靶材保養(yǎng)技巧

時間：2021-10-20作者：東莞市鼎偉新材料有限公司瀏覽：770

靶材包裝在雙層真空塑料袋中, 我們建議用戶將靶材無論是金屬或陶瓷類保存在真空包裝中,

 尤其是帖合靶材較需要保存在真空條件下，以避免帖合層氧化影響貼合質(zhì)量。

對于金屬靶材的包裝，我們建議少需要包裝在潔凈的塑料袋中。

靶材保養(yǎng)技巧：

為避免在濺射過程中因為不潔凈的腔體導(dǎo)致短路和起弧，有必要階段性的除去濺射軌道中間及兩側(cè)堆積的濺射物，這也有助于用戶可以連續(xù)以大功率密度進行濺射。

靶材清潔的目的是去除靶材表面可能存在的灰塵或污垢。金屬靶材可以通過四步清潔：

步：用在丙酮中浸泡過的無絨軟布清潔；

第二步：與步類似用酒精清潔；

第三步：用去離子水清洗。

在用去離子水清洗過后再將靶材放置在烘箱中以100攝氏度烘干30分鐘。

氧化物及陶瓷靶材的清洗建潔用“無絨布”進行清潔。

第四步：在清除完有污垢的區(qū)域后，再用高壓低水氣的氬氣沖洗靶材，以除去所有可能在濺射系統(tǒng)中會造成起弧的雜質(zhì)微粒。

關(guān)鍵詞：  鉻鋁靶  鈦鋁靶

編輯精選內(nèi)容：

靶材制作工藝

金屬靶材發(fā)展前景

合金靶材濺射原理


東莞市鼎偉新材料有限公司專注于鈦鋁靶,鉻鋁靶,鎳鉻合金靶,鎢鈦合金靶材,鎳釩合金靶,高純鉻靶等, 歡迎致電 18681059472

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