【上海真空泵的壓強】真空泵的壓強范圍

時間：2021-07-27作者：上海福豫機械設(shè)備有限公司瀏覽：115

壓強范圍




真空泵種類 工作壓強范圍（Pa） 起動壓強（Pa）




活塞式真空泵 1×105～1.3×102 1×105




旋片式真空泵 1×105—6.7×10-1 1×105




水環(huán)式真空泵 1×105—2.7×103 1×105




羅茨真空泵 1.3×103—1.3 1.3×103




渦輪分子泵1.3—1.3×10-5 1.3




水蒸氣噴射泵 1×105—1.3×10 -1 1×105




油擴散泵 1.3×10-2—1.3×10 -7 1.3×10




油蒸氣噴射泵 1.3×10—1.3×10 -2 <1.3×105




分子篩吸附泵 1×105—1.3×10 -1 1×105




濺射離子泵 1.3×10-3—1.3×10 -9 6.7×10-1




鈦升華泵 1.3×10-2—1.3×10 -9 1.3×10-2




鋯鋁吸氣劑泵 1.3×10—1.3×10 -11 1.3×10





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  詞條說明

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