國華三新—鵬城半導(dǎo)體簽約儀式在深圳舉行

時間：2022-01-18作者：鵬城半導(dǎo)體技術(shù)（深圳）有限公司瀏覽：313

2022年1月17日, 國華三新與鵬城半導(dǎo)體在深圳舉行簽約儀式, 國華投資吳葉菲總經(jīng)理等一行出席本次簽約儀式；鵬城半導(dǎo)體代表吳向方先生等一行出席本次簽約儀式。




關(guān)于我們

鵬城半導(dǎo)體技術(shù)（深圳）有限公司，由哈爾濱工業(yè)大學(xué)（深圳）、北京琨騰科技有限公司以及有多年實(shí)踐經(jīng)驗(yàn)的工程師團(tuán)隊(duì)共同發(fā)起創(chuàng)建。公司立足于技術(shù)*與市場*的交叉點(diǎn)，尋求創(chuàng)新**與可持續(xù)發(fā)展，解決產(chǎn)業(yè)的痛點(diǎn)和國產(chǎn)化難題，爭取產(chǎn)業(yè)鏈的自主可控。

公司**業(yè)務(wù)是半導(dǎo)體材料、工藝和裝備的研發(fā)設(shè)計(jì)、生產(chǎn)制造。

公司人才團(tuán)隊(duì)知識結(jié)構(gòu)完整，有以哈工大教授和博士為**的高水平材料研究和工藝研究團(tuán)隊(duì)；還有來自工業(yè)界的**裝備設(shè)計(jì)師團(tuán)隊(duì)，他們具有20多年成套裝備設(shè)計(jì)和生產(chǎn)制造經(jīng)驗(yàn)。

公司依托于哈爾濱工業(yè)大學(xué)（深圳），具備**的半導(dǎo)體研發(fā)設(shè)備和檢測設(shè)備，可以在高起點(diǎn)開展科研工作。公司已具有2500多平米潔凈廠房，可開展半導(dǎo)體材料和組件的中試、生產(chǎn)，同時可進(jìn)行半導(dǎo)體裝備的生產(chǎn)和調(diào)試。

應(yīng)用案例

完全自主設(shè)計(jì)制造的分子束外延（MBE）設(shè)備，包括自主設(shè)計(jì)制造的MBE**高真空外延生長室、工藝控制系統(tǒng)與軟件、高溫束源爐、高溫樣品臺、Rheed原位實(shí)時在線監(jiān)控儀（反射高能電子衍射儀）、直線型電子槍、膜厚儀（可計(jì)量外延生長的分子層數(shù)）、射頻源等關(guān)鍵部件。真空度達(dá)到2×10-8Pa。

設(shè)備于2005年在浙江大學(xué)光學(xué)儀器國家重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室投入使用，至今仍在正常使用。

采用磁控濺射與等離子體增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積PECVD技術(shù)，設(shè)計(jì)制造了團(tuán)簇式太陽能薄膜電池中試線。典型用戶：中科院電工所。

采用熱絲法，設(shè)計(jì)制造了金剛石薄膜制備設(shè)備，應(yīng)用于金剛石薄膜材料的研究與生產(chǎn)。典型用戶：中國科學(xué)院金屬研究所。

設(shè)計(jì)制造了全自動磁控濺射設(shè)備，可加水平磁場和垂直磁場，自行設(shè)計(jì)的真空機(jī)械手傳遞基片。應(yīng)用于高密度磁記錄材料與器件的研究和中試。使用單位：武漢國家光電實(shí)驗(yàn)室。典型用戶：南方科技、哈爾濱工業(yè)大學(xué)、南京大學(xué)、浙江大學(xué)。

設(shè)計(jì)制造了科研型的磁控濺射儀，典型用戶：南方科技、哈爾濱工業(yè)大學(xué)、南京大學(xué)、浙江大學(xué)。

設(shè)計(jì)制造了磁控濺射生產(chǎn)型設(shè)備，用于半導(dǎo)體器件的生產(chǎn)，典型用戶：武漢光迅科技有限公司、深圳彩煌熱電技術(shù)公司。

設(shè)計(jì)制造了OLED**半導(dǎo)體發(fā)光材料及器件的研究和中試成套裝備。典型用戶：中國香港城市大學(xué)**材料實(shí)驗(yàn)室、吉林奧來德光電材料股份有限公司。

設(shè)計(jì)制造了電子束鍍膜機(jī)。典型用戶：武漢理工大學(xué)、南方科技大學(xué)、中國計(jì)量大學(xué)。


鵬城半導(dǎo)體技術(shù)（深圳）有限公司專注于PVD鍍膜設(shè)備,化學(xué)氣相沉積C,金剛石涂層,分子束外延MBE等

• 詞條

  詞條說明

• 化學(xué)氣相沉積設(shè)備（CVD）-小型管式LPCVD設(shè)備

  LPECVD是在低壓高溫的條件下，通過化學(xué)反應(yīng)氣相外延的方法在襯底上沉積各種功能薄膜（主要是Si3N4、SiO2及Poly硅薄膜）?？捎糜诳茖W(xué)研究、實(shí)踐教學(xué)、小型器件制造。小型管式LPCVD設(shè)備設(shè)備結(jié)構(gòu)及特點(diǎn)1、小型化，方便實(shí)驗(yàn)室操作和使用，大幅降低實(shí)驗(yàn)成本兩種基片尺寸2英寸或4英寸；每次裝片1～3片?；胖梅绞剑号渲萌N基片托架，豎直、水平臥式、帶傾角。基片形狀類型：不規(guī)則形狀的散片、φ2～4

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