(晶圓鍵合&解鍵合)**薄晶圓支持系統(tǒng)

    (晶圓鍵合&解鍵合)**薄晶圓支持系統(tǒng)
    
    
    
    晶圓鍵合wafer bonding_**薄晶圓支持系統(tǒng)特點:
    4”-8”/8”-12”晶圓適用,支持較薄化晶圓的鍵合。
    可選真空熱壓/UV/激光等鍵合方式
    晶圓臨時鍵合智能測繪料籃內(nèi)晶圓,兼容晶圓料籃、晶圓盒裝卸料。
    Wafer Bonder支撐晶圓、產(chǎn)品晶圓進(jìn)行自動對準(zhǔn)
    晶圓臨時鍵合可自動完成晶圓鍵合(Wafer Bonder)工藝。
    可選配晶圓臨時鍵合后的在線檢測功能
    工控機+Windows系統(tǒng)
    SECS/GEM 或簡易聯(lián)網(wǎng)能力
    
    
    
    
    晶圓解鍵合wafer debonding-**薄晶圓支持系統(tǒng)特點:
    4”-8”/8”-12”晶圓適用,可應(yīng)對薄晶圓的解鍵合。
    解鍵合機智能測繪料籃內(nèi)晶圓,兼容晶圓料籃、晶圓盒裝卸料。
    解鍵合機可對已鍵合晶圓進(jìn)行自動校正。
    可定制真空熱壓/UV/激光等方式實現(xiàn)解鍵合(Wafer Debonding)。
    晶圓解鍵合機配有高精度機械手,可自動撕除晶圓臨時鍵合所用到的膠膜。
    解鍵合機可自動為晶圓貼覆切割膜。
    可選配嵌入式紫外線照射模塊。
    工控機+Windows系統(tǒng)。
    SECS/GEM 或簡易聯(lián)網(wǎng)能力。
    
    
    (晶圓鍵合&解鍵合)**薄晶圓支持系統(tǒng)相關(guān)產(chǎn)品:
    衡鵬供應(yīng)
    晶圓臨時鍵合/**薄晶圓臨時鍵合/wafer bonder/wafer debonder/50μm的**薄晶圓需要臨時鍵合
    

    上海衡鵬能源科技有限公司專注于smt生產(chǎn)設(shè)備,smt維修設(shè)備,smt檢測設(shè)備,環(huán)境模擬設(shè)備,焊接材料,線纜切斷剝皮等

  • 詞條

    詞條說明

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