MEMS傳感器篇

時間：2020-08-25作者：深圳揚德勝科技有限公司瀏覽：41

傳感器發(fā)展到今天，小型化、智能化、集成化，已經(jīng)是升級換代的必由之路。今天，我們來為大家介紹一下傳感器家族的小型產(chǎn)品——MEMS傳感器。

MEMS的全稱是微型電子機械系統(tǒng)（Micro-ElectroMechanical System），微機電系統(tǒng)是指可批量制作的，將微型機構、微型傳感器、微型執(zhí)行器以及信號處理和控制電路、直至接口、通信和電源等集成于一塊或多塊芯片上的微型器件或系統(tǒng)。而MEMS傳感器就是采用微電子和微機械加工技術制造出來的新型傳感器，MEMS是用傳統(tǒng)的半導體工藝和材料，以半導體制造技術為基礎發(fā)展起來的一種**的制造技術，學科交叉現(xiàn)象較其明顯，主要涉及微加工技術，機械學/固體聲波理論，熱流理論，電子學、材料、物理學、化學、生物學、醫(yī)學等等。經(jīng)過四十多年的發(fā)展，已成為世界矚目的重大科技領域之一，用MEMS工藝制造傳感器、執(zhí)行器或者微結構， 具有微型化、集成化、智能化、成本低、效能高、可大批量生產(chǎn)等特點，產(chǎn)能高，良品率高。MEMS技術使數(shù)以萬計的MEMS芯片（有些工藝也會把集成電路芯片放在同一步驟加工）出現(xiàn)在了每一片wafer上面，這種批量生產(chǎn)的過程目前已經(jīng)全自動化控制，隔離了人為因素，確保了每一個MEMS芯片之間的工藝誤差可以得到嚴格的控制，從而提高了良品率。切片、封裝之后，就成為了一個個的MEMS芯片。從外觀上來看，大部分的MEMS芯片和集成電路芯片是差不多的，微米量級的特征尺寸使MEMS傳感器可以完成某些傳統(tǒng)機械傳感器所不能實現(xiàn)的功能。是微型傳感器的主力軍，正在逐漸取代傳統(tǒng)機械傳感器，普遍應用于消費電子產(chǎn)品、汽車工業(yè)、航空航天、機械、化工及醫(yī)藥等各領域。常見產(chǎn)品有壓力傳感器，加速度計，陀螺，靜電致動光投影顯示器，DNA擴增微系統(tǒng)，催化傳感器。

?MEMS傳感器的分類
MEMS傳感器不僅能夠感知被測參數(shù)，將其轉換成方便度量的信號；而且能對所得到的信號進行分析、處理和識別、判斷，因此形象地被稱為智能傳感器。?
MEMS傳感器的種類繁多，也有很多分類的方法。下面是按照工作原理分類：

每一種MEMS傳感器又有很多種細分方法。如加速度計，按檢測質量的運動方式劃分，有角振動式和線振動式加速度計等，常見的MEMS傳感器有壓力傳感器、加速度傳感器、微機械陀螺儀、慣性傳感器、MEMS硅麥克風等等;MEMS傳感器的品種多到可以以萬為單位，且不同MEMS之間參量較多，沒有完全標準的工藝，MEMS傳感器作為**競爭戰(zhàn)略的重要標志性產(chǎn)業(yè)，以其技術含量高、市場前景廣闊等特點備受**的關注。近十年來，中國MEMS傳感器產(chǎn)業(yè)生態(tài)系統(tǒng)也正逐步完善，從研發(fā)、設計、代工、封測到應用，完整產(chǎn)業(yè)鏈已基本形成，國家對MEMS傳感器行業(yè)也給予了**的政策支持。我國MEMS產(chǎn)業(yè)發(fā)展面臨了重大的機遇，特別是移動互聯(lián)網(wǎng)和物聯(lián)網(wǎng)的快速發(fā)展，將對MEMS產(chǎn)業(yè)產(chǎn)生深遠的影響，并將催生大量新的產(chǎn)品、新的應用，帶動MEMS產(chǎn)品在日常生活及工業(yè)生產(chǎn)中的普及化，希望看了這篇文章后，對大家能有幫助，更多有關于傳感器知識，請大家關注深圳揚德勝科技有限公司，更多較全的傳感器知識等著你！


深圳揚德勝科技有限公司專注于深圳壓力傳感器,霍爾傳感器,磁傳感器等

• 詞條

  詞條說明

• 如何挑對濕度傳感器？

  濕度傳感器的濕敏元件分為 電阻式 和 電容式 兩種，濕敏電阻的特點是在基片上覆蓋一層用感濕材料制成的膜，當空氣中的水蒸氣吸附在感濕膜上時，元件的電阻率和電阻值都發(fā)生變化，利用這一特性即可測量濕度，濕敏電容一般是用高分子薄膜電容制成的，常用的高分子材料有聚苯乙烯、聚酰亞胺、酪酸醋酸纖維等。當環(huán)境濕度發(fā)生改變時，濕敏電容的介電常數(shù)發(fā)生變化，使其電容量也發(fā)生變化，其電容變化量與相對濕度成正比，常見的濕

• 差壓傳感器選型要注意的有哪些

  差壓傳感器DPS（Differential Pressure Sensor）是一種用來測量兩個壓力之間差值的傳感器，通常用于測量某一設備或部件前后兩端的壓差。 差壓傳感器DPS主要用于測量汽車發(fā)動機尾氣顆粒捕集器（DPF）前后通道的尾氣壓力差,為了達到排放標準的要求，通常的方法時在汽車尾氣排放部分放置捕集器，捕集尾氣中的微小顆粒。這種方法的缺陷是，廢氣排放通道會隨著捕集到顆粒的積聚而被漸漸堵塞。

• 六大應用領域

  ? 壓力傳感器主要應用于：增壓缸、增壓器、氣液增壓缸、氣液增壓器、壓力機，壓縮機，空調制冷設備等領域。 1.應用于監(jiān)測礦山壓力 ? 傳感器技術作為礦山壓力監(jiān)控的關鍵性技術之一。一方面，應該正確應用已有的各種傳感器來為采礦行業(yè)服務;另一方面，作為傳感器廠家還要研制和開發(fā)新型壓力傳感器來適應更多的采礦行業(yè)應用。壓力傳感器有多種，而基于礦山壓力監(jiān)測的特殊環(huán)境，礦用壓力傳感器主要有：振弦式壓力傳感器、半

• 一文解析接近傳感器

  接近傳感器又稱無觸點接近傳感器，是理想的電子開關量傳感器。當金屬檢測體接近傳感器的感應區(qū)域，開關就能無接觸，無壓力、無火花、迅速發(fā)出電氣指令，準確反應出運動機構的位置和行程，即使用于一般的行程控制，其定位精度、操作頻率、使用壽命、安裝調整的方便性和對惡劣環(huán)境的適用能力，是一般機械式行程開關所不能相比的，接近傳感器通常情況下被稱為接近開關，只能輸出開關量信號。位移傳感器與接近傳感器在自動化領域都有