潔凈室靜電的危害

時(shí)間：2020-01-05作者：深圳市碧海青云凈化科技有限公司瀏覽：1099

1、靜電庫侖力

      在靜電庫侖力的作用下，吸附的粉塵、污物造成元器件增大泄漏或形成短路，使性能受損，成品率和可靠性大大下降。如粉塵粒徑>100μm，鋁線寬度約100μm，氧化膜厚度在50μm時(shí)，較易使產(chǎn)品報(bào)廢?，F(xiàn)在線徑較細(xì)，氧化膜很薄，粒徑很小的塵粒子就會(huì)損害元器件，這種情形多發(fā)生在腐蝕清洗、光刻、點(diǎn)焊和封裝等工藝過程中。

2、靜電放電ESD

      （1）元器件的絕緣氧化膜被擊穿，引線被燒斷或線間熔斷。若人體帶上10KV（100PF）的靜電荷，觸摸器件腳時(shí)發(fā)生ESD，其向大地瞬間形成脈沖放電電流峰值可達(dá)20A（10~100s），不要說高密度，細(xì)線徑，薄SiO2膜的Lsi、Vlsi，就是一般IC、MOS都會(huì)遭受損壞。

      一般說器件絕緣柵SiO2薄膜的耐壓場強(qiáng)是E=（5-10）×106V/cm，如果器件SiO2膜厚度取1000，其器件輸入腳施加50V-100V以上的靜電壓就將會(huì)被擊穿，而人體帶靜電**過50V、100V是較平常的。

      （2）造成噪聲、**電磁波干擾

      ESD引起EMI其電磁波的前后峰較尖，信號(hào)強(qiáng)，相當(dāng)于電路中幾伏的能量，頻率跨越幾MH2甚幾百MH2的強(qiáng)大噪聲，可能引起元器件損壞，設(shè)備和傳感器不正常工作，甚至引起設(shè)備死機(jī)。

      ESD引起的EMI還會(huì)引發(fā)錯(cuò)誤信號(hào)的輸入，或發(fā)生鎖存現(xiàn)象。如無塵室中，將晶圓片的EMIF箱放在鋼的手推車上，晶圓片的ESD會(huì)通過電感傳給手推車，車輪是絕緣的，則EMI的擴(kuò)散會(huì)引起晶圓片處理機(jī)死機(jī)。

      （3）電擊人體

      人體的ESD或?qū)θ梭w的ESD當(dāng)**過人體電擊極限電流5mA以上時(shí)，人都會(huì)有各種傷害感覺，造成工作人員的情緒不安，操作錯(cuò)誤。

      半導(dǎo)體，平面顯示器，光電子等潔凈室，盡管做了很多工作，但潔凈室的靜電問題仍然影響著生產(chǎn)安全和產(chǎn)品產(chǎn)量，影響著制造成本和效益，影響產(chǎn)品的質(zhì)量和可靠性。據(jù)國外工業(yè)*估計(jì)，美國每年由于靜電造成產(chǎn)品的損失平均在8-33%，還有人估計(jì)美國每年靜電對(duì)電子工業(yè)毀損**達(dá)100億美元；日本80年代曾對(duì)報(bào)廢的電子產(chǎn)品進(jìn)行分析，由ESD引起的損失占1/3。我國半導(dǎo)體、平面液晶顯示、光電子等都起步較晚，但靜電危害也時(shí)有發(fā)生，成品率較低。而銀行、證券公司、機(jī)要數(shù)據(jù)庫、監(jiān)控中心，電力調(diào)度室等等，若出現(xiàn)ESD就很*引起干擾，數(shù)據(jù)遺失，情形就較嚴(yán)重了。

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• 詞條

  詞條說明

• 傳遞窗的作用是什么？傳遞窗用在什么地方？

  ? ? 傳遞窗的作用是什么？傳遞窗用在什么地方？傳遞窗作為潔凈室的一種輔助設(shè)備，主要用于潔凈區(qū) 與潔凈區(qū)、非潔凈區(qū)與潔凈區(qū)之間的小件物品的傳遞，以減少潔凈室的開門次數(shù)，較大限度的降低潔凈 區(qū)的污染。 ? ?傳遞窗的配置： 1、配備機(jī)械互鎖或者是電子互鎖保證兩側(cè)門不可以同時(shí)打開。 2、配備紫外線殺菌燈對(duì)傳遞物品進(jìn)行殺菌消毒。 3、透視窗觀察物品動(dòng)態(tài)。

• FFU工作原理

  不是這行業(yè)的人肯定不知道FFU是什么意思？看看以下介紹你就知道什么是FFU了。 FFU用語表達(dá)為風(fēng)機(jī)過濾機(jī)組。它廣泛應(yīng)用于潔凈室、潔凈工作臺(tái)、潔凈生產(chǎn)線、組裝式 潔凈室和局部百級(jí)等潔凈工作場所，具有可模塊化連接使用。低噪聲、免維護(hù)、震動(dòng)小 、可無級(jí)調(diào)速，風(fēng)速均勻，安裝方便的特點(diǎn)。可分為有初、高效兩級(jí)過濾網(wǎng)。風(fēng)機(jī)由FFU **部將空氣吸入并經(jīng)初、高效過濾器過濾，過濾后的潔凈空氣以0.45m/s±20%

• 凈化工作臺(tái)的安裝程序

  1、凈化工作臺(tái)廠家提示新安裝或長期未使用的凈化工作臺(tái)，使用前必須對(duì)凈化工作臺(tái)和 周圍環(huán)境用不產(chǎn)生纖維的工具進(jìn)行認(rèn)真清潔。 2、凈化工作臺(tái)廠家提醒在對(duì)凈化工作臺(tái)安裝清洗完畢后，應(yīng)對(duì)設(shè)備進(jìn)行系統(tǒng)檢測及調(diào)節(jié) ，使設(shè)備達(dá)到較佳工作狀況方可使用。 3、凈化工作臺(tái)廠家提示電源接通后，按控制面板上所示的操作。啟動(dòng)紫外燈開關(guān)，紫外 照射分鐘后關(guān)閉紫外開關(guān)。啟動(dòng)風(fēng)機(jī)開關(guān)，設(shè)備自凈分鐘才能開始工作，工作結(jié)束后關(guān) 閉風(fēng)

• 高效過濾器

  高效過濾器--主要用于捕集0.5um以下的顆?；覊m及各種懸浮物。采用**細(xì)玻璃纖維紙作濾料，膠版紙、 鋁膜等材料作分割板，與木框鋁合金膠合而成。每臺(tái)均經(jīng)納焰法測試，具有過濾效率高、阻力低、容塵 量大等特點(diǎn)。高效空氣過濾器可廣泛用于光學(xué)電子、LCD液晶制造，生物醫(yī)藥、精密儀器、飲料食品， PCB印刷等行業(yè)無塵凈化車間的空調(diào)末端送風(fēng)處。高效和**高效過濾器均用于潔凈室末端，以其結(jié)構(gòu)形式 可分為有：有隔板高