顯微測量|中圖儀器顯微測量儀0.1nm分辨率精準捕捉三維形貌

時間：2024-01-22

顯微測量的原理及其在**制造業(yè)中的意義
顯微測量是利用顯微鏡實現(xiàn)對微小尺寸和形狀的測量的一種技術手段。它能以高精確度測量微觀尺寸，幫助制造業(yè)實現(xiàn)較高質量的產品。
顯微測量的原理主要基于光學和機械原理。在顯微鏡的幫助下，可以放大被測物體的面積和形狀，使其較*被觀察和測量。這種技術的應用范圍非常廣泛，涵蓋了諸多領域。
在**制造業(yè)中，不管是零件尺寸的測量還是表面質量的評估，顯微測量都可以提供高精度的數據支持。這對于確保產品的質量和一致性至關重要；通過測量微小尺寸的變化和形狀的改變，顯微測量還可以獲取加工過程中的有**的信息，幫助制造業(yè)進行工藝優(yōu)化。

中圖儀器顯微測量儀集合光學干涉、3D成像算法、納米驅動關鍵技術，為制造業(yè)提供了準確、可靠的測量手段：
1、三維顯微成像
W系列光學3D表面輪廓儀，Z向測量精度達到納米級。它基于白光干涉原理，以3D非接觸方式，測量分析樣品表面形貌的關鍵參數和尺寸。典型結果包括：表面形貌（粗糙度，平面度，平行度，臺階高度，錐角等等）、幾何特征（關鍵孔徑尺寸，曲率半徑，特征區(qū)域的面積和體積，特征圖形的位置和數量等等）。
針對**光滑凹面弧形所需同時滿足的高精度、大掃描范圍測量需求，W1的復合型EPSI重建算法，解決了傳統(tǒng)相移法PSI掃描范圍小、垂直法VSI精度低的雙重缺點。在自動拼接模塊下，只需要確定起點和終點，即可自動掃描，重建其**光滑的表面區(qū)域，不見一絲重疊縫隙。

VT6000共聚焦顯微鏡，大傾角**清納米測量。它用于略粗糙度的工件表面的微觀形貌檢測，可分析粗糙度、凹坑瑕疵、溝槽等參數。對大坡度的產品有較好的成像效果，在滿足精度的情況下使用場景較具有兼容性。

2、二維**精密測量
CP系列臺階儀，亞埃級垂直分辨率。作為一款**精密接觸式微觀輪廓測量儀器，主要用于臺階高、膜層厚度、表面粗糙度等微觀形貌參數的測量。能夠測量樣品表面的2D形狀或翹曲，如在半導體晶圓制造過程中，因多層沉積層結構中層間不匹配所產生的翹曲或形狀變化，或者類似透鏡在內的結構高度和曲率半徑。

顯微測量技術在**制造業(yè)中具有至關重要的意義。它為制造業(yè)提供了準確、可靠的測量手段，幫助企業(yè)實現(xiàn)了較高水平的制造和較高質量的產品。隨著科技的不斷進步，相信顯微測量技術將會在未來**較大的突破和應用。

深圳市中圖儀器股份有限公司專注于光柵測長機,激光干涉儀,螺紋綜合測量機等

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