【單級旋片式真空泵】目前主要的渦旋真空泵的種類

時(shí)間：2021-04-01作者：上海福豫機(jī)械設(shè)備有限公司瀏覽：143

目前主要的渦旋真空泵的種類有哪些：




獲得低真空的獨(dú)立設(shè)備是機(jī)械泵。作為前置泵，獲得高真空泵作為二級泵。

目前主要有渦旋真空泵

1、立式油潤滑渦旋真空泵

2、水冷式干渦旋真空泵

3、風(fēng)冷式干渦旋真空泵

4、帶波紋管密封的干渦旋真空泵




立式油潤滑渦旋真空泵

泵的徑向間隙具有密封方便的優(yōu)點(diǎn)還有控制。與當(dāng)時(shí)市場上廣泛使用的葉片式真空泵相比，渦旋式真空泵具有較高的容積效率。

同時(shí)，該型真空泵體現(xiàn)了渦流真空泵的高效性，并對如何消除間隙容積和控制間隙提出了有效的方法。

但由于缺乏冷卻裝置，真空泵的應(yīng)用受到很大限制。同時(shí)，隨著半導(dǎo)體工業(yè)的發(fā)展，該系統(tǒng)已不能滿足清洗和耐腐蝕的要求。










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