半自動(dòng)晶圓撕膜機(jī)STK-5020是減薄后適用于 8”&12”晶圓

時(shí)間：2021-04-26作者：上海衡鵬實(shí)業(yè)有限公司瀏覽：56

半自動(dòng)晶圓撕膜機(jī)STK-5020是減薄后適用于 8”&12”晶圓



晶圓減薄后撕膜機(jī)STK-5020規(guī)格參數(shù)：
晶圓尺寸：8”&12”晶圓；
厚度：150 ~750 微米；
晶圓種類(lèi)：硅、砷化鎵；平邊或 V 型缺口晶圓；
撕膠膜種類(lèi)：撕膜膠帶；
                   寬度：38~100 毫米；
                   長(zhǎng)度：100 米；
撕膜角度：<45 度，并且在 5°~45°可調(diào)節(jié)；
撕膜溫度：室溫到 100 ℃范圍可調(diào)，控溫精度+/-3℃；
晶圓臺(tái)盤(pán)：通用防靜電特氟隆涂層接觸式金屬臺(tái)盤(pán)；
                帶可控加熱功能，溫度較高可達(dá) 100℃；
                臺(tái)盤(pán)帶吸真空功能；
裝卸方式：晶圓手動(dòng)放置與取出；
防靜電控制：內(nèi)置防靜電離子發(fā)生器；
晶圓定位：彈簧銷(xiāo)釘定位；
控制單元：基于 PLC 控制，并配有 5.7”觸摸屏；
驅(qū)動(dòng)單元：伺服馬達(dá)驅(qū)動(dòng)；
安全保護(hù)：配置緊急停機(jī)按鈕；
電源電壓：?jiǎn)蜗嘟涣麟?220V，6A； 
壓縮空氣：5 公斤清潔干燥壓縮空氣,流量每分鐘 80 升/分鐘；
機(jī)器外殼：白色噴塑金屬外殼；
機(jī)器指示：三色燈塔顯示機(jī)臺(tái)工作狀態(tài)；
體積：660 毫米(寬)x1170 毫米(深)x870 毫米(含燈塔高)； 
凈重：75 公斤；



晶圓減薄后撕膜機(jī)（半自動(dòng)）性能：
晶圓收益：≥99.9%； 
撕膜質(zhì)量：無(wú)裂片；
每小時(shí)產(chǎn)能：≥ 80 片晶圓；
更換產(chǎn)品時(shí)間：≤ 5 分鐘；


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