真空在抽空工藝中的應用

時間：2020-01-05作者：湖南瑞峰騰潤滑設(shè)備科技有限公司瀏覽：188

就抽提工藝而言，真空技術(shù)的應用體現(xiàn)在哪些方面？

容器抽空，即抽除密封容器中的空氣或氣體，是真空技術(shù)較為廣泛的應用之一。這類應用種類繁多。




所謂抽空，在多數(shù)環(huán)境空氣工業(yè)應用中，一般理解為排空物理空間內(nèi)的氣體。當環(huán)境空氣或氧氣的存在對制造或測試工藝產(chǎn)生干擾時，常需要進行抽空。

根據(jù)應用的不同，對真空度的要求也不盡相同，從*真空系統(tǒng)要求的低真空到半導體生產(chǎn)硅片涂層的高真空。




瑞峰騰的哪些真空解決方案尤其適合抽空工藝？

容器抽空工藝應用范圍廣泛，相應地，此類真空泵產(chǎn)品也各式各樣。挑選真空獲得設(shè)備時，需要考慮的關(guān)鍵因素包括排氣體積以及要求達到的容器較終壓力?；旧衔覀兯械恼婵毡枚寄苓_到此類要求。




普旭R 5 旋片真空泵和瑞峰騰RFT旋片真空泵可用于許多不同的抽空工藝，因為其運行可靠且堅固耐用，表現(xiàn)**。




Mink 爪式真空泵無油無接觸運行，基本*維護。這類節(jié)能型真空泵用于低真空抽氣工藝。




COBRA 螺桿真空泵和漢鐘干式螺桿真空泵特別適合抽除腐蝕性或爆炸性氣體。螺桿真空泵采用無油螺桿技術(shù)，可以達到高真空度。




如果是高真空抽空工藝，建議采用由瑞峰騰RFT旋片泵 或 鮑斯BSV雙級真空泵，漢鐘螺桿真空泵及鮑斯BSJ系列羅茨真空泵所組合而成的真空泵系統(tǒng)。如果抽空體積較小，建議采用 Zebra 旋片真空泵。適合高真空抽空的其它真空泵組合還包括 Turbo 渦輪分子真空泵和 Rangu 擴散真空泵。




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  詞條說明

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