晶圓研磨機(jī)GDM300內(nèi)置修邊系統(tǒng)可作為薄型晶圓加工

    晶圓研磨機(jī)GDM300內(nèi)置修邊系統(tǒng)可作為薄型晶圓加工
    
    
    
    
    晶圓研磨機(jī)GDM300晶圓減薄特長(zhǎng):
    ·采用全自動(dòng)系統(tǒng),從后磨到貼裝的連續(xù)過(guò)程,可研磨至25um厚度。
    
    
    ·2個(gè)磨頭階段,產(chǎn)量幾乎是1個(gè)磨頭系統(tǒng)的兩倍。
    
    
    ·內(nèi)置修邊系統(tǒng)可作為薄型晶圓加工的選擇。
    
    
    ·雙指標(biāo)體系,拋光階段和研磨階段完全分離,滿足TSV和MEMS工藝所需的清潔。
    
    
    ·**亮度小于Ra1A,可**鏡面。
    
    
    了解更多/Wafer_Grinding/gdm300.htm
    
    
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    晶圓研磨/晶圓減薄/晶圓拋光/晶圓背拋/Wafer Grinding   GNX200BP

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