無(wú)塵車(chē)間的空調(diào)只是為了降溫嗎

時(shí)間：2020-01-05作者：深圳市碧海青云凈化科技有限公司瀏覽：901

    無(wú)塵車(chē)間的換氣主要仰仗的便是空調(diào)的運(yùn)行，那么無(wú)塵室空調(diào)與家用的空調(diào)有什么


不同，無(wú)塵室空調(diào)的特性又是什么呢?


溫濕度要求**普通空調(diào)


一般空調(diào)要求在18°C~26°C之間，相對(duì)濕度則在40%~65%之間;無(wú)塵室空調(diào)必須控制


在22°C~24 °C之間, 相對(duì)濕度則在45%~55%。


恒溫恒濕控制


由于半導(dǎo)體制程對(duì)溫濕度變化的大小較為敏感，故在無(wú)塵室大部分區(qū)域必須控制在


±1C 及±3% 之內(nèi)。


所需的外氣較多


由于半導(dǎo)體工廠中，制程系統(tǒng)需使用大量的化學(xué)品和毒氣，這些化學(xué)品和毒氣所產(chǎn)


生的揮發(fā)氣體和廢氣必須予以全數(shù)排除，故排氣量相當(dāng)大，為維持無(wú)塵室壓力比外面的


大氣壓力大，此時(shí)所補(bǔ)充的空氣量亦隨之增加。


空調(diào)系統(tǒng)24小時(shí)全天運(yùn)轉(zhuǎn)并監(jiān)控管理


半導(dǎo)體工廠部分制程設(shè)備，對(duì)溫濕度變化較為敏感，如黃光區(qū)Stepper光學(xué)機(jī)臺(tái)，些


微的溫、濕度變化均會(huì)使設(shè)備的準(zhǔn)度偏差，另外芯片等產(chǎn)品也必須置放在定溫定濕的環(huán)


境下，故空調(diào)系統(tǒng)必須24小時(shí)監(jiān)控管理之。


半導(dǎo)體廠無(wú)塵室室內(nèi)壓力大小


半導(dǎo)體廠無(wú)塵室室內(nèi)壓力必須比室外高些許，除了為避免室外的溫、濕度、微粒影


響無(wú)塵室生產(chǎn)區(qū)的環(huán)境條件外，并可延長(zhǎng)無(wú)塵室ULPAfilter的壽命，但不能無(wú)條件增加


，如此將使向外逸散的潔凈空氣增加而增加運(yùn)轉(zhuǎn)成本。


氣流分布要求均勻


無(wú)塵室空調(diào)為帶走無(wú)塵室內(nèi)所產(chǎn)生的微塵粒子以維持潔凈度故除了氣流速度須達(dá)到


一定之要求標(biāo)準(zhǔn)外，氣流的流線形狀也必須依不同的無(wú)塵室等級(jí)加以適當(dāng)?shù)目刂啤?/span>

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