特種氣體系統(tǒng)的設(shè)計(jì)與施工

時(shí)間：2023-07-05作者：廣州市旺氣貿(mào)易有限公司瀏覽：88

前言：一個(gè)工藝技術(shù)**的大規(guī)模集成電路工廠的硅片制造過(guò)程中，全部工藝大約要使用50種不同的電子氣體。其中大部分為特種氣體。本文就特種氣體系統(tǒng)的設(shè)計(jì)與施工方面做一個(gè)簡(jiǎn)單描述。



一：概念

特氣輸送系統(tǒng)是指：將特種氣體從氣源端、根據(jù)工藝設(shè)備的工藝需求、通過(guò)對(duì)流量和壓力等參數(shù)的控制，通過(guò)管道、**次污染、穩(wěn)定的輸送到工藝設(shè)備的用氣點(diǎn)。

其基本流程是：氣源→控制柜→管道傳輸→VMB→用氣點(diǎn)

二：分類

特種氣體根據(jù)氣體性質(zhì)不同一般分為：惰性氣體、易燃易爆氣體、有毒氣體和腐蝕性氣體；根據(jù)供應(yīng)包裝的不同分為：特種氣體和大宗特種氣體。


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• 詞條

  詞條說(shuō)明

• 二氧化碳的研究和應(yīng)用主要集中于哪些方面

  目**氧化碳的研究和應(yīng)用主要集中于三個(gè)方面：一方面是汽車空調(diào)領(lǐng)域，由于制冷劑排放量大，對(duì)環(huán)境的危害也大，必須盡早采用對(duì)環(huán)境無(wú)危害的制冷劑;第二方面是熱泵熱水器，二氧化碳在**臨界條件下放熱存在一個(gè)相當(dāng)大的溫度滑移，有利于將熱水加熱到一個(gè)較高的溫度;第三方面是考慮到二氧化碳良好的低溫流動(dòng)性能和換熱特性，采用它作為復(fù)疊制冷循環(huán)低溫級(jí)制冷劑。在復(fù)疊式制冷系統(tǒng)中，二氧化碳循環(huán)在亞臨界條件下運(yùn)行。此時(shí)二氧化碳

• 乙炔可燃?xì)怏w報(bào)警器安裝高度及安裝注意事項(xiàng)

  (1)被測(cè)氣體的密度不同，室內(nèi)探頭的安裝位置也應(yīng)不同。被測(cè)氣體密度小于空氣密度時(shí)，探頭應(yīng)安裝在距屋頂30cm外，方向向下;反之，探頭應(yīng)安裝在距地面30cm處，方向向上;(2)乙炔氣體報(bào)警器的安裝高度應(yīng)當(dāng)根據(jù)氣體的性質(zhì)來(lái)決定，乙炔氣體密度比空氣氫，乙炔可燃?xì)怏w報(bào)警器安裝高度應(yīng)距屋頂30cm外;(3)乙炔報(bào)警器的周圍不能有對(duì)儀表工作有影響的強(qiáng)電磁場(chǎng)(如大功率電機(jī)、變壓器);(4)乙炔氣體報(bào)警器探頭主要

• 高純度運(yùn)用

  在電子中，高純度運(yùn)用十分廣泛。在半導(dǎo)體與集成電路制造與生產(chǎn)過(guò)程中，需要高純對(duì)其進(jìn)氛保護(hù)與清洗，保證半導(dǎo)體與集成電路的質(zhì)量；在半導(dǎo)體電池和電子合金材料等中，高純被用于電子產(chǎn)品的封裝、燒結(jié)、退火、還原、儲(chǔ)存等環(huán)節(jié)；在大規(guī)模集成電路、彩電顯像管液晶以及半導(dǎo)體原件的處理中，高純被用于十分重要的源；在單晶硅、多晶硅與一些外延產(chǎn)業(yè)中運(yùn)用高純，不僅能夠提高生產(chǎn)效率，還有效提升了產(chǎn)品質(zhì)量；在電子行業(yè)中的磁材行業(yè)塑

• 如何預(yù)防給人體帶來(lái)的危害？

  日常生活中，尤其是天氣炎熱的夏季，要較加注意室內(nèi)的通風(fēng)，不要處于一個(gè)密閉的環(huán)境之下。為避免意外，應(yīng)安裝氣體儀當(dāng)濃度**過(guò)國(guó)家規(guī)定值的時(shí)候進(jìn)行聲光報(bào)警，并且根據(jù)現(xiàn)場(chǎng)聯(lián)動(dòng)風(fēng)機(jī)，避免意外發(fā)生。應(yīng)用于各種氣體泄漏的場(chǎng)所，如:食品加工車間、實(shí)驗(yàn)室、鋼鐵生產(chǎn)車間、樹脂橡膠生產(chǎn)車間、化肥生產(chǎn)車間、制藥廠、燈泡充氣車間、醫(yī)院手術(shù)室、儲(chǔ)存的倉(cāng)庫(kù)、鋁制品廠、排氣管道、特殊工業(yè)廠房等領(lǐng)域。