CTS氣密_CTS儀器校正率_CTS儀器怎校準?

    CTS儀器校正率的作用?

    性能因素:是用來表述儀器區(qū)分合格件和不合格件的能力的一個量化參數(shù)。

    類似AI學習的過程,儀器通過學習,確定“合格”“不合格”產(chǎn)品的數(shù)值。

    例如: 標準件(不漏件)的壓降=10mBar  , 標準件+漏孔(模擬泄漏件)的壓降 =100mBar ,那么合格件和不合格件的區(qū)分度就是 90mBar 了, 性能因素 =  (100-10)/100  = 90% =90PF .  數(shù)值越大說明區(qū)分得越明顯。

    較關鍵的一個區(qū)分能力是這樣算的: 標準件+漏孔的壓降 -  標準件的壓降 )> 0.3mBar ,那么這個測試是非常可靠的了。 用戶只要看 <校準:plr> 菜單下的數(shù)據(jù)自己知道區(qū)分能力即可放心使用。  如果區(qū)分能力達不到0.3mBar 則要調整測試節(jié)拍即可達到較優(yōu)的區(qū)分能力。

    儀器中的PF只是一個給用戶做參考的值,根本不影響儀器的測試能力的。 這個PF的計算方法也不止上面描述的一種。可以擴展到兩到三種。 CTS的算法是和用戶的判斷標準關聯(lián)的,判斷標準調得越低PF算出來就越低。它僅是一個死板的參考值,不影響任何東西。

    1. 較小PF  這個參數(shù)設立的目的是怕客戶在校準時出錯,比如漏孔沒有打開。系統(tǒng)不穩(wěn)定等,儀器就能識別出來,避免校準出差錯。

    2. 現(xiàn)在部分客戶對校準的了解,不需局限于PF具體是多少,只要根據(jù) 漏和不漏的壓降差大于  0.1 ~ 0.3mBar 這個原則就可以快速判斷儀器工作得可不可靠。

    3. 這個也是CTS直壓比差壓好的一個地方,CTS的傳感器可以精確地測試壓降并且能測出非常大的壓降,這是差壓機器所不具備的重要特性。

    CTS的算法是和用戶的判斷標準關聯(lián)的,判斷標準調得越低PF算出來就越低。   然后把儀器的判斷標準設為4sccm再校準一次,這時pf應該會高一倍。

    1. 冷機**次測試壓降會偏大.

    2. 冷機校準算出來的PF會低。

    3. 所以還是建議校準的時候先正常地按工作的狀態(tài)先測試兩三次然后再校準。

     


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  • 詞條

    詞條說明

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