一、氣體管道測(cè)試范圍: ? ? ? 假定設(shè)備機(jī)臺(tái)需要進(jìn)行測(cè)試的管路系統(tǒng)為二次配系統(tǒng),包含:Special Gas System,特氣種類包括NH3、SiH4、1% PH3/H2、NF3、PH2;測(cè)試包含內(nèi)容(五項(xiàng)測(cè)試):保壓、氦氣檢漏、氧份、顆粒、水分; Bulk Gas System,種類包括CDA、GN2;測(cè)試包含內(nèi)容:吹掃、保壓; Bulk Gas Syste