技術(shù)能夠在*對(duì)現(xiàn)有系統(tǒng)/芯片

時(shí)間：2020-01-05作者：東莞市科普源光源設(shè)備有限公司瀏覽：482

按臺(tái)積電的說法，其透明式雙重成像技術(shù)能夠在*對(duì)現(xiàn)有系統(tǒng)/芯片設(shè)計(jì)辦法停止變動(dòng)的條件下將產(chǎn)品遷移到20nm節(jié)點(diǎn)。目前臺(tái)積電曾經(jīng)在與EDA軟件廠商討論如何將透明式雙重成像技術(shù)內(nèi)嵌到EDA廠商的商用設(shè)計(jì)軟件中去。
 回想2009年初，臺(tái)積電曾表示其啟動(dòng)20nm制程節(jié)點(diǎn)時(shí)EUV/電子束光刻等次世代光刻技術(shù)可能尚未成熟，因而屆時(shí)他們方案啟用193nm液浸式光刻機(jī)+雙重成像技術(shù)。當(dāng)時(shí)臺(tái)積電擔(dān)任光刻技術(shù)的高管林本堅(jiān)曾表示，他較傾向于運(yùn)用僅需停止單次蝕刻的LLE(Litho-Litho-Etch)型雙重成像技術(shù)，而非目常見的LELE（Litho-Etch-Litho-Etch）/SADP型雙重成像技術(shù)。
 LLE技術(shù)運(yùn)用成分不同的雙層光阻膠， 或采用特殊的光阻膠固化工藝（Freeze process）采用兩次曝光+單次蝕刻的辦法來完成雙重成像；相比之下LELE技術(shù)則采用硬掩模層隔開光阻膠的計(jì)劃，采用兩次曝光+兩次蝕刻（分別蝕刻兩層光阻膠及硬掩模）的辦法來完成雙重成像。
 LLE技術(shù)的優(yōu)勢之一是本錢方面可能比LELE計(jì)劃愈加優(yōu)越，不過09年時(shí)LLE技術(shù)還并不成熟。目前我們還不分明臺(tái)積電這次將展現(xiàn)的透明式雙重成像技術(shù)能否就是基于LLE技術(shù)，答案恐怕只要在DAC會(huì)議召開時(shí)才干揭曉了。
 另外，臺(tái)積電如今宣布20nm節(jié)點(diǎn)制程采用193nm液浸式光刻+雙重成像技術(shù)，那么這能否意味著他們在20nm節(jié)點(diǎn)不會(huì)啟用EUV呢，恐怕一定？假如仔細(xì)閱讀上面的報(bào)道，你會(huì)發(fā)現(xiàn)臺(tái)積電所說的透明式雙重成像技術(shù)是為了提升“金屬線節(jié)距”的分辨率而開發(fā)的，那么屆時(shí)比金屬線層愈加關(guān)鍵的多晶硅層會(huì)采用什么光刻技術(shù)？
來源


東莞市科普源光源設(shè)備有限公司專注于等

• 詞條

  詞條說明

• 高速噴墨打印機(jī)在**數(shù)字彩色印刷領(lǐng)域只占據(jù)10%的份額

  在2008年，高速噴墨打印機(jī)在**數(shù)字彩色印刷領(lǐng)域只占據(jù)10%的份額，”InfoTrend集團(tuán)總監(jiān)Jim Hamilton說道。“該份額上漲的速度十分迅猛，到drupa 2012召開之時(shí)將會(huì)達(dá)到四分之一，而到2014年將有望**過三分之一。” 混合印刷，強(qiáng)大的組合效益 毋庸置疑，數(shù)字印刷與模擬印刷之間存在著激烈的競爭關(guān)系。drupa展覽會(huì)上的觀眾需要對(duì)較新產(chǎn)品和技術(shù)進(jìn)行仔細(xì)的研究和調(diào)查，并根據(jù)自己的

• uv印刷中的綠色包裝

  國外塑料薄膜印刷品，大多數(shù)采用柔性版印刷并使用醇溶劑性油墨，它也屬于環(huán)保型油墨。UV油墨也不含溶劑，經(jīng)過紫外線干燥后也不會(huì)對(duì)環(huán)境造成污染。由于UV油墨本身也沒有溶劑，而且干燥靠紫外線，所以使用UV油墨的印刷產(chǎn)品也是環(huán)保型的。 柔性版印刷使用油墨的優(yōu)勢（種類和性質(zhì)），是其他印刷方式如膠印和凹印無法比擬的。 水性油墨已被美國食品、藥品協(xié)會(huì)認(rèn)定為無毒油墨。UV油墨的安全性也被美國*認(rèn)同。 綠色包

• 不能一味追求設(shè)備的較高配置

  在做選購決策時(shí)，不能一味追求設(shè)備的較高配置。設(shè)備配置過高北人股份，必然價(jià)錢不菲，使企業(yè)消費(fèi)本錢加大，競爭才能降落。例如，一家煙包印刷企業(yè)所承印的煙包較多是6色，那么其購置配置8個(gè)色組的凹印設(shè)備就夠了版材，沒有必要選購10色機(jī)，而且色組數(shù)越多，在控制紙張變形、各色套印精度等方面的難度就會(huì)越大，而且資金投入也會(huì)加大。但假如色組數(shù)選擇過少，將會(huì)限制以后印刷企業(yè)產(chǎn)品的開發(fā)和市場的開辟。此外廠商信息，假如企

• 常用uv燈的參數(shù)特點(diǎn)

  常用的uv燈，工作在850-950攝氏度的**高溫條件下，因此在他的系統(tǒng)中不僅要用到抽氣裝置，較會(huì)給印刷廠的空調(diào)系統(tǒng)造成比較大的成本壓力。除此以外還有一個(gè)重要的問題就是燈泡的高更換頻率以及紫外光輸出量會(huì)相應(yīng)的隨使用時(shí)間推移，隨著燈泡的使用次數(shù)增加而減少，而且汞蒸氣弧光燈工作過程中還會(huì)產(chǎn)生大量的臭氧。這樣的弊端，導(dǎo)致UV光源系統(tǒng)要耗費(fèi)大量的電力資源，與現(xiàn)在所要求的地能源高產(chǎn)出的環(huán)境要求相背離。高頻率較