vpd硅晶圓金屬污染英格爾監(jiān)測

時間：2023-06-15作者：英格爾檢測技術(shù)服務(wù)（上海）有限公司瀏覽：130

當(dāng)前國內(nèi)市場中vpd晶圓金屬污染分析技術(shù)的掌握，對于整個行業(yè)而言十分重要。如何在擺脫國外技術(shù)依賴的同時，為企業(yè)提供完善準(zhǔn)確的分析數(shù)據(jù)與服務(wù)。英格爾檢測深耕硅晶圓金屬分析行業(yè)多年，常用的表面污染分析監(jiān)測技術(shù)有VPD-ICP-MS與TXRF。英格爾通過數(shù)據(jù)整合，將展示國內(nèi)外相關(guān)的的硅晶圓金屬污染監(jiān)測能力和方案。



英格爾硅晶圓金屬污染監(jiān)測常用的分析技術(shù)是和VPD-ICP-MS。英格爾根據(jù)儀器類型、分析方法等實際情況，制定了相應(yīng)的硅晶圓金屬污染監(jiān)測方案。

硅晶圓金屬污染監(jiān)測方案

英格爾TXRF與VPD-ICP-MS檢測下限比較

TXRF是高通量分析的理想選擇，因其測量原理基于電子束與硅晶圓表面的相互作用，*任何化學(xué)前處理。該技術(shù)允許在自動模式下快速分析常規(guī)元素和貴金屬元素，并可使用映射（mapping）功能定位晶圓表面的局部污染。然而TXRF的檢測下限（Low limit detection，LLD）較高，約1E9~1E11 atoms/cm2。

 

TXRF的檢測下限比較

不過VPD-ICP-MS的檢測下限差別較大。由于VPD技術(shù)基于化學(xué)原理且技術(shù)路線不同，ICP-MS檢測下限計算方法也不相同（表2）。

英格爾VPD-ICP-MS 技術(shù)細節(jié)及檢測下限測定

顯示VPD-ICP-MS的檢測下限在1E6~5E9 atoms/cm2，比TXRF要低的多。不過VPD-ICP-MS檢測下限受到技術(shù)細節(jié)和實驗環(huán)境差異影響。操作人員必須將裝有掃描液的瓶子手工轉(zhuǎn)移至ICP-MS/MS（Agilent），且樣品瓶在收集前需人工清洗，以上步驟都會導(dǎo)致Na，Mg和Ca污染可能性增加。潔凈室確保易沾污元素的檢測下限仍**1E10 atoms/cm2，若能夠使用全自動VPD則檢測下限還會有所改善。

 

VPD-ICP-MS的檢測下限比較（表面） 

關(guān)于VPD金屬污染，英格爾檢測將進行專業(yè)的技術(shù)分析。首先硅晶圓表面污染技術(shù)VPD-ICP-MS，英格爾通過多種化學(xué)溶液進行貴金屬元素與晶圓常規(guī)元素，進行無映射功能。英格爾VPD硅片晶圓表面污染技術(shù)可幫助企業(yè)進行元素提高了解下限，通過專業(yè)手段檢測分析元素的較低濃度，同時將金屬污染控制到關(guān)鍵的低濃度水平，為企業(yè)提供一站式vpd硅晶圓金屬污染檢測服務(wù)。


英格爾檢測技術(shù)服務(wù)（上海）有限公司專注于ISO9001認(rèn)證,電子芯片檢測,塑料檢測,橡膠檢測,涂料檢測,化妝品檢測,材料檢測,化學(xué)品成分分析等, 歡迎致電 15800989628

• 詞條

  詞條說明

• 未知成分分析

  未知成分分析例如未知礦物分析、**藥物有效成分分析與結(jié)構(gòu)確認(rèn)、未知分子結(jié)構(gòu)與原子價態(tài)分析、未知藥物和藥物中間體結(jié)構(gòu)分析與確認(rèn)、化工過程未知產(chǎn)物分析、化工雜質(zhì)分析等,綜合考慮并采取不同的分離、物理提純、化學(xué)技術(shù)和方法將未知物樣品中的各個組分分離開并進行純化,然后分別采用不同的分析儀器設(shè)備對其進行分析、鑒定成分進行定性和定量分析。英格爾自創(chuàng)立以來始終從事未知成分分析、工業(yè)診斷、元素離子檢測和各類分析儀

• 國內(nèi)VPD半導(dǎo)體晶體制備分析技術(shù)

  在行業(yè)內(nèi)芯片是半導(dǎo)體等產(chǎn)品的代名詞，同時也是特定載體，如集成電路其原料叫做晶體。英格爾半導(dǎo)體實驗室解釋，單晶硅作為芯片制成的主要材料，其性質(zhì)就是半導(dǎo)體。因此在行業(yè)內(nèi)外擁有芯片與半導(dǎo)體雙重身份，半導(dǎo)體是介于絕緣體與導(dǎo)體之間的特殊材料。英格爾可針對VPD半導(dǎo)體晶體制備制定專業(yè)的分析方案，實施半導(dǎo)體制備分析步驟。首先半導(dǎo)體制備的**個階段是從泥土中選取和提純半導(dǎo)體材料的原料。提純從化學(xué)反應(yīng)開始。對于硅，

• 高分子材料化學(xué)分析機構(gòu)

  當(dāng)前高分子材料等其他重要材料，在制造業(yè)市場和高新產(chǎn)業(yè)中發(fā)揮著較強的商業(yè)調(diào)性，同時也是電子產(chǎn)品、汽車、工業(yè)等產(chǎn)業(yè)的重要材料。英格爾為了滿足客戶需求和市場需求，可提供多項檢測環(huán)節(jié)，因此也凸顯了材料質(zhì)量監(jiān)控的重要性。英格爾的高分子材料成分檢測服務(wù)涵蓋了高分子材料的制品、原料、成品等整個高分子產(chǎn)業(yè)鏈，可為企業(yè)提供專業(yè)且全面的分析測試服務(wù)，實現(xiàn)*的材料質(zhì)量監(jiān)控。?英格爾檢測服務(wù)內(nèi)容：一、英格爾

• 微電子器件VPD-ICP-MS

  微電子器件以及硅晶圓金屬分析能力，不僅是當(dāng)前VPD半導(dǎo)體行業(yè)發(fā)展的“助力器”，還是協(xié)助行業(yè)進階的重要技術(shù)。英格爾檢測作為優(yōu)秀的第三方檢測機構(gòu)，擁有完善的晶圓金屬表面分析體系與**的半導(dǎo)體檢測儀器。在日常檢測中，英格爾不僅會對企業(yè)展開內(nèi)部技術(shù)支持，還會制定專業(yè)的分析體系，達到加速國內(nèi)半導(dǎo)體行業(yè)發(fā)展的目的。英格爾檢測*認(rèn)為，晶圓金屬污染監(jiān)測是一個非常重要的研究課題，因為金屬污染會對昂貴而復(fù)雜的微電子