氦質(zhì)譜檢漏儀的工作原理

時(shí)間：2013-04-17作者：武漢普斯特科技有限公司瀏覽：237

1、為什么要檢漏

很多情況下，我們需要密封住一定的空間，防止氣體或液體在壓力作用下，流進(jìn)或流出這個(gè)空間，如真空設(shè)備（真空鍍膜機(jī)，液晶注入機(jī)，PVD，半導(dǎo)體外延等等），需要在真空條件下工作，要求在工作時(shí)，空氣不能漏進(jìn)工作腔體，否則生產(chǎn)不能進(jìn)行，或者產(chǎn)生次品，浪費(fèi)人力物力。另外裝液體或氣體的容器（液壓氣瓶，氧氣瓶，空調(diào)冰箱的雪種容器等等），要求在容器內(nèi)外存在壓差的情況下，不能有氣體或液體漏出。如果有漏，后果嚴(yán)重，一般會(huì)造成有效物資的浪費(fèi)，如有毒物資、腐蝕性氣體漏出，甚至?xí)劤墒鹿省?/span>

這些對(duì)密封性有要求的產(chǎn)品或設(shè)備，在投入使用前，就要**行檢漏，使用過程中也要定期利用氦質(zhì)譜檢漏儀進(jìn)行檢漏檢查。

  2、泄漏程度的量化

 容器泄漏程度的量化，用泄漏率來表示。漏率的定義

其中：△P 為壓強(qiáng)的變化量

V為容器的體積
△t為時(shí)間的變化量

3、氦質(zhì)譜檢漏儀的原理

氦質(zhì)譜檢漏技術(shù)是真空檢漏領(lǐng)域里不可缺少的一種技術(shù)，由于檢漏效率高，簡便易操作，儀器反應(yīng)靈敏，精度高，不易受其他氣體的干擾，在電阻爐檢漏中得到了廣泛應(yīng)用。

氦質(zhì)譜檢漏儀是根據(jù)質(zhì)譜學(xué)原理，用氦氣作示漏氣體制成的氣密性檢測(cè)儀器。由離子源、分析器、收集器、冷陰極電離規(guī)組成的質(zhì)譜室和抽氣系統(tǒng)及電氣部分等組成。質(zhì)譜室里的燈絲**出來的電子，在室內(nèi)來回地振蕩，并與室內(nèi)氣體和經(jīng)漏孔進(jìn)人室內(nèi)的氦氣相互碰撞使其電離成正離子，這些氦離子在加速電場(chǎng)作用下進(jìn)人磁場(chǎng)，由于洛倫茲力作用產(chǎn)生偏轉(zhuǎn)，形成圓弧形軌道，改變加速電壓可使不同質(zhì)量的離子通過磁場(chǎng)和接收縫到達(dá)接收較而被檢測(cè)。噴氦法、吸氦法是氦質(zhì)譜檢漏儀在電阻爐檢漏中較常用的兩種方法。

 

 

 如果您需要了解更多和氦質(zhì)譜檢漏儀相關(guān)信息的信息，請(qǐng)聯(lián)系我們

電話：400-666-8894

QQ：1308436226

郵件：sales@
我們的官網(wǎng)：

 


武漢普斯特科技有限公司專注于真空泵,檢漏儀,高壓繼電器,鎖相放大器,隔膜泵,真空電饋通等

• 詞條

  詞條說明

• 安捷倫科技公司2013下半年宣布新推出Agilent渦輪分子泵TwisTorr84FS

  安捷倫科技公司2013下半年宣布新推出Agilent渦輪分子泵TwisTorr84FS，這是繼上半年304FS之后的高性能渦輪分子真空泵，也采用了安捷倫新型懸浮軸承技術(shù)。 ?????? 這項(xiàng)技術(shù)廣泛用于各種應(yīng)用和市場(chǎng)，包括學(xué)術(shù)研究，以及分析、工業(yè)、納米科技/半導(dǎo)體等多個(gè)產(chǎn)業(yè)。此款渦輪分子泵的優(yōu)勢(shì)在高壓縮比，和任意角度都可使用。通過沖擊測(cè)

• 普斯特科技是Agilent真空密封膠*銷售平臺(tái)

  普斯特科技有限公司是安捷倫（原瓦里安）公司真正授權(quán)的品牌代理，是密封膠的一*網(wǎng)絡(luò)銷售平臺(tái)，我們保證所出售的產(chǎn)品原廠原裝！ 普斯特科技有限公司是武漢一家從事真空產(chǎn)品的銷售、保養(yǎng)、維修于一體的公司，位于中國·光谷武漢東湖**開發(fā)區(qū)，主要經(jīng)營精密電子測(cè)試儀器、材料物理性能測(cè)試儀器及系統(tǒng)、低溫真空獲得及真空測(cè)量設(shè)備等，客戶遍布各高校、研究院所、**單位、電力試驗(yàn)所、各級(jí)計(jì)量機(jī)構(gòu)的材料、物理、化學(xué)

• 密封膠與密封脂的區(qū)別

  近來有一些客戶向我們咨詢密封膠與密封脂的區(qū)別，下面我們就簡單介紹一下他們的區(qū)別。 密封膠一般分為四種形態(tài) 1、膏狀密封膠： 通常用于低級(jí)別密封膠 2、液態(tài)彈性體密封膠 ：具有承受重復(fù)的接縫變形能力，使用壽命一般為15~20年。這類密封膠具有高的粘接力和剪切強(qiáng)度室溫下具有良好的柔軟性。 3、熱熔密封膠 ：又稱為熱施工型密封膠 4、液體密封膠 ：這類密封膠主要用于機(jī)械結(jié)合面的密封以代替固體密封材料紙

• 關(guān)于Feedthrough

  Feedthrough,是外國的叫法，中文暫沒有統(tǒng)一叫法，市場(chǎng)上的通常叫法有、真空電極、真空密封件、真空穿通件、穿通密封件，真空饋入裝置、真空連接器等不一叫法。Feedthrough?的全稱引入是Electricl??feedthrough. ? Feedthrough一般分為多針真空feedthrough、熱電偶真空feedthrough.、功率式fee