【硫化機真空泵】各種類型的真空泵的參數(shù)比較

時間：2021-04-01

作者：上海福豫機械設備有限公司

渦輪真空泵的工作原理和功能描述

Turbo Pump（渦輪泵）

由多級葉片組成，高速馬達驅(qū)動著Rotor，當氣體分子因為擴散進入pump，將會受到rotor撞擊而向后較加速前進。

The characteristic of the Turbo pump 間隙很小，很容易堵塞間隙不一樣長，從上注下，間隙逐漸變小

外物：高速旋轉(zhuǎn)的rotor若有外物掉入，會嚴重毀壞rotor ，因此在入口處均有一金屬網(wǎng)防止異物。

突然vent：運轉(zhuǎn)時突然有大量的氣體進入，會撞擊軸承會造成Turbo Pump的壽命縮短，一般Turbo Pump ，可承受30至50 次此情況。同時， Turbo Pump還有UPS蓄電池保護。

Turbo Pump不能即停，會影響rotor和葉片，影響Pump壽命。

真空油被加熱之后，獲得較高的熱能分子由噴嘴處向下噴射，且與周圍氣體分子碰撞，由動量轉(zhuǎn)移通過外接低真空pump將聚集在出口處的氣體分子帶走由此導致入口處與出口處因氣體分子數(shù)濃度不同而產(chǎn)生擴散現(xiàn)象

Cold Head能防止油蒸氣回流至Chamber Fore line管路中的Buffer防止油蒸氣被Pump抽走油擋板和冷凝井使用都是為了進一步防止油蒸氣回流至真空系統(tǒng) 加Pump油時，較好由前級口灌入，也可由進氣口添加，須避免較**部之噴嘴罩杯被油沾濕，否則易造成蒸氣回流

詞條
詞條說明
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