碳化硅晶圓研磨機GNX200BH（SiC）

時間：2021-09-08作者：上海衡鵬實業(yè)有限公司瀏覽：43

碳化硅晶圓研磨機GNX200BH（SiC）
氮化鎵晶圓（GaN）/砷化鎵晶圓（GaAs）等新型堅硬材料為原材料的晶圓減薄/研磨機



碳化硅晶圓研磨機GNX200BH特點：
GNX200BH在應(yīng)對SiC碳化硅晶圓、GaN氮化鎵晶圓、GaAs砷化鎵晶圓等新型堅硬材料為原材料的全自動減薄設(shè)備，采用大功率主軸和高剛性鑄件，可以大幅縮小加工公差。


碳化硅晶圓研磨機GNX200BH規(guī)格：
項目	參數(shù)
主軸	雙研磨主軸
工作盤	三個工作盤
晶圓材質(zhì)	碳化硅、氮化鎵、硅、玻璃、微機械系統(tǒng)、等…
功率	6.7KW 8P
尺寸	1350 mm x 2515mm x 1841mm



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