【三維表面輪廓儀】輪廓儀的工作原理和優(yōu)點

時間：2021-05-08

電動輪廓儀是通過儀器的觸針與被測表面的滑移進行測量的，是接觸測量。其主要優(yōu)點是可以直接測量某些難以測量到的零件表面，如孔、槽等的表面粗糙度，又能直接按某種評定標準讀數(shù)或是描繪出表面輪廓曲線的形狀，且測量速度快、結(jié)果可靠、操作方便。但是被測表面*被觸針劃傷，為此應在保證可靠接觸的前提下盡量減少測量壓力。

精度保證由液壓或者氣浮導軌等高精密裝置完成

電動輪廓儀按傳感器的工作原理分為電感式、感應式以及壓電式多種。儀器由傳感器、驅(qū)動箱、電器箱等三個基本部件組成。

傳感器的觸針由金剛石制成，針尖圓弧半徑為2微米，在觸針的后端鑲有導塊，形成一條相對于工件表面宏觀起伏的測量的基準，使觸針的位移僅相對于傳感器殼體上下運動，所以導塊能起到消除宏觀幾何形狀誤差和減小紋波度對表面粗糙度測量結(jié)果的影響。傳感器以鉸鏈形式和驅(qū)動箱連接，能自由下落，從而保證導塊始終與被測表面接觸。

TalySurf6采用的是電感式傳感器，其工作原理簡述如下。傳感器的一端裝有觸針，其**表面與被測表面接觸，當傳感器以勻速水平移動時，被測表面的峰谷使探針產(chǎn)生上下位移，使敏感元件的電感發(fā)生變化，從而引起交流載波波形發(fā)生變化。

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