【掩膜板】什么是掩膜版？

時間：2021-09-18作者：北京華諾恒宇光能科技有限公司瀏覽：1534

掩膜版是制作掩膜圖形的理想感光性空白板，

通過曝光過程，這些圖形的信息將被傳遞到芯片上，用來制造芯片。

掩膜版應(yīng)用十分廣泛，在涉及光刻工藝的領(lǐng)域都需要使用掩膜版，

如IC（Integrated Circuit，集成電路）、FPD（Flat Panel Display，平板顯示器）、PCB（Printed Circuit Boards，印刷電路板）、MEMS（Micro Electro Mechanical Systems，微機(jī)電系統(tǒng)）等。

待加工的掩膜版由玻璃/石英基片、鉻層和光刻膠層構(gòu)成。

其圖形結(jié)構(gòu)可通過制版工藝加工獲得，常用加工設(shè)備為直寫式光刻設(shè)備，如激光直寫光刻機(jī)、電子束光刻機(jī)等。

其中掩膜版圖形數(shù)據(jù)由用戶自行設(shè)計(jì)并提交，后續(xù)加工工藝由工程師完成。

由于圖形數(shù)據(jù)準(zhǔn)備是掩膜版加工中的關(guān)鍵步驟，要求用戶對所提交的版圖文件仔細(xì)核對，確保圖形正確性。





北京華諾恒宇光能科技有限公司專注于金屬mask蒸鍍罩,掩膜板,壓縮機(jī)閥片等

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  詞條說明

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