CL系列探針臺(tái)使用說(shuō)明書(shū)

時(shí)間：2016-06-16作者：深圳市森東寶科技有限公司瀏覽：125

 1、產(chǎn)品介紹：


	1.1   特點(diǎn)和用途


	CL系列 分為CL-4，CL-6，CL-8三個(gè)規(guī)格


	CL系列探針臺(tái)測(cè)量精度高，操作方便，符合人機(jī)工程學(xué)。主要應(yīng)用于半導(dǎo)體行業(yè)以及光電行業(yè)的測(cè)試。廣泛應(yīng)用于復(fù)雜、高速器件的精密電氣測(cè)量的研發(fā)。


	同類(lèi)案例：北京大學(xué)微納加工實(shí)驗(yàn)室，*大學(xué)材料系，成都電子科技大學(xué)，西南科技大學(xué)，中科院半導(dǎo)體所，中科院蘇州納米研究院，世紀(jì)晶圓，方正微電子等數(shù)十

客戶(hù)。


	 1.2  探針臺(tái)結(jié)構(gòu)功能


	 


	總體


	規(guī)格特點(diǎn)                                                                                          


	●  重量:


	         CL-4 50KG左右（帶顯微鏡）


	         CL-6 60KG左右（帶顯微鏡）


	         CL-8 80KG左右（帶顯微鏡）


	●  尺寸：


	         CL-4約 560mm寬*610mm長(zhǎng)*550mm高（帶顯微鏡）  


	         CL-6 約600mm長(zhǎng)*650mm寬*600mm高（帶顯微鏡）


	         CL-8 約640mm長(zhǎng)*720mm寬*620mm高（帶顯微鏡）


	  


	 


	探針座臺(tái)面規(guī)格


	●  探針臺(tái)臺(tái)面平整度：5μm。


	●  CL-4臺(tái)面可以同時(shí)容納8-10個(gè)探針座


	   CL-6，CL-8分別可以同時(shí)容納10-12個(gè)探針座


	   CL-12臺(tái)面可以同時(shí)容納12個(gè)以上探針座


	卡盤(pán)（載物臺(tái)）規(guī)格  （可選配鍍金卡盤(pán)，高溫加熱卡盤(pán)）


	●  卡盤(pán)尺寸分為4" ，6"，8"三種


	卡盤(pán)平整度：5μm，采用真空吸附方式吸附，帶真空吸附孔，中心孔徑較小可做到250微米（可根據(jù)客戶(hù)需求定制孔徑大?。?，較小可以吸住尺寸為0.3mmX0.3mm，較大能夠吸住尺寸為4"X4"（6"X6"，8"X8"）。


	●  卡盤(pán)可30度旋轉(zhuǎn)，方便點(diǎn)測(cè)時(shí)樣品在X-Y軸方向上調(diào)平。（根據(jù)客戶(hù)需要可定制為360度旋轉(zhuǎn)，旋轉(zhuǎn)角度可微調(diào)，微調(diào)精度為0.1度，帶角度鎖定旋鈕）。


	●  卡盤(pán)X，Y軸調(diào)節(jié)旋鈕可以控制卡盤(pán)做X-Y方向的移動(dòng)，移動(dòng)范圍為4"X4"（6"X6"，8"X8"），移動(dòng)精度為20um，配合針座的移動(dòng)可以保證wafer上的die都能夠準(zhǔn)確點(diǎn)測(cè)到。
 

探針座&探針夾具：


	
		
			
				
					針座規(guī)格
				
			
			
				
					CB-200型
				
			
			
				
					CB-100型
				
			
			
				
					CB-40-T型
				
			
			
				
					CB-40型
				
			
		
		
			
				
					尺寸
				
			
			
				
					90mmW x 130mmD x 90mmH
				
			
			
				
					90mmW x 130mmD x 90mmH
				
			
			
				
					52mmW x 96mmD x 76mmH
				
			
			
				
					38mmW x 62mmD x 45mmH
				
			
		
		
			
				
					重量
				
			
			
				
					1000 克
				
			
			
				
					600 克
				
			
			
				
					300克
				
			
			
				
					200 克
				
			
		
		
			
				
					精度
				
			
			
				
					0.35 Micron
				
			
			
				
					0.7 Micron
				
			
			
				
					2 Micron
				
			
			
				
					10 Micron
				
			
		
		
			
				
					牙具
				
			
			
				
					200牙/寸
				
			
			
				
					牙具 100牙/寸
				
			
			
				
					80牙/寸
				
			
			
				
					40牙/寸
				
			
		
		
			
				
					X-Y-Z線(xiàn)性行程
				
			
			
				
					12mmX12mmX12mm
				
			
			
				
					12mmX12mmX12mm
				
			
			
				
					12mmX12mmX12mm
				
			
			
				
					12mmX12mmX12mm
				
			
		
	


體式顯微鏡（選配）


	規(guī)格


	l 本顯微鏡為連續(xù)變倍，變倍比為6.3：1


	l 光學(xué)系統(tǒng)內(nèi)，連續(xù)變焦范圍 0.8X～5X


	l 目鏡放大倍率：20X


	l 物鏡放大倍率：2X  (工作距離 ：34mm)


	l 總倍率：16X-100X


	l 雙目觀察傾斜45度，雙瞳距調(diào)節(jié)范圍52-75mm


	l 環(huán)形白色照明光源


	l 顯微鏡可以單獨(dú)在XY方向微調(diào)，調(diào)節(jié)范圍為2X2寸，調(diào)節(jié)精度為10微米


	l 顯微鏡在Z軸向的調(diào)節(jié)范圍為50.8mm


	l 帶C MOUNT，C MOUNT是CCD接口，可以接激光切割機(jī)。加上CCD后，配置一臺(tái)pc，能夠在pc的顯示器上同步觀察樣品。同時(shí)，可以用pc控制CCD進(jìn)行樣品的相片采集和錄像。


	 


	特點(diǎn)


	l 防靜電功能：架臺(tái)，變倍鏡筒，20X目鏡，輔助物鏡等都具有防靜電功能，這個(gè)功能在觀察需要防靜電的樣品時(shí)（如半導(dǎo)體芯片等）很有用（若使用此功能時(shí)，可通過(guò)架臺(tái)后面的地線(xiàn)插口將顯微鏡接地）


	l 密封功能：變倍鏡筒，20X目鏡都具有密封功能，當(dāng)顯微鏡在油汽，水汽等濕度較高的環(huán)境中仍能較方便的使用


	l 創(chuàng)建性人機(jī)學(xué)設(shè)計(jì)，較加保證操作者長(zhǎng)時(shí)間舒適操作


	l 具有高清晰度，大視場(chǎng)，長(zhǎng)工作距離等特點(diǎn)，廣泛應(yīng)用與教學(xué)**，生物工程，IT產(chǎn)業(yè)檢測(cè)等領(lǐng)域 


 


	JVC模擬CCD   （選配）                            


	特點(diǎn)


	●  1/3寸CCD,44萬(wàn)像素


	●  535電視線(xiàn)的水平分辨率


	●  0.7Lux的較低照度（F1.2，25%，AGC開(kāi)啟）


	●  50dB的高信噪比（AGC OFF）


	●  內(nèi)置10bit 數(shù)字圖像處理器


	 


	Winfast XP100視頻采集卡   （選配）                     


	特性


	●  可選擇的影像來(lái)源信號(hào)


	可以提供不同的輸入端子，使其能夠連接不同的影像


	輸出設(shè)備，如錄放影機(jī)、家庭攝影機(jī)、雷射光碟機(jī)、


	影音光碟機(jī)及CCD攝影機(jī)，提供*的解決方案。                        


	●  可編輯剪接影像片段


	可以從輸入的影像來(lái)源做即時(shí)的動(dòng)態(tài)捕捉或靜態(tài)補(bǔ)捉，并存成電腦可以接受并編輯的AVI電影檔或一般的圖形檔，再透過(guò)類(lèi)似Asymetrix Digital Video Producer 4.0, 3D F/X等相關(guān)應(yīng)用軟體，便可加入各種*與剪接編輯。


	
     探針


	美國(guó)GGB


	●  一般普通測(cè)試針?lè)謨煞N，硬針和軟針，針尖直徑在1micron以上稱(chēng)為硬針，在1micron以下稱(chēng)為軟針，硬針用來(lái)點(diǎn)pad和扎穿pass，軟針用來(lái)點(diǎn)metal和fib的mini pad


	●  探針針尖為須絲狀固定于探針針杠，針尖為鎢材質(zhì)，針杠為鎳，漏電在5fa以下。


	 
1.3 加熱臺(tái)




	品牌型號(hào)：CINDBEST  HT-400-4
      
       1.3.1  4英寸卡盤(pán)


	1.3.2  直流電源低噪音


	1.3.3  真空吸附：1.*吸附孔 2.二英寸盤(pán)面 3.四英寸盤(pán)面


	1.3.4  PID溫度控制器分辨率:1℃


	1.3.5  溫度漂移：≤0.01%FS/℃


	1.3.6  溫度誤差：室溫加溫到300度，任何一區(qū)段+-1%


	1.3.7  40段程序編排，前30段具備自動(dòng)跳轉(zhuǎn)功能


	 
1.4 附件



真空泵日東精工V70


	規(guī)格


	●  電壓：AC220V


	●  流量：7L/min


	●  真空度：-60KPa


	●  質(zhì)量：0.7Kg


	功能


	●  提供真空動(dòng)力源。


	●  配合 CHUCK上的真空吸附孔來(lái)固定樣品。


	●  配合真空吸附型探針座，固定探針座。


	特點(diǎn)


	●  無(wú)油靜音，特別適合實(shí)驗(yàn)室和潔凈室使用。


	●  7升/分鐘，可24小時(shí)無(wú)間斷運(yùn)轉(zhuǎn)。

   

防震桌：


	防震效果


	較小承重 @ 20 psi                           較大承重 @ 80 psi


	垂直本征頻率      1.9HZ                   垂直本征頻率     1.5Hz


	防震效率@ 5Hz     70%                     防震效率@ 5Hz    85%


	防震效率@ 10Hz    90%                     防震效率@ 10Hz   97%


	水平本振頻率      2.2Hz                   水平本振頻率     1.2Hz


	防震效率@ 5Hz     64%                     防震效率@ 5Hz    91%


	防震效率@ 10Hz    90%                     防震效率@ 10Hz   97%


	DVIO系列防震桌是專(zhuān)門(mén)為探針臺(tái)量身定做。其防震效果遠(yuǎn)**一般光學(xué)顯微鏡用防震桌。


	防震性能保證：當(dāng)配置100倍物鏡，同時(shí)zoom扭至2x時(shí)，將圖像通過(guò)ccd導(dǎo)致17寸顯示器上，換算倍率可達(dá)4000倍（含顯示器面積放大），此時(shí)，BD-6放置在工作中的防震桌上后，無(wú)抖動(dòng)！


	驗(yàn)收標(biāo)準(zhǔn)：標(biāo)準(zhǔn)是按照較高要求，探針（軟針）點(diǎn)在FIB制作的mini pad上，然后經(jīng)過(guò)1個(gè)小時(shí)后，探針無(wú)移位，則驗(yàn)收合格。


	 


	 屏蔽箱（選配）：




	參數(shù)和特點(diǎn)


	●  尺寸：880mm寬x710mm長(zhǎng)x1140mm高


	●  屏蔽光線(xiàn)和電磁干擾。


	●  匹配探針臺(tái)和防震桌設(shè)計(jì)。


	●  可根據(jù)客戶(hù)定制。


	●  與探針夾具配合可將測(cè)試電信號(hào)的漏電精度達(dá)到100fa ，可抗2000V高壓。


	●  屏蔽箱上配備轉(zhuǎn)接頭，便于在關(guān)閉屏蔽箱時(shí)線(xiàn)路在箱內(nèi)外的良好連接。


	 


探針臺(tái)安裝：




	2.1 樣品X-Y平移臺(tái)安裝


	●  取出樣品X-Y平移臺(tái)，拆開(kāi)外封包裝，將鎖緊螺母（28）擰松，旋動(dòng)平移臺(tái)旋鈕（27），檢查平移臺(tái)是否能夠正常運(yùn)行。


	●  確認(rèn)平移臺(tái)無(wú)故障后，選擇合適的內(nèi)六角柱頭螺桿，將平移臺(tái)安放在底板的中間位置，保證Y平移臺(tái)中心點(diǎn)在U型平臺(tái)缺口的中心下方。
     
       2.2 樣品臺(tái)安裝（包括旋轉(zhuǎn)與升降部分）


	●   打開(kāi)樣品臺(tái)部件包裝，分別調(diào)節(jié)快速旋轉(zhuǎn)搖桿（21），旋轉(zhuǎn)微調(diào)旋鈕（22），快速升降搖桿（24），微調(diào)升降旋鈕（23），檢查各部件是否能夠正常運(yùn)行。


	●   確認(rèn)各部件無(wú)故障后，選擇合適的內(nèi)六角柱頭螺桿，將樣平臺(tái)部分平放于Y平臺(tái)中心，對(duì)正螺孔，鎖緊螺桿。


	 2.3顯微鏡安裝


	● 安裝顯微鏡X-Y平移臺(tái)： 先把平移臺(tái)墊高塊放到Y(jié)平移臺(tái)下，對(duì)好孔位，選擇合適的螺桿擰緊；再將X平移臺(tái)安裝到Y(jié)平移臺(tái)上，鎖緊螺桿后，分別搖動(dòng)X,Y軸的手輪（19,20）到較大行程，檢查是否運(yùn)行順暢。


	● 安裝顯微鏡傾仰盒： 將顯微鏡傾仰盒放置于X平移臺(tái)上，找對(duì)孔位，選擇合適螺桿鎖緊；然后將顯微鏡立板安裝到顯微鏡傾仰板上。


	● 安裝顯微鏡： 取出顯微鏡，先找到合適的螺桿，一人托起顯微鏡對(duì)好孔位，另一人將螺桿鎖緊。（此處需兩人配合裝配）


	 2.4 探針夾具安裝


	● 使用配套螺絲將夾具傾仰安裝固定到探針座上，可以根據(jù)需要進(jìn)行上下調(diào)節(jié)位置


	● 將探針座擺放在U型平臺(tái)上固定好，擰松傾仰夾頭4個(gè)螺絲，把夾具金屬桿放入限位孔內(nèi)，調(diào)整合適位置后擰緊螺絲


	● 用鑷子夾住探針中部，將彈簧夾具的彈簧壓縮至探針固定孔露出，將探針插入固定孔，調(diào)整好位置后放松彈簧（注意：針尖脆弱，*碰彎）


       3.探針座點(diǎn)針測(cè)試


	3.1 固定樣品


	將待測(cè)器件載入卡盤(pán)，調(diào)整好待測(cè)位置后,開(kāi)啟真空閥門(mén)控制開(kāi)關(guān)，將WAFER/芯片或其它樣品安全且牢固地吸附在卡盤(pán)上。


	 


	 


	3.2 觀測(cè)待測(cè)位置


	打開(kāi)光源，調(diào)整光源合適的亮度，使用卡盤(pán)X軸/Y軸控制旋鈕移動(dòng)卡盤(pán)平臺(tái)將待觀察點(diǎn)移動(dòng)至顯微鏡下，同時(shí)調(diào)節(jié)顯微鏡的倍率，首先可放到低倍率找到待測(cè)點(diǎn)，使用樣平臺(tái)X-Y平移將待測(cè)點(diǎn)移動(dòng)到視野正中間，再更換高倍率物鏡，將影像調(diào)節(jié)清晰。


	 


	3.3 點(diǎn)針


	待測(cè)點(diǎn)位置確認(rèn)好后,再調(diào)節(jié)探針座的位置,將探針裝上后可眼觀先將探針移到接近待測(cè)點(diǎn)的位置旁邊,再使用探針座上下左右三個(gè)旋鈕,慢慢的將探針移至被測(cè)點(diǎn),此時(shí)動(dòng)作要小心且緩慢，以防動(dòng)作過(guò)大誤傷芯片，當(dāng)探針針尖懸空于被測(cè)點(diǎn)上空時(shí)，可先用Y軸旋鈕將探針退后少許，再使用Z軸旋鈕進(jìn)行下針，當(dāng)視野中針尖有向前移動(dòng)的趨勢(shì)，證明已經(jīng)接觸。（也可以使用X軸旋鈕左右滑動(dòng)，觀察是否有少許劃痕，證明是否已經(jīng)接觸）


	 


	3.4測(cè)試


	確保針尖和被測(cè)點(diǎn)接觸良好后，則可以通過(guò)連接的測(cè)試設(shè)備開(kāi)始測(cè)試。


	 


	4、設(shè)備維護(hù)及保養(yǎng)                                                


	4.1 電源使用


	電源：220±10%，50—60Hz


	 


	4.2 避免碰撞


	探針臺(tái)所使用的牙具為是非常精密的機(jī)械部件，在使用和運(yùn)輸過(guò)程中務(wù)必注意輕拿輕放，嚴(yán)禁磕碰，以免損壞儀器或影響機(jī)械精度。


	 


	4.3環(huán)境控制


	使用較佳溫度范圍為5℃～40℃，較佳濕度是40%到85%，空氣中之濕度若**30%以下，可靠濕度控制器予以控制，使維持50%～60%之范圍。使用時(shí)門(mén)窗盡可能關(guān)閉，使室內(nèi)達(dá)到除濕效果。機(jī)體放置需平坦，不可傾斜或橫倒，避免機(jī)器發(fā)生故障或異常異音。


	 


	4.4 機(jī)臺(tái)清潔


	● 每次使用完畢后，需要注意保持清潔，盡量把灰塵吹干盡，以免泥沙等污物將接口堵塞導(dǎo)致接觸不良。


	● 探針臺(tái)機(jī)體清潔時(shí)，避免直接潑水清理，以濕布輕輕擦拭并吹干即可。機(jī)體表面有黏著物，可用肥皂水清洗，避免以汽油、石油精、溶劑或噴霧式殺蟲(chóng)劑噴之，以避免發(fā)生變色現(xiàn)象。不可用硬物接觸機(jī)器，以免發(fā)生故障或危險(xiǎn)。停電或長(zhǎng)期不用、外出旅行時(shí)，請(qǐng)將電源線(xiàn)插頭拔掉以維護(hù)機(jī)器壽命.


	● 定期使用潤(rùn)滑油或潤(rùn)滑脂對(duì)活動(dòng)結(jié)構(gòu)進(jìn)行清潔和保護(hù)。


	● U型平臺(tái)要定期用無(wú)水酒精清洗，使用防銹油浸泡一天，然后再使用無(wú)水酒精擦拭干凈。


	 


	4.5不要隨意拆卸


	不當(dāng)?shù)牟鹦犊赡茉斐蓛x器損壞或降低精度與性能，因此，除非是特別*可以拆開(kāi)的部位，否則不要隨意拆卸機(jī)械結(jié)構(gòu)。


	 


	 


	 


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  詞條說(shuō)明

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