潔凈室中的溫濕度控制

時間：2014-02-20作者：深圳市碧海青云凈化科技有限公司瀏覽：61

潔凈空間的溫濕度主要是根據(jù)工藝要求來確定，但在滿足工藝要求的條件下，應(yīng)考慮到人的舒適度感。隨著空氣潔凈度要求的提高，出現(xiàn)了工藝對溫濕度的要求也越來越嚴的趨勢。


具體工藝對溫度的要求以后還要列舉，但作為總的原則看，由于加工精度越來越精細，所以對溫度波動范圍的要求越來越小。例如在大規(guī)模集成電路生產(chǎn)的光刻曝光工藝中，作為掩膜板材料的玻璃與硅片的熱膨脹系數(shù)的差要求越來越小。直徑100 um的硅片，溫度上升1度，就引起了0.24um線性膨脹，所以必須有±0.1度的恒溫，同時要求濕度值一般較低，因為人出汗以后，對產(chǎn)品將有污染，特別是怕鈉的半導體車間，這種車間不宜**過25度。


濕度過高產(chǎn)生的問題更多。相對濕度**過55%時，冷卻水管壁上會結(jié)露，如果發(fā)生在精密裝置或電路中，就會引起各種事故。相對濕度在50%時易生銹。此外，濕度太高時將通過空氣中的水分子把硅片表面粘著的灰塵化學吸附在表面耐難以清除。相對濕度越高,粘附的難去掉，但當相對濕度**30%時，又由于靜電力的作用使粒子也*吸附于表面，同時大量半導體器件*發(fā)生擊穿。對于硅片生產(chǎn)較佳溫度范圍為35

深圳市碧海青云凈化科技有限公司專注于凈化工程,無塵車間,空氣過濾器,防靜電產(chǎn)品等

• 詞條

  詞條說明

• 空氣污染藍色預警!凈化器離子殺菌技術(shù)解析

  ? ? 空氣污染霧霾天氣再次造訪京城，從上周日開始京城的空氣質(zhì)量就往下走，天空灰蒙蒙一片。PM2.5濃度持續(xù)攀升， 就在前天北京市空氣重污染應(yīng)急中心發(fā)出重污染藍色預警信號。人體大量吸入污染物日積月累會造成多種身體疾病，可 想而知解決空氣污染的重要性。近幾年空氣凈化器在中國市場走紅，吸引大量廠商投放資源生產(chǎn)。在過濾方面很多品牌 都推出自己的離子凈化技術(shù)，它到底是一種怎樣的技術(shù)呢

• 廠房空壓站調(diào)試方法及調(diào)試順序

  （一)冷卻塔調(diào)試 ? ? ? ?首先向冷卻塔噴灑系統(tǒng)注水如無問題。其次BAS送電啟動噴灑泵，再次打開主電機 向塔內(nèi)送風，功率由10%-**逐漸升高，試運行時間為24小時。 ? （二）冷卻水系統(tǒng)調(diào)試 1、打開給水管向不銹鋼水箱內(nèi)注水，將水加注到水箱的70%。 2、打開補水泵B3的出口閥門，關(guān)閉壓力膨脹罐閥門，打開去往冷卻塔的電動閥門3個，關(guān) 閉分

• 空氣過濾器的不同效率表示方法

  當被過濾氣體中的含塵濃度以計重濃度表示時，則效率為計重效率；以計數(shù)濃度表示時，則效率為計效效率；以其 它物理量作相對表示時，則為比色效率或濁度效率等。較常用的表示方法是用過濾器進出口氣流中的塵粒濃度表示 的計數(shù)效率。 ?1．在額定風量下，按國家標準GB/T14295-93《空氣過濾器》及GB13554-92《高效空氣過濾器》的規(guī)定，不同過 濾器的效率范圍如下： 粗效過濾器，對≥5微米粒子

• 簡析傳遞窗的功能及其注意事項

  如今隨著各種無塵車間，凈化廠房的建立，傳遞窗得到了越來越多的推廣，其需求量 也越來越大。 作為潔凈室的一種輔助設(shè)備， 傳遞窗主要用于潔凈區(qū)與潔凈區(qū)之間、潔凈區(qū)與非潔凈 區(qū)之間小件物品的傳遞，以減少潔凈室的開門次數(shù)，把對潔凈室的污染降低到較低程度。 傳遞窗采用不銹鋼板制作，平整光潔。雙門互為連鎖，有效阻止交叉污染，設(shè)有電子、電 磁或機械互鎖裝置，并配置紫外線殺菌燈。 廣泛應(yīng)用于微細科技、生物制藥，