雙工位臥式真空爐

時間：2014-10-22作者：青島福潤德微電子設(shè)備有限公司瀏覽：54

雙工位臥式真空爐

 

青島福潤德微電子設(shè)備有限公司

 

目  錄

 

一、          設(shè) 備 特 點

二、          設(shè) 備 結(jié) 構(gòu)

三、          技 術(shù) 指 標(biāo)

四、          安 全 保 護(hù)

五、          設(shè) 計 制 造

六、          電 路 要 求

七、          用 材 外 觀

八、          售 后 服 務(wù)

九、          關(guān) 鍵 材 料

一、      設(shè)備特點

   雙工位真空爐相比較于單工位真空爐具有以下優(yōu)點：

        1、生產(chǎn)效能高：此設(shè)備具有兩個并列工作室，工作時一個工作室加熱工藝完成后開始冷卻，與此同時爐體退出并移到另一個工作室開始加熱，即邊冷卻邊加熱，相互不影響。這樣提高了一半的生產(chǎn)時間；同時，爐體加熱完成轉(zhuǎn)換到另一個工作室時仍處于高溫狀態(tài)，這樣就保證了爐體的熱量不會流失浪費(fèi)，爐體在高溫狀態(tài)下開始加熱，省卻了預(yù)熱過程，即節(jié)省了能源，又提高了生產(chǎn)效率。

        2、節(jié)約成本：從成本的角度來考慮，兩臺單工位真空爐需要各自配備完整的加熱系統(tǒng)、控制系統(tǒng)等，而雙工位真空爐是兩個工作室共用一套系統(tǒng)，減少了配件的應(yīng)用，從而降低了產(chǎn)品成本。

二、      設(shè)備結(jié)構(gòu)

QFRD-ZS600/W系列雙工位真空燒結(jié)爐主要由左、右并列不銹鋼工作室、設(shè)備機(jī)架、真空系統(tǒng)、可移動電熱爐體、功率變壓器、功率調(diào)節(jié)部件、冷卻系統(tǒng)、電氣控制系統(tǒng)、機(jī)械傳動系統(tǒng)組成。

1、爐體：由爐絲、絕緣子、保溫棉、外殼、把口環(huán)等構(gòu)成。爐體恒溫區(qū)600mm，內(nèi)徑Ф155mm，功率大線采用履帶拖鏈結(jié)構(gòu)。采用三段控溫技術(shù)，一點**溫保護(hù)，從而確保恒溫區(qū)內(nèi)溫度的精度，以及爐體使用的安全。

2、爐絲：加熱絲采用瑞典KANTHAL，A-1牌號，Ф8mm爐絲，可多年長期工作在1230℃的高溫下，加熱爐絲采用三段控溫結(jié)構(gòu)，加熱纏繞等特殊技術(shù)和模具，確保了繞制爐絲時爐絲直徑的均勻度。

3、絕緣子：絕緣子的功能是，一方面要保證爐絲匝間間距的均勻性，因為它直接影響恒溫區(qū)參數(shù)。另一方面爐絲需要靠絕緣子支撐，以保證高溫使用情況下不下塌。為了保證在有限長度的爐體上獲得較長的恒溫區(qū)，采用多種間距的絕緣子（理論依據(jù)：單段加熱爐體溫度在爐體長度上呈正態(tài)分布，多段加熱爐體內(nèi)溫度可以使用迭加原理計算）。

4、把口環(huán)：爐體兩端頭均采用陶瓷纖維把口環(huán)，起到保溫隔熱效果，防止熱量流失，同時又具有一定的機(jī)械強(qiáng)度。

5、保溫材料：保溫材料的材質(zhì)和保溫材料的包裝工藝是爐體的又一個較其重要的關(guān)鍵技術(shù)，根據(jù)爐體的具體使用要求來進(jìn)行設(shè)計和計算。本項目選擇英國摩根公司含鋯塞拉纖維針刺毯，這種保溫材料纖維長，纖維直徑小，容重合適，氣孔率高，主要成分為AL2O3，雜質(zhì)少，保溫隔熱性能優(yōu)越。在包裝工藝上，嚴(yán)格按照“無縫”包裝的要求，通過工裝來實現(xiàn)包裝松緊、稀密程度。

6、外殼：爐體外殼選用304不銹鋼磨砂板。外殼上裝有四個電極引線板，其中三個是控溫?zé)崤?，一個是**溫保護(hù)熱偶。

7、不銹鋼工作室：本項目為左右并列雙工作室，采用厚壁310S無縫不銹鋼管制成，可長期工作在高溫環(huán)境下，不變形，不下塌。能保證加工過程人員較好地把握較高的效果和較大器件負(fù)荷量之間的平衡，以期達(dá)到高溫狀態(tài)下的優(yōu)質(zhì)性能。工作室內(nèi)徑Ф110mm，恒溫區(qū)600mm。

          8、功率變壓器：采用進(jìn)口優(yōu)質(zhì)冷軋矽鋼片，高強(qiáng)度雙環(huán)氧玻璃絲包/高強(qiáng)度漆包線，變壓器絕緣等級為B級。變壓器的功率約為24KW。

9、功率調(diào)節(jié)模塊：采用MTC功率模塊，接線簡單，維護(hù)方便，過載能力強(qiáng)，適用各種控制信號（移相、過零、周波過零），是一個標(biāo)準(zhǔn)化單元，互換性強(qiáng)。每個調(diào)節(jié)單元有三個MTC模塊。

     10、工作室端頭連接：工作段與冷卻段用密封法蘭連接。燒結(jié)段采用進(jìn)口不銹鋼管作為器件燒結(jié)區(qū)。工作段由真空端法蘭、抽真空接咀、真空檢測接咀、手動放氣咀、水冷夾套等組成。

   11、設(shè)備機(jī)架：用來承載工作室、電熱爐體、強(qiáng)電控制系統(tǒng)、機(jī)械傳動系統(tǒng)、冷卻系統(tǒng)。加熱爐體的小車在其導(dǎo)軌上可作軸向（前后），徑向（左右）移動和開關(guān)門動作。在工作室工作段上方裝有排氣罩，以便工作段熱量排出。

   12、真空系統(tǒng)：由成都南光或北京北儀機(jī)械泵+擴(kuò)散泵機(jī)組、國產(chǎn)優(yōu)質(zhì)全量程數(shù)字真空計、冷阱、蝶閥、法蘭、管道等組成。擴(kuò)散泵真空機(jī)組上端冷阱與上真空管道密封連接，整個真空系統(tǒng)有良好的密封效果，真空機(jī)組上設(shè)有一個高真空與一個低真空三通閥。真空過渡管道側(cè)端連接真空機(jī)組，上端水平方向連接工作室。真空系統(tǒng)極限真空度為：5×10-3Pa（冷態(tài)）

13、電氣控制系統(tǒng)：電氣控制系統(tǒng)統(tǒng)一安裝在標(biāo)準(zhǔn)控制柜中，由程序控制系統(tǒng)、觸摸屏、溫度控制系統(tǒng)、控制電路、報警電路、觸發(fā)板、功率模塊等組成。程序控制系統(tǒng)由PLC完成整個工作過程自動化，防止工作人員在高溫狀態(tài)下接近爐體產(chǎn)生危險。溫控系統(tǒng)采用原裝進(jìn)口日本島電MR13控制器，簡化了用戶的操作，提高了用戶工藝的穩(wěn)定性、一致性，降低了生產(chǎn)工藝處理周期，同時也減少了設(shè)備故障時間，提高了設(shè)備利用率。日本島電MR13控制器是新一代通用數(shù)字調(diào)節(jié)儀，具備高速度和高精度，具有很高可靠性。

1）三個控制回路：三個控制回路用來進(jìn)行爐溫控制（SPIKE）

2）快速控制：50ms采樣周期可在要求高速響應(yīng)的應(yīng)用中使用。

3）直觀顯示：在帶背光的三行LCD顯示器上同時顯示PV、SP控制回路狀態(tài) 

4）高分辨率及高精度：千分之三的高精度溫度控制

5）組態(tài)靈活：方便組成標(biāo)準(zhǔn)控制、加熱和冷卻控制、串級控制等。

6）功能強(qiáng)大：**的控制算法可實現(xiàn)自適應(yīng)較優(yōu)控制。三組PID滿足不同溫度段的控溫要求，PID參數(shù)自整定。

7）溫度段數(shù)：可儲存9段溫度工藝曲線

    14、冷卻系統(tǒng)：冷卻系統(tǒng)分為對工作室密封件保護(hù)及擴(kuò)散泵冷卻保護(hù)的水冷卻系統(tǒng)和對工作室工作段強(qiáng)制冷卻的風(fēng)冷系統(tǒng)。在水冷系統(tǒng)中安裝水流繼電器，當(dāng)發(fā)生水壓不穩(wěn)或缺水時發(fā)出報警，及時通知操作人員排除故障。

15、機(jī)械傳動系統(tǒng)：由電機(jī)、減速機(jī)、鏈輪、傳動軸、輪子、定位裝置組成。通過PLC控制實現(xiàn)爐體的自動軸向移動和徑向移動。

三、       主要技術(shù)指標(biāo)：

1、         結(jié)構(gòu)型式:并列雙工位臥式

2、         爐體進(jìn)退：自動

3、         溫度重復(fù)性：≤±1℃

4、         真空室等溫段長度：≤600mm

5、         等溫區(qū)溫度均勻度：≤±1℃

6、         較高設(shè)定溫度：1250℃

7、         工藝溫度：400℃-1230℃

8、         工作室內(nèi)徑：φ110mm

9、         工作室材料:無縫不銹鋼管，SUS310S牌號

10、    控溫方式：原裝進(jìn)口日本島電MR13

11、    極限冷態(tài)真空度：≤5×10-3Pa

12、 氣路構(gòu)造：真空系統(tǒng)，氬氣管道，氣路調(diào)節(jié)閥

13、 保護(hù)氣氛：氬氣，浮子流量計

14、    升溫時間：加載后至恒溫時間≤80min（具體按裝料多少定）

15、    降溫時間：≤90min（具體按裝料多少定）

16、    供電方式：三相五線   380V±10%  50Hz  

17、    最大功率：約24KVA

四、      安全保護(hù)

本設(shè)備中采用了四種保護(hù)措施：

1、   **溫報警：當(dāng)爐溫**過設(shè)定值時，（**溫設(shè)定值由用戶自己設(shè)定，缺省值為300μV）,屏幕會顯示**溫,此時**溫報警、訊響、溫度控制自動脫離控制，轉(zhuǎn)入保溫狀態(tài)。防止燒壞爐體或工作室，同時發(fā)出聲光報警，以提醒維修人員迅速排除問題。

2、   極限爐溫報警：當(dāng)爐溫由于故障**過報警設(shè)定值繼續(xù)升高，達(dá)到極限爐溫時，**溫的加熱器會自動斷電。從而避免了加熱器被燒壞。極限**溫報警的設(shè)定值用戶可以根據(jù)實際工作溫度進(jìn)行設(shè)定，但是不得**1260℃。

3、   缺水保護(hù)：當(dāng)冷卻系統(tǒng)缺水時給出報警提示，提示工作人員及時處理，避免密封圈因溫度過高而受損，起到保護(hù)密封圈的作用。

4、   斷偶保護(hù)：當(dāng)控制熱偶或報警熱偶，斷開或接觸不良時，會有一個固定的電壓輸入到控制系統(tǒng)，因此會有**溫報警或極限報警狀態(tài)發(fā)生。通知操作人員及時排除故障。從而保護(hù)了加熱系統(tǒng)

五、真空爐設(shè)計和制造

1、真空爐整機(jī)運(yùn)行平穩(wěn)、結(jié)構(gòu)牢固、可靠，無爬行、撞擊和抖動等異常。

2、真空爐設(shè)計和制造（包含配套件）符合下列國家標(biāo)準(zhǔn)：

安全電壓                    符合GB3805標(biāo)準(zhǔn)要求

機(jī)械設(shè)備防護(hù)安全     符合GB8196標(biāo)準(zhǔn)要求

漏電保護(hù)                    符合GB6829標(biāo)準(zhǔn)要求

  環(huán)境衛(wèi)生保護(hù)           符合GB5083標(biāo)準(zhǔn)要求

  線體噪音                符合國家工業(yè)設(shè)備安裝要求

六、電路要求

1、采用三相五線制，并有可靠接地；

2、配置統(tǒng)一規(guī)格的電纜線槽，在各線體的兩端配有控制開關(guān)和急停開關(guān)

3、所有控制電器和配套設(shè)備工作時，溫升不**過產(chǎn)品標(biāo)準(zhǔn)額定值，并且有良好的過載保護(hù)。

七、用材外觀和色澤

1、不銹鋼型材平直、無傷痕，表面氧化保持原有顏色。

2、鋼材經(jīng)防銹、去油處理后烤漆，漆面平整、光滑。

3、整機(jī)鋼材除了烤漆外，其它均采用發(fā)黑或鍍鋅、鍍鉻處理。

4、整體顏色為冰灰色，或由客戶*顏色

 

八、售后服務(wù)

1、我方嚴(yán)格遵守國家有關(guān)部門規(guī)定的“三包”政策，整機(jī)保修十二個月，爐體保修一年。

2、保修期內(nèi)，設(shè)備如發(fā)生故障，接用戶電話后2小時內(nèi)給予積極的電話指導(dǎo)，如不能解決問題，我單位會安排相關(guān)技術(shù)人員于48小時內(nèi)到達(dá)設(shè)備現(xiàn)場，提供維修服務(wù)。

3、保修期后我單位對本設(shè)備終生維護(hù)，簡易元件終生免費(fèi)提供。

4、定期走訪客戶:我公司保證六個月內(nèi)至少到客戶處一次，詢問客戶使用設(shè)備情況，如當(dāng)場發(fā)現(xiàn)問題，馬上給予解決。

5、我公司為用戶提供設(shè)備維修人員的技術(shù)指導(dǎo)，對用戶的設(shè)備操作人員提供技術(shù)支持。

6、我公司為用戶提供本設(shè)備的有關(guān)技術(shù)資料和使用手冊。

九、關(guān)鍵材料清單

序號	材料名稱	生產(chǎn)廠商	數(shù)量
1	控溫儀表	日本原裝島電MR13	1套
2	**溫保護(hù)	宇電控溫AI208	1套
3	真空系統(tǒng)	南光或北儀JKT-200機(jī)組	2套
4	真空儀表	新光數(shù)字復(fù)合真空計	2套
5	功率變壓器	青島蘭宇	1套
6	熱電偶	天康S分度鉑銠鉑絲	4只
7	加熱爐體	康泰爾爐絲、英國摩根棉	1套
8	閥門管件	國產(chǎn)優(yōu)質(zhì)	若干
9	功率模塊、觸發(fā)板	MTC功率模塊	3只
10	不銹鋼工作室	SUS310S牌號	2套
11	PLC	RS232串口，RS485通訊	1套
12	觸摸屏	TFT真彩觸摸屏	1套
13	控制柜	標(biāo)準(zhǔn)機(jī)柜	1套

 

十、 協(xié)議自雙方簽字、蓋章后生效。與主合同具有同等的法律效力。

十一、有未盡事宜，經(jīng)雙方共同協(xié)商，做出補(bǔ)充規(guī)定，補(bǔ)充規(guī)定與本協(xié)議具有同等法律效力。

十二、本技術(shù)協(xié)議壹式貳份，雙方各執(zhí)壹份，作為合同附件，經(jīng)雙方代表簽字蓋章生效后，與合同正本具有同等法律效用。

 

甲方：浙江英洛華磁業(yè)有限公司        乙方：青島福潤德微電子設(shè)備有限公司

（蓋章）                                  （蓋章）

 

委托代表人：                        委托代表人：劉百財

 

年  月   日                 2011 年  10 月  11 日

       


青島福潤德微電子設(shè)備有限公司專注于鏈?zhǔn)綘t排,全自動擴(kuò)散爐,小型真空爐,加熱爐體,石棉圈,小型馬弗爐等

• 詞條

  詞條說明

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