氣體質(zhì)量流量計/控制器的結構和工作原理

時間：2019-03-13作者：北京華旭世紀科技有限公司瀏覽：125

    氣體質(zhì)量流量控制器（Mass Flow Controller縮寫為MFC）用于對于氣體的質(zhì)量流量進行精密測量和控制；氣體質(zhì)量流量計（Mass Flow Meter縮寫為MFM）用于對于氣體的質(zhì)量流量進行精密測量。擴散，氧化，分子束外延，CVD，等離子刻蝕，濺射，離子注入，以及真空鍍膜設備，光纖熔煉，微反應裝置，混氣配氣系統(tǒng)，毛細管測量氣象色譜儀，光導纖維制造設備中。并廣泛用于石油化工，冶金，制藥等。特點：精度高，重復性好。
    1、結構
    MFM由電路板、傳感器、進出氣管道接頭、分流器通道機殼等部件組成，只能對氣體質(zhì)量流量進行測量；在MFM基礎上加上調(diào)節(jié)閥構成MFC，既可以對氣體質(zhì)量流量進行測量，也能對流量進行控制。
    2、工作原理
    氣流進入進氣管道街頭后大部分流量流過分流器通道，其中很小一部分進入傳感器內(nèi)部的毛細鋼管。由于分流器通道的特殊結構，可以實現(xiàn)這兩部分氣體流量成正比例關系。傳感器經(jīng)過預熱加溫，里面的溫度**進入的氣流溫度，此時通過毛細鋼管傳熱和溫差量熱法原理測量這一小部分氣體的質(zhì)量流量。用這種辦法測出的氣體流量可以忽略溫度和壓力的影響，將傳感器測得的流量檢測信號輸入電路板，經(jīng)過放大后輸出，就完成了MFM的功能。將電路板中加入PID閉環(huán)自動控制功能，把傳感器測得的流量檢測信號與用戶給出的設定信號進行比較，以此為基礎控制調(diào)節(jié)閥，使得流量檢測信號與設定信號相等，這樣便實現(xiàn)了MFC的功能。
    北京華旭世紀科技有限公司是一家集設計、生產(chǎn)、銷售機電設備、儀器儀表、實驗室設備為一體的綜合性技術企業(yè)。北京華旭世紀科技有限公司*的MFC、MFM具有穩(wěn)定可靠，響應時間短，標定精度和重復精度高等特點，安裝方便，無安裝位置和直管段要求，操作簡單，可配合流量顯示儀或其他顯示儀表使用，也可配合計算機使用。


北京華旭世紀科技有限公司專注于氣體質(zhì)量流量控制器,混氣儀,差壓表等

• 詞條

  詞條說明

• MIH1000混氣儀/配氣儀

  MIH1000混氣儀/配氣儀是我公司為氣體分析、測試類儀器的標定、校準和檢測的需要而*的具有自主知識產(chǎn)權的高科技創(chuàng)新產(chǎn)品，本產(chǎn)品能實時地配制出不同種類不同濃度的單組分氣體或多組分混合氣體。**濃度精度的前提下，可實現(xiàn)混合氣體精密、連續(xù)供給。 系統(tǒng)配有液晶觸摸屏，直觀顯示配比過程中的具體參數(shù)。帶有MCGS組態(tài)軟件，實現(xiàn)在配氣現(xiàn)場調(diào)試過程中，修正，并儲存程序，一鍵啟動，預保存好需要的配比比例。

• 氣體質(zhì)量流量計/控制器的結構和工作原理

  氣體質(zhì)量流量控制器（Mass Flow Controller縮寫為MFC）用于對于氣體的質(zhì)量流量進行精密測量和控制；氣體質(zhì)量流量計（Mass Flow Meter縮寫為MFM）用于對于氣體的質(zhì)量流量進行精密測量。擴散，氧化，分子束外延，CVD，等離子刻蝕，濺射，離子注入，以及真空鍍膜設備，光纖熔煉，微反應裝置，混氣配氣系統(tǒng)，毛細管測量氣象色譜儀，光導纖維制造設備中。并廣泛用于石油化工，冶金，制藥