云浮蝕刻廢氣處理酸堿廢氣解決方案

時間：2019-05-13作者：東莞市永綠環(huán)保工程有限公司瀏覽：336

惠州線路板酸堿廢氣處理設(shè)備
線路板廠酸堿廢氣處理工程
工程名稱：線路板蝕刻線酸堿廢氣處理工程
設(shè)備名稱：酸堿廢氣處理塔
廢氣處理量：100000m3/h
廢氣主要成分：安氣，丙筒
凈化效率：97% 
一、云浮蝕刻廢氣處理酸堿廢氣解決方案工藝廢氣 
線路板生產(chǎn)過程中產(chǎn)生的廢氣種類較多，廢氣產(chǎn)生量和污染物濃度由設(shè)備配置以及揮發(fā)性原材料的性質(zhì)、用量等決定。
本工程大氣污染物主要為：開料、裁邊、鉆孔等工序產(chǎn)生的粉塵、酸洗、微蝕等工序產(chǎn)生流酸霧、貼膜、烘烤、文字印刷等工序產(chǎn)生的**廢氣、酸性蝕刻、活化等工序產(chǎn)生鹽酸霧、化學(xué)銅工序產(chǎn)生甲全廢氣、鍍金工序產(chǎn)生青化氫、堿性蝕刻銅工序產(chǎn)生安氣以及剝錫工序產(chǎn)生的氮樣 化物、浸錫過程中產(chǎn)生的含錫廢氣等。 
1）粉塵 
粉塵廢氣主要是開料、鉆孔等工序產(chǎn)生，主要成分為基板碎片和銅箔碎片，排放方式為敞開，收集方式為關(guān)閉門窗負壓 收集。本項目粉塵主要排放源在1棟，其中開料工序布設(shè)在1棟3樓，鉆孔、磨板等工序布設(shè)在1棟1樓。結(jié)合項目生產(chǎn)設(shè)備的布置情況，本項目擬設(shè)置1套布袋除 塵設(shè)施，布設(shè)在1棟樓頂，最后經(jīng)過25m的煙囪排放。


一般情況下，布袋除塵器的處理效率在98%以上，廢氣的設(shè)計排放標(biāo)準(zhǔn)為廣東省地方標(biāo)準(zhǔn)《大氣污染物排放限值》（DB44/27-2001）工藝廢氣大氣污染物*二時段二級排放限值要求。 

2）酸堿廢氣 
酸性廢氣主要為流酸霧、鹽酸霧、青化氫、氮樣化物。流酸霧主要是酸洗、微蝕等工序產(chǎn)生、鹽酸霧主要是酸性蝕刻、活化等工序產(chǎn)生；安氣主要是堿性蝕刻銅工序產(chǎn)生；氮氧化物主要是退錫工序使用退錫水，內(nèi)含肖酸成分而產(chǎn)生氮氧化物。 

    酸霧主要是酸洗、微蝕等工序產(chǎn)生。酸洗工序主要是采用質(zhì)量分數(shù)為5%的流酸對基板進行清洗，操作溫度一般為室溫，排放方式有半敞開式(電鍍工段)和密閉式(蝕刻工段)，收集方式為密閉式；微蝕工序是采用質(zhì)量分數(shù)為5%的流酸和雙氧水去除基板表面的氧化層，操作溫 度一般為室溫，排放方式和收集方式均為密閉式。本項目生產(chǎn)線**酸使用濃度不高，室溫狀態(tài)下流酸霧揮發(fā)濃度不高；自動生產(chǎn)線上的流酸霧排放基本實現(xiàn)密閉式 收集，因此無組織排放的流酸霧較少。 

    鹽酸霧主要是酸性蝕刻、活化等工序產(chǎn)生（在各個工序的微蝕段也會產(chǎn)生酸性氣體，例如內(nèi)層前處理的微蝕、內(nèi)層蝕刻 后的酸洗、沉銅段的微蝕、板電的酸洗、顯影前的酸洗、pp的酸洗、ET的微蝕、WF前的酸洗、沉銀前酸洗微蝕、沉金前的酸洗微蝕、成品包裝前的酸 洗）。酸性蝕刻主要用于內(nèi)層線路板蝕刻，采用氯化銅、鹽酸溶液作為蝕刻液，鹽酸濃度一般在  左右，本項目自動蝕刻線基本可實現(xiàn)排放的鹽酸霧密閉式收集?；罨ば蛑饕褂娩浕Z、錄化錫和鹽酸在孔壁上沉積一層金屬鈀以加速銅沉積反應(yīng)，工作溫度一般為50～60℃，鹽酸霧揮發(fā)速度較快，本項目可實現(xiàn)排放的鹽酸霧密閉式排放與收集。 


安氣主要是堿性蝕刻銅工序產(chǎn)生。堿性蝕刻一般多用于外層板工段，是將露銅的銅面蝕刻掉，被錫覆蓋的銅面被保留。堿性蝕刻液的主要成分是氯化銅、安水和錄化安，工作溫度一般在50～60℃，安氣揮發(fā)速度較快，本項目自動蝕刻線基本可實現(xiàn)排放的鹽酸霧密閉式收集。 


氮樣化物主要是退錫工序產(chǎn)生（板電和電鍍后的退鍍都會產(chǎn)生氮樣化物）。鍍錫的目的是用作后續(xù)堿性蝕刻工序的抗蝕劑使用退錫水，退錫工藝主要是利用退錫水把板上錫全部去除以進行后續(xù)表面加工工序。由于退錫水中內(nèi)含肖酸成分而產(chǎn)生氮氧化物。 


云浮蝕刻廢氣處理酸堿廢氣解決方案本項目酸堿廢氣主要排放源有1棟1樓內(nèi)層工段、2棟1樓電鍍線、2棟2樓外層工段。結(jié)合項目生產(chǎn)設(shè)備的布置情 況，本項目擬在1棟、2棟樓頂各設(shè)置1套酸堿廢氣處理設(shè)施。本項目絕大部分生產(chǎn)線擬設(shè)置為密閉生產(chǎn)線，鹽酸霧、流酸霧及安氣廢氣經(jīng)管道收集輸送到樓頂廢氣 噴淋系統(tǒng)進行處理。由于本項目產(chǎn)生的氮樣化物為間歇時排放、且濃度波動范圍大，參考《氮樣化物的濕式吸收法討論》（《電鍍與環(huán)保》，1982年03期）文獻，本項目氮氧化物單獨收集采用堿液吸收處理方法處理后通過酸堿廢氣煙囪排放，處理效率一般為60% 

3）**廢氣 
**廢氣主要是貼膜、烘烤、文字印刷、壓合等工序產(chǎn)生，項目產(chǎn)生的**廢氣種類復(fù)雜，產(chǎn)生方式為敞開(壓合、貼 膜)和半敞開(烘干)，收集方式為關(guān)門窗負壓收集。本項目產(chǎn)生的**廢氣擬采用活性炭吸附后，再通過25米高的煙囪向外排放。**氣體的去除率大于 75%。本項目酸堿廢氣主要排放源有1棟2樓內(nèi)層工段、1棟4樓壓合工段、2棟2樓外層工段。結(jié)合項目生產(chǎn)設(shè)備的布置情況，本項目擬在1棟、2棟樓頂各設(shè) 置1套**廢氣處理設(shè)施。 


4）甲全廢氣 
甲全廢氣主要是化學(xué)銅工序產(chǎn)生?；瘜W(xué)銅即化學(xué)鍍銅，其目的是在通孔壁上沉積一層銅，使內(nèi)層線路板上下電氣互連。 化學(xué)銅溶液主要成分是流酸銅、甲全、氫樣化鈉和EDTA二鈉鹽，該溶液呈強堿性（pH=12~13），工作溫度為60~65℃。本項目主要甲全廢氣排放源 為2棟1樓沉銅工段，可以實現(xiàn)負壓密閉式收集，該廢氣與化學(xué)銅線的酸霧共用收集系統(tǒng)，經(jīng)收集后由管道輸送到噴淋處理系統(tǒng)進行處理。 


5）錫及其化合物 
本項目浸錫生產(chǎn)過程中產(chǎn)生錫及其化合物，本項目含錫廢氣主要排放源為2棟2樓外層工段、2樓3層噴錫等工序，該廢氣經(jīng)收集后由管道輸送到**廢氣處理系統(tǒng)處理。 


6）青化氫 
青化氫廢氣主要是鍍金工序產(chǎn)生。常用的化學(xué)金溶液也是微青的，主要成分是青化金鉀、檸檬酸安、次磷suan鈉和少量添 加劑，反應(yīng)溫度為室溫，反應(yīng)過程中會產(chǎn)生少量含青廢物。本項目青化氫廢氣主要排放源為2棟3樓鍍金工段。考慮到青化氫為有毒廢氣，單獨收集單獨處理方式，根據(jù)《深圳市電鍍行業(yè)廢氣治理工程建設(shè)管理指引》，本項目采用濕法吸收的處理方法，處理效率一般可達90%。 
建議考慮到系統(tǒng)的穩(wěn)定性，在車間內(nèi)安裝引風(fēng)機的時候，考慮到設(shè)備的損壞及故障時，應(yīng)考慮到臨時抽氣系統(tǒng)。 同時，使用噴淋塔若放置在車間內(nèi)部，需要注意由于噴淋后氣體的溫度降低，可能會出現(xiàn)結(jié)露。 






云浮蝕刻廢氣處理酸堿廢氣解決方案圖片










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