小徑晶圓用_3軸圓柱坐標(biāo)型晶圓搬運(yùn)機(jī)械手臂

時(shí)間：2021-12-01作者：上海衡鵬實(shí)業(yè)有限公司瀏覽：140

小徑晶圓用_3軸圓柱坐標(biāo)型晶圓搬運(yùn)機(jī)械手臂


小徑晶圓用3軸圓柱坐標(biāo)型潔凈機(jī)械手臂特點(diǎn)： 
**潔凈無(wú)塵間用2軸圓柱坐標(biāo)型晶圓搬運(yùn)機(jī)械手臂SSCR3090S系列
適用于半導(dǎo)體生產(chǎn)設(shè)備內(nèi)部，檢測(cè)設(shè)備等小尺寸晶圓的搬運(yùn)，通過(guò)優(yōu)化機(jī)械手臂的空間尺寸，
有利于實(shí)現(xiàn)設(shè)備的小型化
機(jī)械手臂標(biāo)準(zhǔn)臂長(zhǎng)：90mm
同SSCR2090S-PM兼容，連桿式手臂，可以定制沒(méi)有Z軸模塊的機(jī)械手臂
全軸使用2相步進(jìn)電機(jī)
晶圓固定方式：真空吸附式，下托式
手指材質(zhì)：CFRP(碳纖維),鋁合金，高純度陶瓷等多種可選材質(zhì)
可以針對(duì)被搬運(yùn)物體種類(lèi)，設(shè)備布局等要求提供手指


小徑晶圓用3軸圓柱坐標(biāo)型潔凈機(jī)械手臂基本參數(shù)：
使用環(huán)境                        潔凈間內(nèi)的大氣環(huán)境
手臂                              單臂
到達(dá)距離                        175mm (手臂*3關(guān)節(jié)中心到達(dá)距離)
升降軸MAX行程              150mm
可搬運(yùn)質(zhì)量                     0.1kg (只包含被搬運(yùn)物體)(手臂*3關(guān)節(jié)處基準(zhǔn))


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