分子泵組應(yīng)用于低溫真空探針臺(tái)

時(shí)間：2024-01-12

Pfeiffer 分子泵組應(yīng)用于低溫真空探針臺(tái)
真空探針臺(tái)一般用于復(fù)雜, 高速精密器件進(jìn)行表面觀測(cè)以及各種性能測(cè)試的儀器, 通過(guò)測(cè)試可以產(chǎn)品的質(zhì)量和性并縮減研發(fā)時(shí)間和器件制造工藝的成本. 探針臺(tái)主要應(yīng)用于半導(dǎo)體行業(yè), 光電行業(yè), 集成電路以及封裝的測(cè)試

為什么需要真空環(huán)境?
1. 真空探針臺(tái)通過(guò)搭配分子泵組, 配合真空吸附卡盤(pán)及真空吸附探針座的使用, 通過(guò)空氣壓縮, 固定樣品及探針座.
2. 由于晶圓在低溫情況下進(jìn)行探測(cè), 水氣將會(huì)出現(xiàn)并且將會(huì)凍結(jié)晶圓. 水氣會(huì)影響測(cè)量, 導(dǎo)致測(cè)量失敗. 真空腔中的水氣需要通過(guò)真空泵排出.
3. 當(dāng)晶圓加熱過(guò) 300攝氏度, 400攝氏度, 500攝氏度或者高溫度時(shí), 會(huì)發(fā)生很強(qiáng)烈的氧化. 溫度越高, 越加大硅片表面的氧化, 氧化將使晶圓降低電學(xué)性, 物理性和機(jī)械性. 真空腔中的氧氣需要通過(guò)分子泵組來(lái)排出.

上海伯東渦輪分子泵組應(yīng)用于低溫真空探針臺(tái)客戶案例: 某企業(yè)通過(guò)上海伯東采購(gòu)德國(guó) Pfeiffer 經(jīng)濟(jì)型分子泵組 HiCube 80 Eco, 分子泵與隔膜泵結(jié)合, 整機(jī)設(shè)計(jì), 即插即用, 提供清潔, 低振動(dòng), 穩(wěn)定的高真空環(huán)境.

上海伯東 Pfeiffer 普發(fā)分子泵組 HiCube Eco 技術(shù)規(guī)格

泵組型號(hào)	進(jìn)氣法蘭	分子泵型號(hào)	抽速 l/s	限真空 hPa	前級(jí)泵型號(hào)	前級(jí)泵抽速 m3/h
Hicube 80 Eco	DN 40 ISO-KF	HiPace 80	35	1X10-7	MVP 015-2	0.5
	DN 63 CF-F	HiPace 80	67	1X10-8	MVP 015-2	1
	DN 63 ISO-K	HiPace 80	67	1X10-7	MVP 015-2	1

Pfeiffer 渦輪分子泵組整體模塊化設(shè)計(jì), 內(nèi)部集成前級(jí)泵和分子泵, "即插即用", 抽速范圍 35 至 685 L/S, 限真空 5X10-10 hPa, 提供經(jīng)濟(jì)型分子泵組 ECO, 標(biāo)準(zhǔn)型分子泵組 Classic 和渦輪分子泵組 Pro 滿足不同應(yīng)用, 搭配 Pfeiffer 真空計(jì)共同使用.

鑒于客戶信息保密, 若您需要進(jìn)一步的了解分子泵組詳細(xì)信息或討論, 請(qǐng)參考以下聯(lián)絡(luò)方式
上海伯東: 羅女士

詞條
詞條說(shuō)明
KRI 離子源用于UVC人機(jī)共存紫外濾光片鍍膜
? ?? ?紫外濾光片是一種光學(xué)元件, 通過(guò)使用分散在玻璃材料表面的光學(xué)薄膜控制入射光通過(guò)膜層后不同波長(zhǎng)光的透反比. 222nm是紫外不可避免的一個(gè)波段, 因?yàn)槠渖矬w透過(guò)率低, 被譽(yù)為對(duì)人體的紫外線.222nm遠(yuǎn)紫外產(chǎn)品一定程度上解決了傳統(tǒng)紫外線不能直接照射人體的痛點(diǎn)問(wèn)題, 兼顧了功能性和性, 實(shí)現(xiàn)了人機(jī)友好共存, 有效減少和滅殺身體表面多達(dá)99.9%的細(xì)
KRI 射頻離子源輔助沉積鍍制385nm紫外帶通濾光片
?帶通濾光片也叫干涉濾光片,?主要起到過(guò)濾不想要的雜光,?只讓想要的光通過(guò)的作用. 385nm?紫外帶通濾光片是帶通濾光片中一款?UV?紫外波段的濾光片,?廣泛應(yīng)用于熒光檢測(cè),?多波段濾光片.?它具有高透過(guò)率,?其深截止可保探測(cè)器接收不到其它波長(zhǎng)的光,?因此可保證圖像的高亮度和大的信噪比.
KRI 離子源應(yīng)用于舞臺(tái)燈光濾光片鍍膜
?? 舞臺(tái)燈光雖然呈現(xiàn)是五顏六色的,?但光源一般都是白色.?通過(guò)在光源前加上特定的光學(xué)濾光片,?對(duì)光進(jìn)行“加工”,?反射和透過(guò)特定的波段,?來(lái)達(dá)到不同的色彩變化.?加上顏色濾光片,?讓不同顏色的鏡片不停切換,?產(chǎn)生不同顏色.?而在光學(xué)元件或立基板上,?鍍上或涂布一層或多層介電質(zhì)膜
燃料電池儲(chǔ)氫系統(tǒng)氦質(zhì)譜檢漏法
上海伯東燃料電池儲(chǔ)氫系統(tǒng)氦質(zhì)譜檢漏法氫是一種易于儲(chǔ)存, 運(yùn)輸和使用的能源載體.?在多種工業(yè)領(lǐng)域的脫碳,?以及在行駛距離長(zhǎng),?加油所需時(shí)間短的零排放出行中,?氫技術(shù)都發(fā)揮重要作用.?氫能作為一種清潔能源在燃料電池中的化學(xué)反應(yīng)只產(chǎn)生水,?電和熱.?已被廣泛應(yīng)用于燃料電池電動(dòng)汽車(chē)?FCEV?車(chē)載儲(chǔ)氫系統(tǒng),