新潔能功率器件MOSFET管

        金屬-氧化物半導(dǎo)體場效應(yīng)晶體管,簡稱金氧半場效晶體管(Metal-Oxide-Semiconductor Field-Effect Transistor, MOSFET)是一種可以廣泛使用在模擬電路與數(shù)字電路的場效晶體管(field-effect transistor)。 

        MOSFET依照其“通道”(工作載流子)的極性不同,可分為“N型”與“P型” 的兩種類型,通常又稱為NMOSFET與PMOSFET,其他簡稱上包括NMOS、PMOS等。


        從名字表面的角度來看MOSFET的命名,事實(shí)上會(huì)讓人得到錯(cuò)誤的印象。因?yàn)镸OSFET里代表“metal”的**個(gè)字母M在當(dāng)下大部分同類的元件里是不存在的。早期MOSFET的柵較(gate electrode)使用金屬作為其材料,但隨著半導(dǎo)體技術(shù)的進(jìn)步,隨后MOSFET柵較使用多晶硅取代了金屬。在處理器中,多晶硅柵已經(jīng)不是主流技術(shù),從英特爾采用45納米線寬的P1266處理器開始,柵較開始重新使用金屬。
        MOSFET在概念上屬于“絕緣柵較場效晶體管”(Insulated-Gate Field Effect Transistor,IGFET),而IGFET的柵較絕緣層有可能是其他物質(zhì)而非MOSFET使用的氧化層。有些人在提到擁有多晶硅柵較的場效晶體管元件時(shí)比較喜歡用IGFET,但是這些IGFET多半指的是MOSFET。
    MOSFET里的氧化層位于其通道上方,依照其操作電壓的不同,這層氧化物的厚度僅有數(shù)十至數(shù)百埃(Å)不等,通常材料是二氧化硅(silicon dioxide,SiO2),不過有些新的進(jìn)階制程已經(jīng)可以使用如氮氧化硅(silicon oxynitride,SiON)做為氧化層之用。
        今日半導(dǎo)體元件的材料通常以硅(silicon)為可以選擇,但是也有些半導(dǎo)體公司發(fā)展出使用其他半導(dǎo)體材料的制程,當(dāng)中較著名的例如IBM使用硅與鍺(germanium)的混合物所發(fā)展的硅鍺制程(silicon-germanium process,SiGe process)。而可惜的是很多擁有良好電性的半導(dǎo)體材料,如砷化鎵(gallium arsenide,GaAs),因?yàn)闊o法在表面長出品質(zhì)夠好的氧化層,所以無法用來制造MOSFET元件。

         當(dāng)一個(gè)夠大的電位差施于MOSFET的柵較與源較(source)之間時(shí),電場會(huì)在氧化層下方的半導(dǎo)體表面形成感應(yīng)電荷,而這時(shí)所謂的“反型層”(inversion channel)就會(huì)形成。通道的極性與其漏較(drain)與源較相同,假設(shè)漏較和源較是N型,那么通道也會(huì)是N型。通道形成后,MOSFET即可讓電流通過,而依據(jù)施于柵較的電壓值不同,可由MOSFET的通道流過的電流大小亦會(huì)受其控制而改變。

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