GNX200BH是應(yīng)對(duì)氮化鎵晶圓等堅(jiān)硬材料為原材料的晶圓減薄機(jī) 適用于硬質(zhì)材質(zhì)減?。? SiC碳化硅晶圓減薄機(jī)GNX200BH是一臺(tái)可研磨超硬材料的全自動(dòng)減薄設(shè)備,采用大功率主軸和高剛性鑄件,可以大幅縮小加工公差。 GNX200BH在應(yīng)對(duì)SiC碳化硅晶圓、GaN氮化鎵晶圓等新型堅(jiān)硬材料為原材料的晶圓減薄/研磨/研削時(shí)表現(xiàn)優(yōu)秀。 岡本氮化鎵晶圓減薄機(jī)GNX200BH規(guī)格: 項(xiàng)目 參數(shù) 主軸 雙研磨主軸 工作盤 三個(gè)工作盤 晶圓材質(zhì) 碳化硅、氮化鎵、硅、玻璃、微機(jī)械系統(tǒng)、等… 功率 6.7KW 8P 尺寸 1350 mm x 2515mm x 1841mm 了解更多研磨機(jī)/Wafer_Grinding/ 岡本氮化鎵晶圓減薄機(jī)GNX200BH相關(guān)產(chǎn)品: 衡鵬供應(yīng) 碳化硅晶圓減薄機(jī)/氮化鎵晶圓減薄機(jī)/砷化鎵晶圓減薄機(jī)/SiC碳化硅晶圓減薄機(jī)/GaN氮化鎵晶圓減薄機(jī)/GaAs砷化鎵晶圓減薄機(jī)/碳化硅晶圓研磨機(jī)/氮化鎵晶圓研磨機(jī)/砷化鎵晶圓研磨機(jī)/SiC碳化硅晶圓研磨機(jī)/GaN氮化鎵晶圓研磨機(jī)/GaAs砷化鎵晶圓研磨機(jī)/岡本研磨機(jī)/岡本研磨機(jī)代理/岡本晶圓研磨/okamoto減薄機(jī)/okamoto 減薄機(jī)/okamoto晶圓減薄機(jī)/okamoto 晶圓減薄機(jī)/okamoto研磨機(jī)/okamoto 研磨機(jī)/okamoto晶圓研磨/okamoto晶圓研磨機(jī)/okamoto代理商/okamoto全自動(dòng)研磨機(jī)/okamoto全自動(dòng)減薄機(jī) GNX200BP/GNX300B/GNX200B
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okamoto代理商_GNX200BP晶圓減薄 okamoto代理商_GNX200BP是一款持續(xù)向下進(jìn)給式減薄設(shè)備,采用機(jī)械臂傳送硅片,減薄完成后,有兩個(gè)獨(dú)立的清洗腔,清洗效果較佳。工作盤轉(zhuǎn)速、主軸轉(zhuǎn)速、主軸下壓速度都可調(diào),有助于平衡產(chǎn)量、減薄品質(zhì)、磨輪壽命。采用兩點(diǎn)式實(shí)時(shí)測(cè)厚儀測(cè)量主軸1和主軸2下的硅片厚度,采用3點(diǎn)測(cè)控主軸角度調(diào)整機(jī)構(gòu)來(lái)控制加工的平整度(TTV)。減薄工序完成后,硅片即會(huì)被自動(dòng)
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