半導(dǎo)體行業(yè)工藝制程真空應(yīng)用

時間：2021-03-17作者：深圳高志自動機電有限公司瀏覽：64

       真空泵是指利用機械、物理、化學(xué)或物理化學(xué)的方法對被抽容器進(jìn)行抽氣而獲得真空的器件或設(shè)備。通俗來講，真空泵是用各種方法在某一封閉空間中改善、產(chǎn)生和維持真空的裝置。在光伏鋰電半導(dǎo)體面板等要求較高的領(lǐng)域，生產(chǎn)商往往需要一個較其潔凈的環(huán)境以保證生產(chǎn)過程中產(chǎn)品不受空氣污染或擾動的影響。比如在半導(dǎo)體器件的生產(chǎn)過程中，每一半導(dǎo)體器件都包含著許多層各種各樣的材料，如果在這些不同的材料層之間混入氣體分子，就會破壞器件的電學(xué)或光學(xué)性能；或者在半導(dǎo)體器件的加工過程中，需要用電子束、離子束和分子束等粒子對材料進(jìn)行照射和轟擊，在大氣中氣體分子就會和這些粒子發(fā)生碰撞，大大縮短它們的行進(jìn)路程，結(jié)果導(dǎo)致絕大多數(shù)粒子到達(dá)不了材料表面。因此，真空泵是光伏鋰電半導(dǎo)體面板等領(lǐng)域中*的通用設(shè)備，廣泛應(yīng)用于單晶拉晶、LL、Etching、CVD、ALD、封裝、測試等清潔或嚴(yán)苛制程，較高的真空要求對真空設(shè)備提出了較高的技術(shù)要求。
       干式螺桿真空泵是微電子、半導(dǎo)體、制藥、精密加工等行業(yè)可以選擇真空獲得設(shè)備。真空泵的發(fā)展愈來愈受到應(yīng)用場合的影響，一般的真空系統(tǒng)無法滿足清潔無油的耐腐蝕的要求，螺桿真空泵是20世紀(jì)90年代初期出現(xiàn)的一種理想的泵種，以抽速范圍寬、結(jié)構(gòu)簡單緊湊、抽氣腔組件無摩擦、壽命長、能耗低、無油污染等優(yōu)點占據(jù)市場。介于其優(yōu)越的性能，在歐美日國家已經(jīng)成為微電子、半導(dǎo)體、制藥、精密加工等行業(yè)可以選擇真空獲得設(shè)備。
       半導(dǎo)體真空泵是半導(dǎo)體各工藝制程環(huán)節(jié)*的通用設(shè)備。半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈主要分為IC設(shè)計、晶圓制造和芯片封測三大環(huán)節(jié)。一般來說晶圓制造可以細(xì)分為前道和后道兩個工藝步驟。前道工藝是將硅材料加工制造成晶圓片，通過光刻機曝光等多道工序?qū)C設(shè)計圖案加載到晶圓上，制成集成電路；后道工藝是將載有集成電路的晶圓分割成基本單元，通過封裝、測試后制成較終的集成電路產(chǎn)品，半導(dǎo)體真空泵可廣泛應(yīng)用于晶圓制造過程中的單晶拉晶、LL、Etching、CVD、ALD、封裝、測試等清潔或嚴(yán)苛制程。
       HANBELL漢鐘為半導(dǎo)體行業(yè)的各種真空應(yīng)用推出了IPM半導(dǎo)體中度嚴(yán)苛系列，IPH半導(dǎo)體嚴(yán)苛系列和PMF半導(dǎo)體干凈系列干式螺桿真空泵，歡迎來電咨詢。


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