真空泵選型注意事項(xiàng)

    真空泵選型注意事項(xiàng)


    點(diǎn)擊次數(shù):183 發(fā)布時(shí)間:2012-9-5 16:12:15

    1、真空泵的工作壓強(qiáng)應(yīng)該滿足真空設(shè)備的極限真空及工作壓強(qiáng)請(qǐng)求。如:真空鍍膜請(qǐng)求1×10-5mmHg的真空度,選用的真空泵的真空度至少要5×10-6mmHg。通常選擇泵的真空度要**真空設(shè)備真空度半個(gè)到一個(gè)數(shù)量級(jí)。

    2、正確地選擇真空泵的工作點(diǎn)。每種泵都有一定的工作壓強(qiáng)范圍,如:擴(kuò)散泵為10-3~10-7mmHg,在這樣寬壓強(qiáng)范圍內(nèi),泵的抽速隨壓強(qiáng)而變化,其穩(wěn)定的工作壓強(qiáng)范圍為5×10-4~5×10-6mmHg。因此,泵的工作點(diǎn)應(yīng)該選在這個(gè)范圍之內(nèi),而不能讓它在10-8mmHg下長(zhǎng)期工作。又如鈦升華泵能夠在10-2mmHg下工作,但其工作壓強(qiáng)應(yīng)小于1×10-5mmHg為好。

    3、真空泵在其工作壓強(qiáng)下,應(yīng)能排走真空設(shè)備工藝過程中產(chǎn)生的全部氣體量。

    4、正確地組合真空泵。由于真空泵有選擇性抽氣,因此,有時(shí)選用一種泵不能滿足抽氣請(qǐng)求,需求幾種泵組合起來,相互補(bǔ)充才干滿足抽氣請(qǐng)求。如鈦升華泵對(duì)氫有很高的抽速,但不能抽氦,而三較型濺射離子泵,(或二較型非對(duì)稱陰極濺射離子泵)對(duì)氬有一定的抽速,兩者組合起來,便會(huì)使真空安裝得到較好的真空度。另外,有的真空泵不能在大氣壓下工作,需求預(yù)真空;有的真空泵出口壓強(qiáng)**大氣壓,需求前級(jí)泵,故都需求把泵組合起來運(yùn)用。

    5、真空設(shè)備對(duì)油污染的請(qǐng)求。若設(shè)備嚴(yán)厲請(qǐng)求無油時(shí),應(yīng)該選各種無油泵,如:水環(huán)泵、分子篩吸附泵、濺射離子泵、低溫泵等。假如請(qǐng)求不嚴(yán)厲,能夠選擇有油泵,加上一些防油污染措施,如加冷阱、障板、擋油阱等,也能到達(dá)清潔真空請(qǐng)求。

    6、理解被抽氣體成分,氣體中含不含可凝蒸氣,有無顆?;覊m,有無腐蝕性等。選擇真空泵時(shí),需求曉得氣體成分,針對(duì)被抽氣體選擇相應(yīng)的泵。假如氣體中含有蒸氣、顆粒、及腐蝕性氣體,應(yīng)該思索在泵的進(jìn)氣口管路上裝置輔助設(shè)備,如冷凝器、除塵器等。

    7、真空泵排出來的油蒸氣對(duì)環(huán)境的影響如何。假如環(huán)境不允許有污染,能夠選無油真空泵,或者把油蒸氣排到室外。

    8、真空泵工作時(shí)產(chǎn)生的振動(dòng)對(duì)工藝過程及環(huán)境有無影響。若工藝過程不允許,應(yīng)選擇無振動(dòng)的泵或者采取防振動(dòng)措施。

    9、真空泵的價(jià)錢、運(yùn)轉(zhuǎn)及維修費(fèi)用。


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