切割機(jī)7134_ADT 衡鵬供應(yīng)

    切割機(jī)7134_ADT 衡鵬供應(yīng)
    
    切割機(jī)7134擁有 4" 高功率空氣軸承主軸,30krpm時(shí)較高2.5KW。直流無(wú)刷電機(jī),閉環(huán)速度控制。覆蓋較高 12" 的圓形產(chǎn)品、12" x 9" 方形基板帶框架或 12" x 12" 卡盤(不帶框架)。
    系統(tǒng)配有閉環(huán)轉(zhuǎn)向臺(tái),針對(duì)多角度切割進(jìn)行優(yōu)化,適用各種產(chǎn)品,例如:
    ·陶瓷基板
    ·氧化鋁
    ·混合物
    ·厚膜設(shè)備等
    
    ADT切割機(jī)7134系統(tǒng)規(guī)格:
    大面積系統(tǒng)配置:較高300mm x 300mm
    刀片尺寸:4"-5"
    主軸:空氣軸承,直流無(wú)刷,30 krpm/2.5 kW
    分度軸(y)
    驅(qū)動(dòng)裝置:滾珠軸承絲桿,配步進(jìn)電機(jī)
    控制:線性編碼器
    分辨率:0.2 μm
    累積精度:1.5 μm
    分度精度:1.0 μm
    傳送軸(X)
    氣動(dòng)滑塊
    驅(qū)動(dòng)裝置:滾珠軸承絲桿,配直流無(wú)刷電機(jī)
    傳送速度:高達(dá) 600 mm/sec
    切割深度軸(z)
    驅(qū)動(dòng)裝置:滾珠軸承絲桿,配步進(jìn)電機(jī)
    分辨率:0.2 μm
    精度:2.0 μm
    重復(fù)精度:1.0 μm
    行程:50 mm
    旋轉(zhuǎn)編碼器
    Z線性編碼器 - 可選件
    Z間隙高達(dá)3" - 可選
    旋轉(zhuǎn)軸
    驅(qū)動(dòng):閉環(huán)、直接驅(qū)動(dòng)、直流無(wú)刷
    精度:4 arc-sec
    重復(fù)精度:4 arc-sec
    行程:350度
    
    7134的視覺系統(tǒng)
    數(shù)碼攝像頭、Fire-Wire技術(shù)、高亮LED照明(直射和斜射)
    x55-x210或x35-x140(可選)連續(xù)數(shù)字變焦。
    
    7134設(shè)施參數(shù)
    電氣:200-240VAC,50/60Hz,單相
    氣源:260 L/min @ 5.5bar
    主軸冷卻水:1.1 L/min廠務(wù)端用水
    切割用水:較高3L/min
    尺寸(WXDXH)
    965×1300×1600 mm
    重量:900 kg
    
    
    
    了解更多/wafer_dicer/ADT_7134.htm
    
    
    
    ADT切割機(jī)7134相關(guān)產(chǎn)品:
    衡鵬供應(yīng)
    ADT 8020系列雙軸晶圓切割機(jī)
    ADT 7220系列單軸晶圓劃片機(jī)

    上海衡鵬實(shí)業(yè)有限公司專注于錫膏等

  • 詞條

    詞條說明

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