真空系統(tǒng)的基本要求是都有哪些?
1、在被抽器件或工作室內獲得所需的極限真空和工作真空度。
極限真空度是指器件在無漏放氣時所達到的真空度,工作真空度是指在器件進行真空處理時所能維持的真空度。真空處理時往往要放出大量氣體,這時的工作真空度將顯著地**極限真空度。極限真空度和工作真空度各有其重要性,它們從不同側面對器件質量產生影響。例如在用氧化物陰極器件的排氣真空系統(tǒng)中,電10-2較除氣和陰極分解會大量出氣,如果工作真空度差,則可能出現(xiàn)電極被氧化及陰極激活欠佳的結果。但器件后封離時已基本上無漏放氣,器件內的真空度就取決于排氣真空系統(tǒng)的極限真空度。
2、為獲得某一工作真空度所需的時間
這時間決定于真空系統(tǒng)抽速的大小。提高抽速可縮短這一時間。大的工作室顯然需要大的抽速。有時工作室雖然不大,但由于漏放氣嚴重,則真空系統(tǒng)也需要大的抽速,否則大量的漏放氣將大大降低真空度,使系統(tǒng)無法工作。
3、在被抽器件或工作室內有合適的殘氣成分
實踐證明,單純提高和保證極限真空度及工作真空度是不夠的,還應對殘余氣體成分有一定的要求。例如真空攝像器件,為了保持在一年壽命期內靈敏度的降低不大于巧,要求器件內的殘余氣體的含氧量應不**10-2Pa 耐高壓的真空開關管內,應不含有碳氫化合物分子等等。真空系統(tǒng)的殘氣成分,如系統(tǒng)中無其它氣源,則主要取決于泵的特性。
4、真空系統(tǒng)還必須結構簡單、性能可靠、操作維護方便、價格*等
要滿足這些要求,必須從泵的選擇、管道尺寸的確定及布置、裝配工藝等多方面綜合考慮。上述這些基本要求經(jīng)常是相互聯(lián)系的。例如,由于真空系統(tǒng)總不免存在有微漏現(xiàn)象,故采用抽速大的泵比抽速小的泵能獲得較好的工作真空度,但大的泵價格貴,耗水、耗電多,故有合理選擇的問題。儀器和小型的真空系統(tǒng)宜選用微型真空泵,成本低、效率高、噪音小,有的用戶選用流量較大的工業(yè)真空泵是不合適的。
5、自動化要求
隨著計算機技術的發(fā)展,用戶對真空系統(tǒng)的自動化要求也不斷提升。對于真空系統(tǒng),自動控制主要是對真空泵流量和真空度的調節(jié)。真空度常常通過調節(jié)真空泵流量、安裝節(jié)流閥、泄壓閥來控制。用節(jié)流的辦法能量損失大、產生額外噪音,好是直接調節(jié)真空泵的轉速。工業(yè)真空泵調速的方法有多種,主要分為兩類:第一類是電機轉速不變,通過附加裝置改變真空泵的轉速,如變速箱調速,第二類是直接改變電機的轉速,如可控硅串級調速、變頻調速等。目前工業(yè)真空泵常用的方法是變頻調速,節(jié)能效果好,可實現(xiàn)無級調速,調速比大,調速精確,速度平穩(wěn)。
對于適用于小型真空系統(tǒng)的微型真空泵,過去主要采用降壓調速,降壓運行附帶的好處是有利于延長泵和電機壽命。如果泵的負載較大時,降壓后*造成電機無法啟動,使電機溫度上升,產生安全隱患。目前**的國產“氣?!闭{速微型真空泵配置了進口無直流電機,自帶PWM(脈寬調制)線,能方便可靠地調節(jié)流量,能輸出電機轉速反饋信號(FG),能實時監(jiān)控電機工況,便于自動控制。還具有完善的自我保護功能,在泵卡死、過熱等意外情況下能自動停機。調速微型真空泵是小型真空系統(tǒng)自動化的理想之選。
總的說來,對于氣密性較好的真空系統(tǒng),如果沒有經(jīng)常性的放氣,內部也沒有蒸氣源,則可采用較小的、極限真空度較好的泵。但是,如果系統(tǒng)的漏放氣較多,則必須用提高抽速的辦法來保證其工作真空度,這時應采用較大抽速的泵,并盡可能增大管道流導
詞條
詞條說明
*的用旋片式真空泵串接擴散泵即可.泵的抽速選擇,由真空室大小以及真空確定.一般是兩臺旋片式真空泵+一臺擴散泵組成.一臺旋片式真空泵直抽真空室,另一臺抽擴散泵.當真空室到5Pa以下,并且擴散泵預熱后,切換到擴散泵抽真空室.因為擴散泵有冷阱,所以泵油不會污染真空室.假如有錢,就用分子泵代替擴散泵.不用預熱.并且徹底無油.
XD型單級旋片式真空泵的優(yōu)點1、**強的排除水蒸氣的能力。2、出口油霧過濾器為標準配置,真空泵油循環(huán)使用,無油煙,清潔、環(huán)保、省油。3、可以在進口壓力為大氣壓的情況下連續(xù)工作。4、在低壓強下仍能保持高的抽速。5、內置自動防返油閥。6、SV630以下為風冷,不需要水冷,經(jīng)濟方便。7、低噪音,低振動。8、結構緊湊,體型小,節(jié)省空間。9、可以與各種附件配套使用,因而可以滿足各種不同應用的需要
真空系統(tǒng)的基本要求是都有哪些?1、在被抽器件或工作室內獲得所需的極限真空和工作真空度。極限真空度是指器件在無漏放氣時所達到的真空度,工作真空度是指在器件進行真空處理時所能維持的真空度。真空處理時往往要放出大量氣體,這時的工作真空度將顯著地**極限真空度。極限真空度和工作真空度各有其重要性,它們從不同側面對器件質量產生影響。例如在用氧化物陰極器件的排氣真空系統(tǒng)中,電10-2較除氣和陰極分解會大量出氣
滑閥泵排氣過濾器的安裝過程如下:1.?先在總成上面安裝過濾器壓力表,壓力表可以實時監(jiān)控真空泵的壓力,同時也可以通過數(shù)據(jù)知道什么時候應該更換濾芯了。2.?壓力表安裝完成后就到了貼標簽的環(huán)節(jié),也是一個小小的說明書以及溫馨提醒哦,用戶在使用**定要認真閱讀。3.?第三步就是安裝初效濾芯啦,初效濾芯捕捉油霧大顆粒,將小顆粒留給高效濾芯,延長高效的壽命。4.?初濾芯安
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