加速突破**技術(shù)瓶頸 華特氣體多項(xiàng)技術(shù)工藝將填補(bǔ)國(guó)內(nèi)技術(shù)空白

時(shí)間：2019-07-30作者：廣東華特氣體股份有限公司瀏覽：153

近年來(lái)，在國(guó)家政策的扶持和帶動(dòng)下，氣體產(chǎn)業(yè)正在加快從高速增長(zhǎng)向高質(zhì)量發(fā)展轉(zhuǎn)變，成為經(jīng)濟(jì)增長(zhǎng)新亮點(diǎn)。但由于氣體行業(yè)有別于傳統(tǒng)化工行業(yè)，尤其是電子特氣，無(wú)論是技術(shù)、應(yīng)用還是商業(yè)模式，均對(duì)市場(chǎng)參與者的研發(fā)能力、生產(chǎn)能力及品質(zhì)管控能力均提出了很高的要求，而缺乏高素質(zhì)的研發(fā)人員和有經(jīng)驗(yàn)的生產(chǎn)管理人員是我國(guó)氣體企業(yè)面臨的普遍現(xiàn)象，成為制約我國(guó)特種氣體行業(yè)發(fā)展進(jìn)步的一大障礙。作為國(guó)內(nèi)率先打破較大規(guī)模集成電路、新型顯示面板等**領(lǐng)域氣體材料進(jìn)口制約的民族氣體廠商，華特股份在經(jīng)過(guò)多年的技術(shù)積累，突破并優(yōu)化了多項(xiàng)關(guān)鍵技術(shù)，使國(guó)內(nèi)的氣體純化技術(shù)、氣體混配技術(shù)、氣瓶處理技術(shù)、分析檢測(cè)等技術(shù)進(jìn)入到****水平。

據(jù)了解，廣東華特氣體股份有限公司（簡(jiǎn)稱(chēng)華特股份）1999年2月成立于中國(guó)廣東省佛山市。自成立以來(lái)，華特股份便專(zhuān)注于氣體及氣體相關(guān)的設(shè)備和電子化學(xué)品業(yè)務(wù)。通過(guò)不斷優(yōu)化自身結(jié)構(gòu)、提高質(zhì)量管理體系，目前，華特股份已掌握特種氣體從生產(chǎn)制備、存儲(chǔ)、檢測(cè)到應(yīng)用服務(wù)全流程涉及的關(guān)鍵技術(shù)，研發(fā)出了近20個(gè)進(jìn)口替代產(chǎn)品，并實(shí)現(xiàn)了規(guī)?；a(chǎn)，其中Ar/F/Ne混合氣、Kr/Ne混合氣、Ar/Ne混合氣、Kr/F/Ne混合氣4種光刻氣產(chǎn)品，2017年在國(guó)內(nèi)市場(chǎng)占有率達(dá)到60%，位于國(guó)內(nèi)**。

四大技術(shù)**技術(shù) 助力氣體行業(yè)有序發(fā)展

氣體純化是通過(guò)多重高效吸附、精餾等方式，對(duì)氣體原料中的水分、空氣、金屬離子、顆粒物等雜質(zhì)進(jìn)行去除，將氣體純度提至5N（99.999%）、6N（99.9999%）乃至7N（99.99999%）。一般而言，國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)中的高純氣體純度為5N（99.999%），而目前，華特股份已具備將NH3、He、N2、C2F6等多個(gè)產(chǎn)品純化至6N、7N 的水平。以NH3為例，經(jīng)公司純化后純度可達(dá)7N（99.99999%），其中各雜質(zhì)的控制情況如下：H2≤10ppbv（即體積含量小于10*10-9），O2+Ar≤10ppbv，N2≤10ppbv，CH4≤10ppbv，CO≤10ppbv，CO2≤10ppbv，H2O≤60ppbv。

氣體混配是指根據(jù)不同需求，運(yùn)用重量法、分壓法、動(dòng)態(tài)體積法等方法，將兩種或兩種以上組分的氣體按照特定比例混合，對(duì)配制過(guò)程的累計(jì)誤差控制、配制精度、配制過(guò)程的雜質(zhì)控制等均有較高要求。以光刻氣為例，華特股份的Ar/F/Ne、Ar/Ne、Kr/Ne等光刻氣產(chǎn)品的配氣誤差可控制在±2%以內(nèi)，組分氣從5N（99.999%）純化到5**（99.9995%），對(duì)于充裝管線上的顆粒物過(guò)濾控制，可以控制0.003um的顆粒，彌補(bǔ)了國(guó)內(nèi)在該領(lǐng)域的技術(shù)空白。

氣瓶處理在氣體存儲(chǔ)、運(yùn)輸、使用的過(guò)程中對(duì)保持氣體品質(zhì)意義重大，通過(guò)去離子水清洗、內(nèi)壁研磨、鈍化等工藝，解決鋼瓶?jī)?nèi)壁吸附雜質(zhì)的二次污染、與載氣發(fā)生反應(yīng)等問(wèn)題。目前，華特股份已掌握去離子水清洗、內(nèi)壁研磨、鈍化等工藝，并能根據(jù)載氣的不同，進(jìn)行磨料配方篩選、研磨時(shí)間設(shè)定、鈍化反應(yīng)動(dòng)態(tài)調(diào)整、多重氦氣置換、直聯(lián)泵抽真空等，經(jīng)公司處理的鋼瓶表面光滑度可達(dá)0.1~0.5μm，真空環(huán)境較高可達(dá)0.01pa，遠(yuǎn)**行業(yè)內(nèi)一般水平，可用于存儲(chǔ)ppm濃度級(jí)的腐蝕性氣體、6N（99.9999%）以上**高純度氣體等，即使對(duì)較活潑的氣體F2，華特股份亦是**少數(shù)能對(duì)其氣瓶進(jìn)行處理的公司，保證F2不與鋼瓶?jī)?nèi)壁發(fā)生反應(yīng)，**氣體質(zhì)量的穩(wěn)定。

由于氣體“看不見(jiàn)、摸不著”的特點(diǎn)，其參數(shù)量化均依賴(lài)于分析檢測(cè)，需基于對(duì)檢測(cè)對(duì)象的分析判斷，建立專(zhuān)門(mén)的檢測(cè)方法，通過(guò)氣相色譜儀、微量氧分儀等設(shè)備對(duì)氣體的純度、顆粒物等進(jìn)行精準(zhǔn)檢測(cè)，對(duì)氣體產(chǎn)品質(zhì)量的控制具有重要意義。相比于行業(yè)內(nèi)一般的檢測(cè)水平（檢測(cè)精度為1-10ppb），華特股份對(duì)多種氣體的檢測(cè)精度可達(dá)0.1ppb（0.1*10-9），而且對(duì)于重組分檢測(cè)、百分比濃度含氟量的檢測(cè)等行業(yè)難題均建立了*特的檢測(cè)方法。

目前，華特股份進(jìn)入了英特爾（Intel）、美光科技（Micron）、德州儀器（TI）、海力士（Hynix）等**良好的供應(yīng)鏈體系，實(shí)現(xiàn)科技成果與產(chǎn)業(yè)的深度融合。未來(lái)，華特股份除繼續(xù)鞏固現(xiàn)有產(chǎn)品技術(shù)優(yōu)勢(shì)和市場(chǎng)優(yōu)勢(shì)外，還將重點(diǎn)利用現(xiàn)有資源和技術(shù)基礎(chǔ)，持續(xù)加大研發(fā)力度，完善品質(zhì)管理，逐步開(kāi)拓較為廣闊的特種氣體市場(chǎng)。


廣東華特氣體股份有限公司專(zhuān)注于華特氣體,電子工業(yè)用氣體,電光源氣體等

• 詞條

  詞條說(shuō)明

• 首屆**氫能**論壇舉行 華特股份等氫企助推南海產(chǎn)業(yè)再發(fā)展

  近日，首屆**氫能標(biāo)準(zhǔn)和安全（南海）**論壇在佛山南海區(qū)召開(kāi)，來(lái)自中國(guó)、加拿大、日本、德國(guó)、英國(guó)等各個(gè)國(guó)家的*和學(xué)者受邀參與此次盛會(huì)。 本次論壇主旨在于加強(qiáng)氫能標(biāo)準(zhǔn)和安全領(lǐng)域的**交流與合作，建立氫能標(biāo)準(zhǔn)和規(guī)范的協(xié)調(diào)機(jī)制，推動(dòng)共同解決氫能標(biāo)準(zhǔn)與規(guī)范面臨的挑戰(zhàn)，搭建政產(chǎn)學(xué)研用交流平臺(tái)。論壇上，國(guó)內(nèi)外氫能產(chǎn)業(yè)領(lǐng)域具有影響力的*、學(xué)者匯聚南海，共同探討解決氫能標(biāo)準(zhǔn)與規(guī)范面臨的挑戰(zhàn)。氫能標(biāo)準(zhǔn)的建立，

• 特種氣體市場(chǎng)需求熱度持續(xù)上升 華特氣體產(chǎn)業(yè)發(fā)展進(jìn)入

  近年來(lái)，國(guó)家相繼發(fā)布《“十三五”國(guó)家戰(zhàn)略新興產(chǎn)業(yè)發(fā)展規(guī)劃》、《國(guó)家重點(diǎn)支持的**領(lǐng)域目錄》、《戰(zhàn)略性新興產(chǎn)業(yè)重點(diǎn)產(chǎn)品和服務(wù)指導(dǎo)目錄》、《新材料產(chǎn)業(yè)發(fā)展指南》等多部戰(zhàn)略新興產(chǎn)業(yè)相關(guān)政策，為特種氣體行業(yè)營(yíng)造了良好的發(fā)展環(huán)境。伴隨著技術(shù)的進(jìn)步和經(jīng)驗(yàn)的積累，再加上政策的扶持，以華特股份為例的民族氣體廠商，在突破“三個(gè)瓶頸期”后，較終在特種氣體領(lǐng)域內(nèi)脫穎而出，成為國(guó)內(nèi)良好的氣體研發(fā)和生產(chǎn)企業(yè)。 據(jù)了解，

• 人才“激勵(lì)”為發(fā)展聚力 華特氣體不斷完善培養(yǎng)機(jī)制

  隨著現(xiàn)代科技的發(fā)展，實(shí)踐證明科技研發(fā)實(shí)力是衡量一個(gè)國(guó)家綜合國(guó)力的重要因素，誰(shuí)在科研上先得到突破，誰(shuí)占據(jù)的優(yōu)勢(shì)往往就較大。雖然我國(guó)的科研在不斷地進(jìn)步，但由于歷史、經(jīng)驗(yàn)不夠等各個(gè)原因的影響，**科研產(chǎn)品進(jìn)口的局面還沒(méi)得到根本上的改善。特別在氣體行業(yè)，受人才和技術(shù)制約，外企仍然占主導(dǎo)地位。作為國(guó)內(nèi)氣體行業(yè)良好者的華特股份，就特別重視關(guān)于科研技術(shù)的創(chuàng)新與人才的引進(jìn)，在氣體技術(shù)部分領(lǐng)域達(dá)到***水平。

• 緊跟時(shí)代發(fā)展* 華特股份以優(yōu)質(zhì)服務(wù)助推特種氣體行業(yè)建設(shè)

  集成電路是工業(yè)發(fā)展的基礎(chǔ)、整機(jī)設(shè)備的心臟和*的**。自2018年下半年開(kāi)始，集成電路行業(yè)步入下行周期，到2019年二季度已經(jīng)開(kāi)始呈現(xiàn)回暖趨勢(shì)，即將迎來(lái)景氣周期。而特種氣體作為集成電路等新興產(chǎn)業(yè)的基礎(chǔ)原材料由此也將開(kāi)始新一輪的發(fā)展態(tài)勢(shì)，華特股份通過(guò)多年持續(xù)的研發(fā)和投入，已陸續(xù)實(shí)現(xiàn)IC用高純二氧化碳、高純六氟乙烷、光刻氣等多個(gè)產(chǎn)品的進(jìn)口替代。 隨著2016年**發(fā)布《“十三五”國(guó)家戰(zhàn)略新興產(chǎn)業(yè)