【硫化機真空泵】真空泵獲得好真空度的經(jīng)驗和操作建議


    不銹鋼真空泵獲得好真空度的經(jīng)驗和操作建議

    一:經(jīng)驗:

    1、無漏氣

    2、干凈:對油泵使用捕集阱: 分子篩, LN2 3、 金屬材料和致密陶瓷是優(yōu)良的真空材料 4、塑料和真空脂:盡可能少用 5、 可信的密封:尋找漏氣是很耗時的. 6、 對于 10-10 torr or better的真空要烘烤 7、 抽氣管路通常 8、 RGA 較好備用


    二:真空設(shè)計需要特別注意:

    1、是否要加熱部件(樣品加熱)? 2、 石英加熱管;陶瓷加熱管;加熱帶等


    3、 腔體內(nèi)不允許有空隙存在,如果有,必須有排氣通路 4、 選擇合適的密封圈 5、是否有陽極氧化部件?


    三:操作建議:

    1、不要損傷法蘭的密封刀口,手不要觸摸密封圈的表面。否則,容易產(chǎn)生脫氣

    2、不要在連接管道和法蘭處施加應(yīng)力

    3、所有物品必須是真空兼容的, 才能放入真空室。而且放入真空室之**定要清洗

    4、只有真空油脂和潤滑剤才是可以使用的】

    5、注意真空系統(tǒng)開啟和關(guān)閉的程序。通常這方面的失誤導(dǎo)致真空系統(tǒng)的損壞。




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