閑置二手單晶硅生長(zhǎng)爐研究進(jìn)展

時(shí)間：2020-05-07作者：梁山鑫澳機(jī)械設(shè)備有限公司瀏覽：31

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單晶爐是一種在惰性氣體環(huán)境中,用石墨加熱器將多晶硅等多晶材料熔化,用直拉法生長(zhǎng)無(wú)錯(cuò)位單晶的設(shè)備。 
單晶爐是采用直拉法生產(chǎn)單晶硅的主要設(shè)備，全稱(chēng)為單晶硅直拉法生產(chǎn)爐，簡(jiǎn)稱(chēng)為單晶爐，
單晶爐是一個(gè)較其復(fù)雜的機(jī)構(gòu)，它不僅有加熱熔硅、保溫和恒溫、等速平穩(wěn)旋轉(zhuǎn)以及等速提拉的功能，而且還有控制單晶硅等徑生長(zhǎng)、保證生產(chǎn)出的單晶硅不出現(xiàn)位錯(cuò)缺陷以及良好的真空度和氬氣保護(hù)的功能。





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