黃石港區(qū)薄膜化學(xué)成分

    什么是薄膜?通常,薄膜是一種薄而軟的透明薄片。用塑料、膠粘劑、橡膠或其他材料制成。薄膜科學(xué)上的解釋為:由原子,分子或離子沉積在基片表面形成的二維材料。例:光學(xué)薄膜、復(fù)合薄膜、**導(dǎo)薄膜、聚酯薄膜、尼龍薄膜、塑料薄膜等等。薄膜被廣泛用于電子電器,機(jī)械,印刷等行業(yè)。按薄膜成型所用原料分類:有聚乙烯薄膜、聚丙烯薄膜、聚氯乙烯薄膜和聚酯薄膜等。下面,微譜介紹關(guān)于薄膜成分分析知識(shí)。
    一、薄膜成分分析方法:
    1、X射線光電子能譜;(10納米,表面);
    2、俄歇電子能譜;(6nm,表面);
    3、二次離子質(zhì)譜;(微米,表面)
    4、電子探針分析方法;(0.5微米,體相)
    5、電鏡的能譜分析;(1微米,體相)
    6、電鏡的電子能量損失譜分析;(0.5nm)
    為達(dá)此目的,成分分析按照分析手段不同又分為光譜分析、質(zhì)譜分析和能譜分析。
    (1)光譜分析
    主要包括火焰和電熱原子吸收光譜AAS,電感耦合等離子體原子**光譜ICP-OES,X-射線熒光光譜XFS和X-射線衍射光譜分析法XRD;
    (2)質(zhì)譜分析
    主要包括電感耦合等離子體質(zhì)譜ICP-MS和飛行時(shí)間二次離子質(zhì)譜法TOF-SIMS。
    (3)能譜分析
    主要包括X射線光電子能譜XPS和俄歇電子能譜法AES
    二、薄膜成分含量
    1.薄膜的成分含量的標(biāo)準(zhǔn)
    DIN 41850-4-1976薄膜集成電路.*4部分:材料、厚膜電阻成分的評價(jià)方法
    2.薄膜成分含量范圍:
    光學(xué)薄膜、復(fù)合薄膜、**導(dǎo)薄膜、聚酯薄膜、尼龍薄膜、塑料薄膜等等。

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