半導(dǎo)體行業(yè)表面清潔度測試實例

時間：2023-09-11作者：英格爾檢測技術(shù)服務(wù)（上海）有限公司瀏覽：143

目前晶圓表面清潔測試的流程前提是，半導(dǎo)體工具清潔度需達到**的制成條件。英格爾檢測已掌握重要的清潔程序，包括環(huán)境潔凈度、操作方式、包裝等關(guān)鍵因素。英格爾檢測*表示，部件潔凈度驗證可以保證半導(dǎo)體表面的潔凈度要求以及可定義部件存放期限。

 

英格爾表面潔凈度分析應(yīng)用：

部件清洗（parts clean）是一整套高度復(fù)雜的程序，需要每一步都嚴格進行潔凈管控。隨著部件清洗環(huán)節(jié)的不斷增加，在一些**制程工藝中(如45nm節(jié)點以下)，眾多新材料在ITRS路線圖下都需要進行表面潔凈度驗證。

表面潔凈度表征包括以下材料：

1. 金屬類：鋁、不銹鋼、鉬及銅；

2. 陶瓷類：石英、剛玉、玻璃、藍寶石等；

3. 涂層：電鍍層、氧化層、粉末涂料等；

4. 塑料類：聚酰亞胺、PEEK、PTFE、聚酰亞胺膠帶及氟橡膠等；

英格爾無損表面潔凈度測試

（1）顆粒物

UPW提取結(jié)合LPC分析

（2）離子

UPW提取結(jié)合離子色譜分析Cl-,F-,SO4-,PO4-,NO3-,Br-等 離子

（3）**物

5. **溶液浸提結(jié)合GC-MS

6. **溶液浸提結(jié)合傅里葉紅外光譜進行定性分析

7. UPW提取結(jié)合TOC分析

（4）金屬

8. 酸萃取結(jié)合ICP-MS/MS 8900

9. 浸提整個表面或部分表面

10. 局部液體刻蝕結(jié)合ICP-MS/MS 8900

11. 使用某種特殊酸提取液進行局部區(qū)域刻蝕性提取

12. UPW提取結(jié)合ICP-MS/MS 8900

通常提取效果不如酸提取液，這種方法常用于避免酸浸提所造成的表面污漬，針對半導(dǎo)體行業(yè)表面清潔度測試。英格爾檢測可出具**公信力的檢測報告，保證新產(chǎn)品開發(fā)的改善輸入，產(chǎn)品可靠性的正向循環(huán)。

在行業(yè)內(nèi)晶片清洗屬于常用的加工手段，屬于**硅集成制造領(lǐng)域。英格爾檢測機構(gòu)可承接半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)相關(guān)檢測需求，如晶圓及部件清洗、**制程設(shè)備、晶圓盒等一站式企業(yè)服務(wù)。英格爾檢測在提供半導(dǎo)體表面清潔的同時，還可對晶圓表面進行陰陽離子、**物、顆粒度污染、表面金屬元素等進行分析。

 

 


英格爾檢測技術(shù)服務(wù)（上海）有限公司專注于ISO9001認證,電子芯片檢測,塑料檢測,橡膠檢測,涂料檢測,化妝品檢測,材料檢測,化學(xué)品成分分析等, 歡迎致電 15800989628

• 詞條

  詞條說明

• 產(chǎn)品未知成分分析

  未知成分分析例如未知礦物分析、**藥物有效成分分析與結(jié)構(gòu)確認、未知分子結(jié)構(gòu)與原子價態(tài)分析、未知藥物和藥物中間體結(jié)構(gòu)分析與確認、化工過程未知產(chǎn)物分析、化工雜質(zhì)分析等,綜合考慮并采取不同的分離、物理提純、化學(xué)技術(shù)和方法將未知物樣品中的各個組分分離開并進行純化,然后分別采用不同的分析儀器設(shè)備對其進行分析、鑒定成分進行定性和定量分析。英格爾自創(chuàng)立以來始終從事未知成分分析、工業(yè)診斷、元素離子檢測和各類分析儀

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