半導(dǎo)體材料(semiconductor material)是一類具有半導(dǎo)體性能(導(dǎo)電能力介于導(dǎo)體與絕緣體之間,電阻率約在1mΩ·cm~1GΩ·cm范圍內(nèi))、可用來制作半導(dǎo)體器件和集成電路的電子材料。二氧化硅是制造玻璃、石英玻璃、水玻璃、光導(dǎo)纖維、電子工業(yè)的重要部件、光學(xué)儀器、工藝品和耐火材料的原料,是科學(xué)研究的重要材料。
本文主要介紹上海伯東KRI離子源在半導(dǎo)體材料SiO2中的預(yù)清洗及刻蝕應(yīng)用。
SiO2預(yù)清洗的原因:
SiO2在刻蝕前需要將其表面的物、顆粒、金屬雜質(zhì)、自然氧化層等去除,且不破壞晶體的表面特性。
KRI離子源在SiO2基片預(yù)清洗方法:
客戶自己搭建真空系統(tǒng),集成離子源,具體做法如下。
1.將SiO2基片放進(jìn)真空系統(tǒng),調(diào)整離子源;
2.抽取真空到某真空度后,啟動(dòng)離子源;
3.利用離子源釋放的能量對(duì)SiO2基片進(jìn)行轟擊;
KRI離子源在SiO2材料預(yù)清洗客戶案例:
成都某工藝研究所,通過伯東購(gòu)買離子源KDC40
KRI離子源優(yōu)勢(shì):
1.考夫曼離子源通過控制離子的強(qiáng)度及濃度, 使拋光刻蝕速率快準(zhǔn)確, 拋光後的基材上獲得平坦, 均勻性高的薄膜表面。
2.KDC 考夫曼離子源內(nèi)置型的設(shè)計(jì)符合離子源於離子拋光機(jī)內(nèi)部的移動(dòng)運(yùn)行。
3.不僅廣泛應(yīng)用於生產(chǎn)單位, 且因離子抨擊能量強(qiáng), 蝕刻效率快。
4.可因應(yīng)多種基材特性,單次使用長(zhǎng)久, 耗材成本極低, 操作簡(jiǎn)易, 安裝簡(jiǎn)易。
伯東公司是美國(guó) KRI 考夫曼離子源中國(guó)總代理。
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