TJ光學(xué)掩模板蒸鍍掩模板柔性掩膜激光切割 精密加工
光刻掩膜版(又稱光罩,英文為Mask Reticle),簡稱掩膜版,是微納加工技術(shù)常用的光刻工藝所使用的圖形母版。由不透明的遮光薄膜在透明基板上形成掩膜圖形結(jié)構(gòu),再通過過程將圖形信息轉(zhuǎn)移到產(chǎn)品基片上。
待加工的掩膜版由玻璃/石英基片、鉻層和光刻膠層構(gòu)成。其圖形結(jié)構(gòu)可通過制版工藝加工獲得,常用加工設(shè)備為直寫式光刻設(shè)備,如激光直寫光刻機(jī)、電子束光刻機(jī)等。
掩膜版應(yīng)用十分廣泛,在涉及光刻工藝的領(lǐng)域都需要使用掩膜版,如IC(Integrated Circuit,集成電路)、FPD(Flat Panel Display,平板顯示器)、PCB(Printed Circuit Boards,印刷電路板)、MEMS(Micro Electro Mechanical Systems,微機(jī)電系統(tǒng))等。
掩膜版的分類
透明基板
1、透明玻璃 。石英玻璃(Quartz Glass)蘇打玻璃(Soda-lime Glass)低膨脹玻璃(Low Expansion Glass)
2、透明樹脂
遮光膜
(1)硬質(zhì)遮光膜:鉻膜氧化鐵硅化鉬硅。
(2)乳膠。
材料厚度(公制):
0.03mm,0.05mm,0.08mm,0.06mm,0.1mm,0.12mm,0.15mm,0.18mm,0.2mm
產(chǎn)品特點(diǎn):
激光加工線條均均,無毛剌,口
產(chǎn)品價(jià)格:
以材料材質(zhì)、厚度、精度要求、量產(chǎn)數(shù)量綜合核定
加工能力:可大批量加工
樣品提供:
付費(fèi)打樣,樣品內(nèi),快24小時(shí)出樣,量大可申請樣品
梁工
詞條
詞條說明
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