【真空泵維修】真空泵如何選型？

時間：2021-06-03作者：上海福豫機械設(shè)備有限公司瀏覽：250

便宜的用旋片式真空泵串接擴散泵即可.
泵的抽速選擇,由真空室大小以及真空確定.


一般是兩臺旋片式真空泵+一臺擴散泵組成.

一臺旋片式真空泵直抽真空室,另一臺抽擴散泵.
當(dāng)真空室到5Pa以下,并且擴散泵預(yù)熱后,
切換到擴散泵抽真空室.因為擴散泵有冷阱,所以泵油不會污染真空室.
假如有錢,就用分子泵代替擴散泵.不用預(yù)熱.
并且徹底無油.
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