南力硅電容壓力傳感器結(jié)構(gòu)

時(shí)間：2016-01-27作者：東莞市南力測控設(shè)備有限公司瀏覽：195

東莞壓力傳感器-硅電容壓力傳感器結(jié)構(gòu)與及主要問題與性能特征

電容壓力傳感器是以硅材料為基礎(chǔ)，利用電容較間距變化將壓力轉(zhuǎn)換為電容變化，由MEMS工藝制作的傳感器。

東莞壓力傳感器-主要問題

因其檢測原理是采用電容較間距變化，而這種較間距變化本身是非線性的，為了改善非線性，開發(fā)出較為復(fù)雜的芯體結(jié)構(gòu)，如接觸式、變面積與變較距相串聯(lián)等結(jié)構(gòu)。位移傳感器另一個(gè)問題是要解決微弱電容信號的檢測問題。

東莞壓力傳感器-硅電容壓力傳感器性能特征：

一、適合批量生產(chǎn)，成本低

硅電容壓力傳感器利用MEMS工藝制作，芯片尺寸為3mm×3mm，一個(gè)4寸硅片可制作幾百個(gè)元件。產(chǎn)品的工藝性好，性能一致，適合批量生產(chǎn)，低成本運(yùn)

行。其制備工藝與IC工藝兼容，工藝裝備無須象硅諧振傳感器的工藝裝備那樣昂貴和復(fù)雜，也無須象金屬膜片電容傳感器那樣單件制作，保證了硅電容傳感器具有

高的性能價(jià)格比。

二、穩(wěn)定性好

硅電容壓力傳感器是一種結(jié)構(gòu)型傳感器，壓力傳感器就檢測原理而言，其穩(wěn)定性**物性型傳感器，從結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)角度保證了該類傳感器的穩(wěn)定性；結(jié)構(gòu)工藝采用全硬

封固態(tài)工藝，硅-玻璃-金屬導(dǎo)壓管采用靜電封接，減少了用膠封等引起的應(yīng)力、滯遲和變差；電容對溫度不靈敏，溫度附加誤差小，不需象硅壓阻器件那樣進(jìn)行復(fù)

雜的溫度補(bǔ)償。穩(wěn)定性好是硅電容傳感器深受用戶好感的主要原因之一。

三、指標(biāo)**

電容傳感器本身具有小功率、高阻抗、靜電引力小、可動質(zhì)量小、發(fā)熱影響小的特點(diǎn)，并可進(jìn)行非接觸測量。硅電容傳感器綜合性能指標(biāo)如非線性、過載、靜壓、可

靠性等性能**硅壓阻傳感器、陶瓷電容傳感器、金屬膜片電容傳感器。它與硅諧振傳感器相當(dāng)，特別是用戶追求的非線性指標(biāo)，通常硅電容傳感器的非線性**

0.05％FS的成品率大于60％。

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東莞市南力測控設(shè)備有限公司專注于壓力傳感器,稱重測力傳感器,溫度傳感器,位移傳感器等

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  詞條說明

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