及15°K分別降溫至80°K及15°K （-193°C,-258°C）。膨脹后的he壓力約80psi ，再經(jīng)管路回至compressor中。

當(dāng)氣體分子撞擊此低溫的array時，會凝結(jié)于array上，而達(dá)到減少空間中氣體分子數(shù)量。事實上氣體分子并未離開chamber ，只是被保留在PUMP上。

80°Karray用以吸附H2O、碳?xì)浠衔锏纫啄Y(jié)的氣體， 15°Karray則用以吸附N2、O2、Ar、CO2、CO等氣體。至于需要較低溫度才凝結(jié)的氣體，如H2、He、Ne等則使用活性碳（active charcoal）吸附。

當(dāng)array吸附太多氣體后其效率會明顯降低，此時須做REGEN。




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